Properties of magnetron-sputtered moisture barrier layer on transparent polyimide/graphene nanocomposite film

Thin Solid Films

Volumn 544, Issue , 2013, Pages 324-330

  Tsai, Mei Hui ^a   Chang, Chi Jung ^b   Lu, Horng Hwa ^a   Liao, Yu Fu ^a   Tseng, I Hsiang ^b  

^a NATIONAL CHIN YI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Taiwan)

^b FENG CHIA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

Graphene; RF magnetron sputtering; Silicon nitride; Transparent polyimide; Water vapor transmission rate

Indexed keywords

FLEXIBLE DISPLAYS; GRAPHENE; MAGNETRON SPUTTERING; NANOCOMPOSITES; POLYIMIDES; SILICON NITRIDE; SUBSTRATES; THIN FILMS; WATER VAPOR; X RAY DIFFRACTION; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

ELECTRONIC APPLICATION; POTENTIAL SUBSTRATE; RADIO FREQUENCY MAGNETRON SPUTTERING; REDUCED GRAPHENE OXIDES; RF-MAGNETRON SPUTTERING; THICK BARRIER LAYERS; TRANSPARENT POLYIMIDES; WATER VAPOR TRANSMISSION RATE;

NANOCOMPOSITE FILMS;

EID: 84901827559     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.tsf.2013.02.105     Document Type: Conference Paper

References (36)

1. K. Fukukawa, M. Okazaki, Y. Sakata, T. Urakami, W. Yamashita, S. Tamai, J. Photopolym. Sci. Technol. 24 (3) (2011) 255.
2. J. H. Park, J. H. Kim, J. W. Park, J. H. Chang, C. S. Ha, J. Nanosci. Nanotechnol. 8 (4) (2008) 1700.
3. M. C. Choi, Y. Kim, C. S. Ha, Prog. Polym. Sci. 33 (6) (2008) 581.
4. M. C. Choi, J. C. Hwang, C. Kim, S. Ando, C. S. Ha, J. Polym. Sci. Polym. Chem. 48 (8) (2010) 1806.
5. P. F. Carcia, R. S. McLean, M. D. Groner, A. A. Dameron, S. M. George, J. Appl. Phys. 106 (2) (2009).
6. H. Zervos, Barrier Films for Flexible Electronics, IDTechEx, 2009.
7. S. H. Park, H. S. Lee, J. H. Choi, C. M. Jeong, M. H. Sung, H. J. Park, J. Appl. Polym. Sci. 125 (2012) E675.
8. S. J. Patil, D. S. Bodas, G. J. Phatak, S. A. Gangal, Bull. Mater. Sci. 25 (5) (2002) 399.
9. D. S. Wuu, T. N. Chen, E. Lay, C. H. Liu, C. H. Chang, H. F. Wei, L. Y. Jiang, H. U. Lee, Y. Y. Chang, J. Electrochem. Soc. 157 (2) (2010) C47.
10. J. W. Han, H. J. Kang, J. H. Kim, D. S. Seo, Y. H. Kim, D. G. Moon, J. I. Han, Mol. Cryst. Liq. Cryst. 458 (2006) 255.
11. J. J. Burack, J. D. LeGrange, A. W. Lin, IEEE Trans. Components HybridsManuf. Technol. 13 (1990) 214.
12. G. F. Sykes, A. K. St. Clair, J. Appl. Polym. Sci. 32 (1986) 3725.
13. M. H. Tsai, H. Y. Wang, H. T. Lu, I. H. Tseng, H. H. Lu, S. L. Huang, J. M. Yeh, Thin Solid Films 519 (15) (2011) 4969.
14. I. H. Tseng, C. J. Chang, C. W. Chang, H. H. Lu, M. H. Tsai, Surf. Coat. Technol. (2012), http://dx. doi. org/10. 1016/j. surfcoat. 2012. 07. 038.
15. O. C. Compton, S. Kim, C. Pierre, J. M. Torkelson, S. T. Nguyen, Adv. Mater. 22 (42) (2010) 4759.
16. H. Kim, Y. Miura, C. W. Macosko, Chem. Mater. 22 (11) (2010) 3441.
17. I. H. Tseng, Y. F. Liao, J. C. Chiang, M. H. Tsai, Mater. Chem. Phys. 136 (1) (2012) 247.
18. M. A. Signore, A. Sytchkova, D. Dimaio, A. Cappello, A. Rizzo, Opt. Mater. 34 (4) (2012) 632.
19. Y. S. Hirohata, N. Hino, T. Yamashima, K. Yabe, Thin Solid Films 253 (1-2) (1994) 425.
20. H. M. Kim, J. K. Lee, H. S. Lee, Thin Solid Films 519 (22) (2011) 7766.
21. N. D. Luong, N. Pahimanolis, U. Hippi, J. T. Korhonen, J. Ruokolainen, L. S. Johansson, J. D. Nam, J. Seppala, J. Mater. Chem. 21 (36) (2011) 13991.
22. J. Y. Wang, S. Y. Yang, Y. L. Huang, H. W. Tien, W. K. Chin, C. C. M. Ma, J. Mater. Chem. 21 (35) (2011) 13569.
23. D. Yang, A. Velamakanni, G. Bozoklu, S. Park, M. Stoller, R. D. Piner, S. Stankovich, I. Jung, D. A. Field, C. A. Ventrice Jr., Carbon 47 (1) (2009) 145.
24. I. H. Tseng, J. C. Chiang, S. L. Huang, M. H. Tsai, Polym. Int. (2011), http://dx. doi. org/ 10. 1002/pi. 4375.
25. C. C. Teng, C. C. M. Ma, C. H. Lu, S. Y. Yang, S. H. Lee, M. C. Hsiao, M. Y. Yen, K. C. Chiou, T. M. Lee, Carbon 49 (15) (2011) 5107.
26. G. X. Wang, J. Yang, J. Park, X. L. Gou, B. Wang, H. Liu, J. Yao, J. Phys. Chem. C 112 (22) (2008) 8192.
27. D. Chen, H. Zhu, T. Liu, ACS Appl. Mater. Interfaces 2 (12) (2010) 3702.
28. A. F. A. Batan, J. Vereecken, F. Reniers, Surf. Interface Anal. 40 (2008) 754.
29. S. M. Castanho, R. Moreno, J. L. G. Fierro, J. Mater. Sci. 32 (1) (1997) 157.
30. J. Szepvolgyi, I. Mohai, J. Gubicza, J. Mater. Chem. 11 (3) (2001) 859.
31. R. Hofman, J. G. F. Westheim, I. Pouwel, T. Fransen, P. J. Gellings, Surf. Interface Anal. 24 (1) (1996) 1.
32. F. Henry, C. Y. Duluard, A. Batan, F. Reniers, Thin Solid Films 520 (20) (2012) 6386.
33. M. C. Poon, C. W. Kok, H. Wong, P. J. Chan, Thin Solid Films 462 (2004) 42.
34. J. S. Bunch, S. S. Verbridge, J. S. Alden, A. M. van der Zande, J. M. Parpia, H. G. Craighead, P. L. McEuen, Nano Lett. 8 (8) (2008) 2458.
35. G. Y. Kim, M. C. Choi, D. Lee, C. S. Ha, Macromol. Mater. Eng. 297 (4) (2012) 303.
36. S. Ebisawa, J. Ishii, M. Sato, L. Vladimirov, M. Hasegawa, Eur. Polym. J. 46 (2) (2010) 283.