Wet chemical etching of semipolar GaN planes to obtain brighter and cost-competitive light emitters

Advanced Materials

Volumn 25, Issue 32, 2013, Pages 4470-4476

  Jung, Sungmin ^a   Song, Ki Ryong ^b   Lee, Sung Nam ^b   Kim, Hyunsoo ^a  

^a Chonbuk National University   (South Korea)

^b Korea Polytechnic University   (South Korea)

Author keywords

extraction efficiencies; light emitting diodes; ohmic contacts; semipolar GaN planes; wet etching

Indexed keywords

CELL STRUCTURE; EXTRACTION EFFICIENCIES; LIGHT EMITTERS; LIGHT EXTRACTION; M-PLANE; OUTPUT PERFORMANCE; SEMIPOLAR GAN; TRIGONAL PRISMS;

ELECTRIC CONTACTORS; GALLIUM NITRIDE; OHMIC CONTACTS; WET ETCHING;

LIGHT EMITTING DIODES;

EID: 84882578082     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201301640     Document Type: Article

References (36)

1. E. F. Schubert, J. K. Kim, Science 2005, 308, 1274.
2. S. Pimputkar, J. S. Speck, S. P. DenBaars, S. Nakamura, Nat. Photonics 2009, 3, 180.
3. S. Nakamura, Adv. Mater. 1996, 8, 689.
4. H. Jia, L. Guo, W. Wang, H. Chen, Adv. Mater. 2009, 4, 4641.
5. J. K. Kim, S. Chhajed, M. F. Schubert, E. F. Schubert, A. J. Fisher, M. H. Crawford, J. Cho, H. Kim, C. Sone, Adv. Mater. 2008, 20, 801.
6. M.-K. Kwon, J.-Y. Kim, B.-H. Kim, I.-K. Park, C.-Y. Cho, C. C. Byeon, S.-J. Park, Adv. Mater. 2008, 20, 1253.
7. J. W. Lee, C. Sone, Y. Park, S.-N. Lee, J.-H. Ryou, R. D. Dupuis, C. H. Hong, H. Kim, Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 011108.
8. K. Chung, C.-H. Lee, G.-C. Yi, Science 2010, 330, 655.
9. F. Qian, M. Brewster, S. K. Lim, Y. Ling, C. Greene, O. Laboutin, J. W. Hohnsom, S. Gradečak, Y. Cao, Y. Li, Nano Lett. 2012, 12, 3344.
10. C. Dang, J. Lee, Y. Z. Han, C. Breen, J. S. Steckel, S. Coe-Sullivan, A. Nurmikko, Adv. Mater. 2012, 24, 5915.
11. N. Han, T. V. Cuong, M. Han, B. D. Ryu, S. Chandramohan, J. B. Park, J. H. Kang, Y.-J. Park, K. B. Ko, H. Y. Kim, H. K. Kim, J. H. Ryu, Y. S. Katharria, C.-J. Choi, C.-H. Hong, Nat. Commun. 2013, 4, 1452.
12. P. Waltereit, O. Brandt, A. Trampert, H. T. Grahn, J. Menniger, M. Ramsteiner, M. Reiche, K. H. Ploog, Nature 2000, 406, 865.
13. J.-H. Ryou, P. D. Yoder, J. Liu, Z. Lochner, H. Kim, S. Choi, H. J. Kim, R. D. Dupuis, IEEE J. Select. Topic. Quantum Electron. 2009, 15, 1080.
14. J. Cho, E. F. Schubert, J. K. Kim, Laser Photonics Rev. 2013, 7, 408.
15. D. F. Feezell, M. C. Schmidt, S. P. DenBaars, S. Nakamura, MRS Bull. 2009, 34, 318.
16. H. Masui, S. Nakamura, S. P. DenBaars, U. K. Mishra, IEEE Trans. Electron. Devices 2010, 57, 88.
17. D. Zhuang, J. H. Edgar, Mat. Sci. Eng. R. 2005, 48, 1.
18. A. C. Tamboli, A. Hirai, S. Nakamura, S. P. DenBaars, E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 151113.
19. M. T. Hardy, K. M. Kelchner, Y.-D. Lin, P. S. Hsu, K. Fujito, H. Ohta, J. S. Speck, S. Nakamura, S. P. DenBaars, Appl. Phys. Express 2009, 2, 121004.
20. Y. Jung, J. Kim, S. Jang, K. H. Baik, Y. G. Seo, S.-M. Hwang, Opt. Express 2010, 18, 9728.
21. K. H. Baik, H.-Y. Song, S.-M. Hwang, Y. Jung, J. Ahn, J. Kim, J. Electrochem. Soc. 2011, 158, D196.
22. D. A. Stocker, E. F. Schubert, J. M. Redwing, Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 2654.
23. D. K. Schroder, in Semiconductor Material, Device Characterization, 3rd ed., Wiley Interscience, New Jersey 2006, Ch. 3.
24. A. Y. C. Yu, Solid-State Electron. 1970, 13, 239.
25. K. A. Rickert, A. B. Ellis, F. J. Himpsel, J. Sun, T. F. Kuech, Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 204.
26. J.-L. Lee, J. K. Kim, J. W. Lee, Y. Park, T. Kim, Solid-State Electron. 1999, 43, 435.
27. K. Hattori, Y. Izumi, J. Appl. Phys. 1982, 53, 6906.
28. T. Clausen, O. Leistiko, Semicond. Sci. Technol. 1995, 10, 691.
29. S. Sadewasser, T. Glatzel, M. Rusu, A. Jager-Waldau, M. C. Lux-Steiner, Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 2979.
30. F. A. Padovani, R. Stratton, Solid-State Electron. 1966, 9, 695.
31. E. H. Rhoderick, IEE Proc. 1982, 129, 1.
32. W. Melitz, J. Shen, A. C. Kummel, S. Lee, Surf. Sci. Rep. 2011, 66, 1.
33. M. J. Kappers, J. L. Hollander, C. McAleese, C. F. Johnston, R. F. Broom, J. S. Barnard, M. E. Vickers, C. J. Humphreys, J. Cryst. Growth 2007, 300, 155.
34. H. Kim, S.-N. Lee, Y. Park, J. S. Kwak, T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 032105.
35. J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2005, 2, 2874.
36. H. Kim, J. Cho, J. W. Lee, S. Yoon, H. Kim, C. Sone, Y. Park, T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 161110.