The role of multifunctional kinetics during early-stage silicon hydride pyrolysis: Reactivity of Si2H2 isomers with SiH 4 and Si2H6

Journal of Physical Chemistry A

Volumn 115, Issue 11, 2011, Pages 2409-2422

  Adamczyk, Andrew J ^a   Broadbelt, Linda J ^a  

^a Northwestern University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADDITION PRODUCTS; DISILANES; DOMINANT PATHWAYS; ELIMINATION REACTION; HYDRIDE ADDITIONS; INTERNAL ROTATIONS; MONOFUNCTIONAL; MONOSILANES; PREEXPONENTIAL FACTOR; RATE COEFFICIENTS; REVISED PARAMETERS; SILENES; SILYLENES; STATISTICAL THERMODYNAMICS; TEMPERATURE RANGE; VARIATIONAL TRANSITION STATE THEORY;

ACTIVATION ENERGY; ELECTRONIC STATES; ISOMERS; PYROLYSIS; QUANTUM THEORY; STATISTICAL MECHANICS; THERMODYNAMICS;

SILICON;

EID: 79952768560     PISSN: 10895639     EISSN: 15205215     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp1118376     Document Type: Article

References (77)

1. Jasinski, J. M.; Meyerson, B. S.; Scott, B. A. Annu. Rev. Phys. Chem. 1987, 38, 109-140
2. Becerra, R.; Walsh, R. J. Phys. Chem. 1992, 96, 10856-10862
3. Onischuk, A. A.; Strunin, V. P.; Ushakova, M. A.; Panfilov, V. N. Int. J. Chem. Kinet. 1998, 30, 99-110
4. Zheng, W.; Gallagher, A. Thin Solid Films 2008, 516, 929-939
5. Nakamura, S.; Matsumoto, K.; Susa, A.; Koshi, M. J. Non-Cryst. Solids 2006, 352, 919-924
6. Holt, J. K.; Swiatek, M.; Goodwin, D. G.; Muller, R. P.; Goddard, W. A.; Atwater, H. A. Thin Solid Films 2001, 395, 29-35
7. Nakamura, S.; Matsugi, A.; Susa, A.; Koshi, M. Thin Solid Films 2008, 516, 517-520
8. Lischka, H.; Kohler, H. J. J. Am. Chem. Soc. 1983, 105, 6646-6649
9. Truhlar, D. G.; Gordon, M. S. Science 1990, 249, 491-498
10. Binkley, J. S. J. Am. Chem. Soc. 1984, 106, 603-609
11. Koseki, S.; Gordon, M. S. J. Phys. Chem. 1989, 93, 118-125
12. Koseki, S.; Gordon, M. S. J. Phys. Chem. 1988, 92, 364-367
13. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Deutsch, P. W.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1991, 95, 2433-2444
14. Sannigrahi, A. B.; Nandi, P. K. Chem. Phys. Lett. 1992, 188, 575-583
15. Colegrove, B. T.; Schaefer, H. F. J. Phys. Chem. 1990, 94, 5593-5602
16. Grev, R. S.; Schaefer, H. F. J. Chem. Phys. 1992, 97, 7990-7998
17. O'Farrell, N.; Houlton, A.; Horrocks, B. R. Int. J. Nanomed. 2006, 1, 451-472
18. Swihart, M. T.; Girshick, S. L. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 64-76
19. Wong, H. W.; Li, X. G.; Swihart, M. T.; Broadbelt, L. J. J. Phys. Chem. A 2004, 108, 10122-10132
20. Wong, H. W.; Nieto, J. C. A.; Swihart, M. T.; Broadbelt, L. J. J. Phys. Chem. A 2004, 108, 874-897
21. Nakajima, Y.; Tonokura, K.; Sugimoto, K.; Koshi, M. Int. J. Chem. Kinet. 2001, 33, 136-141
22. Dollet, A.; de Persis, S. J. Anal. Appl. Pyrolysis 2007, 80, 460-470
23. Koi, M.; Tonokura, K.; Tezaki, A.; Koshi, M. J. Phys. Chem. A 2003, 107, 4838-4842
24. Dickinson, A. P.; Oneal, H. E.; Ring, M. A. Organometallics 1991, 10, 3513-3520
25. Hu, S. W.; Wang, Y.; Wang, X. Y.; Chu, T. W.; Liu, X. Q. J. Phys. Chem. A 2003, 107, 2954-2963
26. Mick, H. J.; Markus, M. W.; Roth, P.; Smirnov, V. N. Ber. Bunsen-Ges. Phys. Chem. Chem. Phys. 1995, 99, 880-890
27. Matsumoto, K.; Koshi, M. J. Electrochem. Soc. 2008, 155, D419-D423
28. Baboul, A. G.; Curtiss, L. A.; Redfern, P. C.; Raghavachari, K. J. Chem. Phys. 1999, 110, 7650-7657
29. Katzer, G.; Sax, A. F. J. Comput. Chem. 2005, 26, 1438-1451
30. Katzer, G.; Sax, A. F. Chem. Phys. Lett. 2003, 368, 473-479
31. Katzer, G.; Sax, A. F. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 7204-7215
32. Ayala, P. Y.; Schlegel, H. B. J. Chem. Phys. 1998, 108, 2314-2325
33. Pfaendtner, J.; Yu, X.; Broadbelt, L. J. Theor. Chem. Acc. 2007, 118, 881-898
34. Van Speybroeck, V.; Vansteenkiste, P.; Van Neck, D.; Waroquier, M. Chem. Phys. Lett. 2005, 402, 479-484
35. Vansteenkiste, P.; Van Speybroeck, V.; Marin, G. B.; Waroquier, M. J. Phys. Chem. A 2003, 107, 3139-3145
36. Ashcraft, R. W.; Green, W. H. J. Phys. Chem. A 2008, 112, 9144-9152
37. Catoire, L.; Swihart, M. T.; Gail, S.; Dagaut, P. Int. J. Chem. Kin. 2003, 35, 453-463
38. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, Jr., J. A.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J. B.; Bakken, V.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, Revision D.01, Gaussian, Inc., Wallingford, CT, 2004.
39. Martin, J. M. L.; de Oliveira, G. J. Chem. Phys. 1999, 111, 1843-1856
40. Adamczyk, A. J.; Reyniers, M. F.; Marin, G. B.; Broadbelt, L. J. Theor. Chem. Acc. 2011, 128, 91-113
41. Adamczyk, A. J.; Reyniers, M. F.; Marin, G. B.; Broadbelt, L. J. ChemPhysChem 2010, 11, 1978-1994
42. Adamczyk, A. J.; Reyniers, M.-F.; Marin, G. B.; Broadbelt, L. J. J. Phys. Chem. A 2009, 113, 10933-10946
43. Adamczyk, A. J.; Reyniers, M. F.; Marin, G. B.; Broadbelt, L. J. Phys. Chem. Chem. Phys. 2010, 12, 12676-12696
44. Jursic, B. S. J. Mol. Struct. 1999, 459, 221-228
45. Jalbout, A. F.; Swihart, M. T.; Jursic, B. S. J. Mol. Struct. (THEOCHEM) 2001, 571, 231-232
46. Scott, A. P.; Radom, L. J. Phys. Chem. 1996, 100, 16502-16513
47. Henkelman, G.; J., H. J. Chem. Phys. 2000, 113, 9978-9985
48. Henkelman, G.; U., B. P.; Jonsson, H. J. Chem. Phys. 2000, 113, 9901-9904
49. Jonsson, H.; Mills, G.; Jacobsen, K. W. In Classical and Quantum Dynamics in Condensed Phase Simulations; World Scientific: Singapore, 1998; pp 385 - 404.
50. McQuarrie, D. A.; Simon, J. D. Molecular Thermodynamics; University Science Book: Sausalito, CA, 1999.
51. Hirschfelder, J. O.; Wigner, E. J. Chem. Phys. 1939, 7, 616-628
52. Fernandez-Ramos, A.; Ellingson, B. A.; Meana-Paneda, R.; Marques, J. M. C.; Truhlar, D. G. Theor. Chem. Acc. 2007, 118, 813-826
53. Truhlar, D. G.; Garrett, B. C. Annu. Rev. Phys. Chem. 1984, 35, 159-189
54. Evans, M. G.; Polanyi, M. Trans. Farad. Soc. 1938, 34, 11-29
55. Moore, J. W.; Pearson, R. G. Kinetics and Mechanism, 3rd ed.; John Wiley: New York, 1981.
56. Petrov, K. T.; Veszpremi, T. Int. J. Quantum Chem. 2009, 109, 2526-2541
57. Cerofolini, G. F.; Giorgi, G.; Sgamellotti, A.; Belanzoni, P. J. Chem. Phys. 2009, 130 (10) 184702-184702-10
58. Owens, Z. T.; Larkin, J. D.; Schaefer, H. F. J. Chem. Phys. 2006, 125, 164322-164322-7
59. Yamaguchi, Y.; Deleeuw, B. J.; Richards, C. A.; Schaefer, H. F.; Frenking, G. J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 11922-11930
60. Deleeuw, B. J.; Grev, R. S.; Schaefer, H. F. J. Chem. Educ. 1992, 69, 441-444
61. Wiberg, K. B. Tetrahedron 1968, 24, 1083-1096
62. Becerra, R.; Frey, H. M.; Mason, B. P.; Walsh, R.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 2151-2752
63. McCarthy, M. C.; Yu, Z.; Sari, L.; Schaefer, H. F.; Thaddeus, P. J. Chem. Phys. 2006, 124, 7
64. Rappoport, Z.; Apeloig, Y. The Chemistry of Organic Silicon Compounds; Wiley: New York, 1998; Vol. 2, Chapter 43.
65. Van Speybroeck, V.; Van Neck, D.; Waroquier, M. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 8945-8950
66. East, A. L. L.; Radom, L. J. Chem. Phys. 1997, 106, 6655-6674
67. Wong, B. M.; Green, W. H. Mol. Phys. 2005, 103, 1027-1034
68. Mozurkewich, M.; Benson, S. W. J. Phys. Chem. 1984, 88, 6429-6435
69. Fukui, K. Science 1982, 218, 747-754
70. Aird, R. W. S.; Canosamas, C. E.; Cook, D. J.; Marston, G.; Monks, P. S.; Wayne, R. P.; Ljungstrom, E. J. Chem. Soc., Farad. Trans 1992, 88, 1093-1099
71. King, M. D.; Canosa-Mas, C. E.; Wayne, R. P. Phys. Chem. Chem. Phys. 1999, 1, 2231-2238
72. Bader, R. F. W. Can. J. Chem.-Rev. Can. Chim. 1962, 40, 1164-1175
73. Street, R. A. Hydrogenated Amorphous Silicon; Cambridge University Press: Cambridge, 1991.
74. Willems, P. A.; Froment, G. F. Ind. Eng. Chem. Res. 1988, 27, 1966-1971
75. Willems, P. A.; Froment, G. F. Ind. Eng. Chem. Res. 1988, 27, 1959-1966
76. Ho, P.; Coltrin, M. E.; Breiland, W. G. J. Phys. Chem. 1994, 98, 10138-10147
77. Girshick, S. L.; Swihart, M. T.; Suh, S. M.; Mahajan, M. R.; Nijhawan, S. J. Electrochem. Soc. 2000, 147, 2303-2311