Kinetic correlations for H2 addition and elimination reaction mechanisms during silicon hydride pyrolysis

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 12, Issue 39, 2010, Pages 12676-12696

  Adamczyk, Andrew J ^a   Reyniers, Marie Franoise ^b   Marin, Guy B ^b   Broadbelt, Linda J ^a  

^a Northwestern University   (United States)

^b GHENT UNIVERSITY   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 77957901363     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c0cp00666a     Document Type: Article

References (131)

1. X. G. Li Y. Q. He S. S. Talukdar M. T. Swihart Langmuir 2003 19 8490
2. M. T. Swihart, X. G. Li, Y. Q. He, W. Kirkey, A. N. Cartwright, Y. Sahoo and P. N. Prasad, in Conference on Nanocrystals and Organic and Hybrid Nanomaterials, ed., D. L. Andrews,,, Z. Gaburro,,, A. N. Cartwright, and, C. Y. C. Lee,, SPIE, San Diego, CA, 2003, p. 108
3. R. Anthony U. Kortshagen Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2009 80 115407
4. C. Klingbeil U. Klingebiel Z. Anorg. Allg. Chem. 2009 635 1520
5. A. Gupta M. T. Swihart H. Wiggers Adv. Funct. Mater. 2009 19 696
6. A. Gupta and H. Wiggers, in Spring Meeting of the European Materials Research Society on Frontiers in Silicon-Based Photonics, Elsevier, Strasbourg, France, 2008, p. 1010
7. C. Klingbeil B. Angerstein U. Klingebiel Z. Anorg. Allg. Chem. 2009 635 1520
8. Q. S. Li R. Q. Zhang S. T. Lee T. A. Niehaus T. Frauenheim J. Chem. Phys. 2008 128 244714
9. N. O'Farrell A. Houlton B. R. Horrocks Int. J. Nanomed. 2006 1 451
10. G. H. Liu X. Y. Deng X. Q. Wang Chin. J. Chem. 2009 27 1093
11. S. M. Liu Y. Tong J. Nanosci. Nanotechnol. 2008 8 1110
12. M. J. Sailor E. C. Wu Adv. Funct. Mater. 2009 19 3195
13. M. T. Swihart S. L. Girshick J. Phys. Chem. B 1999 103 64
14. H. W. Wong X. G. Li M. T. Swihart L. J. Broadbelt J. Phys. Chem. A 2004 108 10122
15. A. J. Adamczyk M.-F. Reyniers G. B. Marin L. J. Broadbelt J. Phys. Chem. A 2009 113 10933
16. A. J. Adamczyk M. F. Reyniers G. B. Marin L. J. Broadbelt Theor. Chem. Acc. 2010 10.1007/s00214-010-0767-x.
17. A. J. Adamczyk M. F. Reyniers G. B. Marin L. J. Broadbelt ChemPhysChem 2010 11 1978
18. S. Ramalingam P. Mahalingam E. S. Aydil D. Maroudas J. Appl. Phys. 1999 86 5497
19. W. L. M. Weerts M. deCroon G. B. Marin Surf. Sci. 1996 367 321
20. E. Blaisten-Barojas M. R. Zachariah Phys. Rev. B: Condens. Matter 1992 45 4403
21. T. Hawa M. R. Zachariah Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2004 69 035417
22. S. Ramalingam D. Maroudas E. S. Aydil J. Appl. Phys. 1998 84 3895
23. T. Ohira O. Ukai M. Noda Surf. Sci. 2000 458 216
24. R. Becerra R. Walsh J. Phys. Chem. 1992 96 10856
25. M. A. Ring H. E. Oneal J. Phys. Chem. 1992 96 10848
26. J. H. Purnell R. Walsh Proc. R. Soc. London, Ser. A 1966 293 543
27. F. C. Eversteijn Philips Res. Rep. 1971 26 134
28. C. J. Giunta R. J. McCurdy J. D. Chapple-Sokol R. G. Gordon J. Appl. Phys. 1990 67 1062
29. F. Slootman J. C. Parent J. Aerosol Sci. 1994 25 15
30. G. Katzer M. C. Ernst A. F. Sax J. Kalcher J. Phys. Chem. A 1997 101 3942
31. E. L. Petersen M. W. Crofton J. Phys. Chem. A 2003 107 10988
32. H. J. Mick P. Roth V. N. Smirnov I. S. Zaslonko Kinet. Catal. 1994 35 439
33. H. J. Mick V. N. Smirnov P. Roth Ber. Bunsen-Ges. Phys. Chem. 1993 97 793
34. H. K. Moffat K. F. Jensen R. W. Carr J. Phys. Chem. 1991 95 145
35. J. H. Han S. W. Rhee S. H. Moon J. Electrochem. Soc. 1996 143 1996
36. M. Koshi S. Kato H. Matsui J. Phys. Chem. 1991 95 1223
37. V. Dinapoli A. Mele D. Stranges A. Giardiniguidoni R. Teghil Chem. Phys. Lett. 1989 154 217
38. V. N. Votintsev I. S. Zaslonko V. S. Mikheev V. N. Smirnov Kinet. Catal. 1986 27 843
39. H. Tanaka M. Koshi H. Matsui Bull. Chem. Soc. Jpn. 1987 60 3519
40. K. F. Roenigk K. F. Jensen R. W. Carr J. Phys. Chem. 1987 91 5732
41. M. Meunier J. H. Flint J. S. Haggerty D. Adler J. Appl. Phys. 1987 62 2812
42. J. W. Erwin M. A. Ring H. E. Oneal Int. J. Chem. Kinet. 1985 17 1067
43. J. H. Purnell R. Walsh Chem. Phys. Lett. 1984 110 330
44. P. Neudorfl A. Jodhan O. P. Strausz J. Phys. Chem. 1980 84 338
45. C. G. Newman H. E. Oneal M. A. Ring F. Leska N. Shipley Int. J. Chem. Kinet. 1979 11 1167
46. C. G. Newman M. A. Ring H. E. Oneal J. Am. Chem. Soc. 1978 100 5945
47. M. T. Swihart R. W. Carr J. Phys. Chem. A 1998 102 1542
48. S. M. Islam J. W. Hollett R. A. Poirier J. Phys. Chem. A 2007 111 526
49. S. W. Hu Y. Wang X. Y. Wang T. W. Chu X. Q. Liu J. Phys. Chem. A 2003 107 9189
50. S. W. Hu Y. Wang X. Y. Wang T. W. Chu X. Q. Liu J. Phys. Chem. A 2003 107 2954
51. S. P. Walch C. E. Dateo J. Phys. Chem. A 2001 105 2015
52. J. G. Martin H. E. Oneal M. A. Ring Int. J. Chem. Kinet. 1990 22 613
53. B. A. Scott R. D. Estes J. M. Jasinski J. Chem. Phys. 1988 89 2544
54. T. R. Hogness T. L. Wilson W. C. Johnson J. Am. Chem. Soc. 1936 58 108
55. K. Matsumoto S. J. Klippenstein K. Tonokura M. Koshi J. Phys. Chem. A 2005 109 4911
56. V. N. Smirnov Kinet. Catal. 1997 38 309
57. H. K. Moffat K. F. Jensen R. W. Carr J. Phys. Chem. 1992 96 7695
58. J. Dzarnoski S. F. Rickborn H. E. Oneal M. A. Ring Organometallics 1982 1 1217
59. M. Bowrey J. H. Purnell Proc. R. Soc. London, Ser. A 1971 321 341
60. K. Matsumoto M. Koshi K. Okawa H. Matsui J. Phys. Chem. 1996 100 8796
61. H. J. Mick P. Roth V. N. Smirnov Kinet. Catal. 1994 35 764
62. J. M. Jasinski J. O. Chu J. Chem. Phys. 1988 88 1678
63. R. T. White R. L. Espinorios D. S. Rogers M. A. Ring H. E. Oneal Int. J. Chem. Kinet. 1985 17 1029
64. G. Inoue M. Suzuki Chem. Phys. Lett. 1985 122 361
65. P. John J. H. Purnell J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1 1973 69 1455
66. H. M. Frey R. Walsh I. M. Watts J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1986 15 1189
67. S. J. Moss and A. Ledwith, The Chemistry of the Semiconductor Industry, Chapman and Hall, New York, 1987
68. G. Katzer A. F. Sax J. Phys. Chem. A 2002 106 7204
69. A. F. Sax J. Kalcher J. Phys. Chem. 1991 95 1768
70. Y. Wang J. Ma J. Organomet. Chem. 2009 694 2567
71. Y. Peng J. D. Guo B. D. Ellis Z. L. Zhu J. C. Fettinger S. Nagase P. P. Power J. Am. Chem. Soc. 2009 131 16272
72. S. Grimme H. Kruse L. Goerigk G. Erker Angew. Chem., Int. Ed. 2009 48 2592
73. G. D. Frey V. Lavallo B. Donnadieu W. W. Schoeller G. Bertrand Science 2007 316 439
74. I. Chorkendorff and J. W. Niemantsverdriet, Concepts of Modern Catalysis and Kinetics, Wiley-VCH, Weinheim, 2003
75. L. J. Broadbelt S. M. Stark M. T. Klein Chem. Eng. Sci. 1994 49 4991
76. L. J. Broadbelt S. M. Stark M. T. Klein Comput. Chem. Eng. 1996 20 113
77. L. J. Broadbelt S. M. Stark M. T. Klein Ind. Eng. Chem. Res. 1995 34 2566
78. L. J. Broadbelt S. M. Stark M. T. Klein Ind. Eng. Chem. Res. 1994 33 790
79. D. J. Klinke L. J. Broadbelt AIChE J. 1997 43 1828
80. R. G. Susnow A. M. Dean W. H. Green P. Peczak L. J. Broadbelt J. Phys. Chem. A 1997 101 3731
81. L. J. Broadbelt J. Pfaendtner AIChE J. 2005 51 2112
82. H. W. Wong X. Li M. T. Swihart L. J. Broadbelt J. Phys. Chem. A 2004 108 10122
83. M. G. Evans M. Polanyi Trans. Faraday Soc. 1938 34 11
84. S. L. Girshick M. T. Swihart S. M. Suh M. R. Mahajan S. Nijhawan J. Electrochem. Soc. 2000 147 2303
85. P. Ho M. E. Coltrin W. G. Breiland J. Phys. Chem. 1994 98 10138
86. S. W. Benson, Thermochemical Kinetics, Wiley, New York, 2nd edn, 1976
87. H. W. Wong J. C. A. Nieto M. T. Swihart L. J. Broadbelt J. Phys. Chem. A 2004 108 874
88. R. Sumathi H. H. Carstensen W. H. Green J. Phys. Chem. A 2001 105 6910
89. R. Sumathi H. H. Carstensen W. H. Green J. Phys. Chem. A 2001 105 8969
90. R. Sumathi H. H. Carstensen W. H. Green J. Phys. Chem. A 2002 106 5474
91. M. Saeys M. F. Reyniers G. B. Marin V. Van Speybroeck M. Waroquier AIChE J. 2004 50 426
92. M. Saeys M. F. Reyniers V. Van Speybroeck M. Waroquier G. B. Marin ChemPhysChem 2006 7 188
93. M. K. Sabbe M. F. Reyniers V. Van Speybroeck M. Waroquier G. B. Marin ChemPhysChem 2008 9 124
94. P. A. Willems G. F. Froment Ind. Eng. Chem. Res. 1988 27 1959
95. P. A. Willems G. F. Froment Ind. Eng. Chem. Res. 1988 27 1966
96. T. N. Truong J. Chem. Phys. 2000 113 4957
97. S. W. Zhang T. N. Truong J. Phys. Chem. A 2003 107 1138
98. A. G. Baboul L. A. Curtiss P. C. Redfern K. Raghavachari J. Chem. Phys. 1999 110 7650
99. M. J. Frisch, G. W. Trucks, H. B. Schlegel, G. E. Scuseria, M. A. Robb, J. R. Cheeseman, J. A. Montgomery, Jr., T. Vreven, K. N. Kudin, J. C. Burant, J. M. Millam, S. S. Iyengar, J. Tomasi, V. Barone, B. Mennucci, M. Cossi, G. Scalmani, N. Rega, G. A. Petersson, H. Nakatsuji, M. Hada, M. Ehara, K. Toyota, R. Fukuda, J. Hasegawa, M. Ishida, T. Nakajima, Y. Honda, O. Kitao, H. Nakai, M. Klene, X. Li, J. E. Knox, H. P. Hratchian, J. B. Cross, V. Bakken, C. Adamo, J. Jaramillo, R. Gomperts, R. E. Stratmann, O. Yazyev, A. J. Austin, R. Cammi, C. Pomelli, J. Ochterski, P. Y. Ayala, K. Morokuma, G. A. Voth, P. Salvador, J. J. Dannenberg, V. G. Zakrzewski, S. Dapprich, A. D. Daniels, M. C. Strain, O. Farkas, D. K. Malick, A. D. Rabuck, K. Raghavachari, J. B. Foresman, J. V. Ortiz, Q. Cui, A. G. Baboul, S. Clifford, J. Cioslowski, B. B. Stefanov, G. Liu, A. Liashenko, P. Piskorz, I. Komaromi, R. L. Martin, D. J. Fox, T. Keith, M. A. Al-Laham, C. Y. Peng, A. Nanayakkara, M. Challacombe, P. M. W. Gill, B. G. Johnson, W. Chen, M. W. Wong, C. Gonzalez and J. A. Pople, GAUSSIAN 03 (Revision D.01), Gaussian, Inc., Wallingford, CT, 2004
100. J. Kalcher A. F. Sax THEOCHEM 1992 253 287
101. A. J. Adamczyk M. F. Reyniers G. B. Marin L. J. Broadbelt ChemPhysChem 2010 11 1978
102. A. P. Scott L. Radom J. Phys. Chem. 1996 100 16502
103. J. F. Janak Phys. Rev. B: Condens. Matter 1978 18 7165
104. J. Pfaendtner X. Yu L. J. Broadbelt Theor. Chem. Acc. 2007 118 881
105. J. M. L. Martin G. de Oliveira J. Chem. Phys. 1999 111 1843
106. R. G. Gilbert K. Luther J. Troe Ber. Bunsen-Ges. Phys. Chem. 1983 87 169
107. W. Tsang V. Bedanov M. R. Zachariah J. Phys. Chem. 1996 100 4011
108. D. A. McQuarrie and J. D. Simon, Molecular Thermodynamics, University Science Book, Sausalito, CA, 1999
109. J. O. Hirschfelder E. Wigner J. Chem. Phys. 1939 7 616
110. A. Fernández-Ramos B. A. Ellingson R. Meana-Pañeda J. M. C. Marques D. G. Truhlar Theor. Chem. Acc. 2007 118 813
111. D. G. Truhlar B. C. Garrett Annu. Rev. Phys. Chem. 1984 35 159
112. D. G. Truhlar M. S. Gordon Science 1990 249 491
113. H. Wiggers R. Starke P. Roth Chem. Eng. Technol. 2001 24 261
114. R. Becerra H. M. Frey B. P. Mason R. Walsh M. S. Gordon J. Am. Chem. Soc. 1992 114 2751
115. M. C. McCarthy Z. Yu L. Sari H. F. Schaefer P. Thaddeus J. Chem. Phys. 2006 124 074303
116. Z. Rappoport and Y. Apeloig, The Chemistry of Organic Silicon Compounds, Wiley, New York, 1998, vol. 2, ch. 43
117. G. Trinquier J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1993 89 775
118. G. Katzer A. F. Sax J. Kalcher J. Phys. Chem. A 1999 103 7894
119. M. Mozurkewich S. W. Benson J. Phys. Chem. 1984 88 6429
120. Y. R. Luo, Comprehensive Handbook of Chemical Bond Energies, CRC Press, Boca Ranton, 2007
121. K. Fukui Science 1982 218 747
122. R. W. S. Aird C. E. Canosamas D. J. Cook G. Marston P. S. Monks R. P. Wayne E. Ljungstrom J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1992 88 1093
123. M. D. King C. E. Canosa-Mas R. P. Wayne Phys. Chem. Chem. Phys. 1999 1 2231
124. R. F. W. Bader Can. J. Chem. 1962 40 1164
125. J. J. Dannenberg Chem. Rev. 1999 99 1225
126. J. I. Seeman J. Chem. Educ. 1986 63 42
127. J. M. Jasinski R. Becerra R. Walsh Chem. Rev. 1995 95 1203
128. K. B. Wiberg Tetrahedron 1968 24 1083
129. M. J. S. Dewar J. Am. Chem. Soc. 1952 74 3341
130. A. Gali M. Voros D. Rocca G. T. Zimanyi G. Galli Nano Lett. 2009 9 3780
131. M. Avalos R. Babiano A. Cabanillas P. Cintas J. L. Jimenez J. C. Palacios M. A. Aguilar J. C. Corchado J. EspinosaGarcia J. Org. Chem. 1996 61 7291