Low-resistivity and high-transmittance indium gallium zinc oxide films prepared by co-sputtering In2Ga2ZnO7 and In2O3 targets

ECS Transactions

Volumn 28, Issue 4, 2010, Pages 137-148

  Chang, H J ^a   Huang, K M ^a   Chub, C H ^a   Chen, S F ^a   Huang, T H ^a   Wu, M C ^a  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GALLIUM COMPOUNDS; GLASS SUBSTRATES; II-VI SEMICONDUCTORS; OPTICAL PROPERTIES; OXIDE FILMS; SEMICONDUCTING INDIUM COMPOUNDS; X RAY DIFFRACTION; ZINC OXIDE;

COSPUTTERING; ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES; GALLIUM ZINC OXIDES; GLASS SUBSTRATES; HIGH TRANSMITTANCE; LOW RESISTIVITY; LOW-HIGH; RF POWER; SUBSTRATES TEMPERATURE; ZINC OXIDE FILM;

ENERGY GAP;

EID: 78650430736     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.3377110     Document Type: Conference Paper

References (31)

1. H. K. Kim, K. S. Lee, and J. H. Kwon, Appl. Phys. Lett., 88, 012103 (2006).
2. K. Ramamoorthy, K. Kumar, R. Chandramohan, and K. Sankaranarayanan, Mater. Sci. Eng. B, 126, 1 (2006).
3. R. H. Franken, C. H. M. van der Werf, J. Loffler, J. K. Rath, and R. E. I. Schropp, Thin Solid Films, 501, 47 (2006).
4. J. O. Song, D. S. Leem, J. S. Kwak, Y. Park, S. W. Chae, and T. Y. Seong, IEEE Photo. Technol Lett., 17, 291 (2005).
5. Y. R. Ryu, T. S. Lee, J. A. Lubguban, H. W. White, Y. S. Park, and C. J. Youn Appl. Phys. Lett., 87, 153504 (2005).
6. M. Buchanan, J. B. Webb, and D. F. Williams, Appl. Phys. Lett., 37, 213 (1980).
7. T. Maruyama and K. Fukui, Thin Solid Films, 203, 297 (1991).
8. S. Kulaszewicz, W. Jarmoc, and K. Turowska, Thin Solid Films, 112, 313 (1984).
9. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys., 86, 6451 (1999).
10. Y. C. Lin, S. J. Chang, Y. K. Su, T. Y. Tsai, C. S. Chamg, S. C. Shei, C. W. Kuo, and S. C. Chen, Solid-State Electron., 47, 849 (2003).
11. E. M. C. Fortunate, P. M. Barquinha, A. C. M. B. G. Pimentel, A. M. F. Goncalves, A. J. S. Marques, R. F. P. Martins, and L. M. N. Pereira, Appl. Phys. Lett., 85, 2541 (2004).
12. N. L. Dehuff, E. S. Kettenring, D. Hong, H. Q. Chiang, J. F. Wager, R. L. Hoffman, C. H. Park, and D. A. Keszler, J. Appl. Phys., 97, 064505 (2005).
13. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hiromich, and H. Hosono, Nature (London), 432, 488 (2004).
14. A. Takagi, K. Nomura, H. Yanagi, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Thin Solid Films, 486, 38 (2005).
15. W. Lim, S. H. Kim, Y. L. Wang, J. W. Lee, D. P. Norton, S. J. Pearton, F. Ren, and I. I. Kravchenko, J. Vac. Sci. Technol. B, 26, 3 (2008).
16. K. Nomura, T. Kamiya, H. Ohta, T. Uruga, M. Hirano, and H. Hosono, Phys. Rev. B: Condens. Matter, 75, 035212 (2007).
17. H. Yabuta, M. Sano, K. Abe, T. Aiba, T. Den, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett., 89, 112123 (2006).
18. W. Lim, S. H. Kim, Y. L. Wang, J. W. Lee, D. P. Norton, S. J. Pearton, F. Ren, and I. I. Kravchenko, J. Electrochem. Soc., 155, 6 (2008).
19. H. Q. Chiang, B. R. McFarlane, D. Hong, R. E. Presley, and J. F. Wager, J. Non-Cryst. Solids, 354, 2826 (2008).
20. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, J. Jpn. Appl. Phys., 45, 4303 (2006).
21. H. Hosono, K. Nomura, Y. Ogo, T. Uruga, and T. Kamiya, J. Non-Cryst. Solids, 354, 2796 (2008).
22. G. H. Kim, B. D. Ahn, H. S. Shin, W. H. Jeong, H. J. Kim, and H. J. Kim, Appl. Phys. Lett., 94, 233501 (2009).
23. P. Kofstad, J. Phys. Chem. Solids, 23, 1571 (1962).
24. P. Bonasewicz, W. Hirschwald, and G. Neumann, Phys. Status Solids A, 97, 593 (1986).
25. V. Gavryushin, G. Raciukaitis, D. Juodzbails, A. Kazlauskas, and V. Kubertavicius, J. Cryst. Growth, 138, 924 (1994).
26. D. S. Liu, C. H. Lin, F. C. Tsai, and C. C. Wu, J. Vac. Sci. Technol., A 24, 694 (2006).
27. T. Minami, T. Yamamoto, Y. Toda, and T. Miyata, Thin Solid Films, 373, 189 (2000).
28. A. Van der Drift, Philips Res. Rep., 22, 267 (1967)
29. Y. Igasaki and H. Saito, J. Appl. Phys., 69, 2190 (1991).
30. F.R. Blom, F. C. M. Van de Pol, G. Bauhuis, and Th. J. A. Popma, Thin Solid Films, 204, 365 (1991).
31. H. Hosono, J. Non-Cryst. Solid, 352, 851 (2006).