Transparent multilayer indium-zinc-oxide films deposited by DC sputtering

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 55, Issue 5 PART 1, 2009, Pages 1931-1935

  Kim, Jun Ho ^a   Moon, Jin Young ^a   Kim, Hyunghoon ^a   Lee, Ho Seong ^a   Cho, Hyung Koun ^b   Lee, Jong Hoon ^c   Klm, Hong Seung ^c  

^a Kyungpook National University   (South Korea)

^b Sungkyunkwan University   (South Korea)

^c Korea Maritime University   (South Korea)

Author keywords

DC sputtering; Indium zinc oxide; Microstructure

Indexed keywords

EID: 73249136249     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.55.1931     Document Type: Article

References (19)

1. E. L. Kim, S. K. Jung, C. S. Kim, D. K. Park, H. Y. Cho and S. H. Lee, J. Korean Phys. Soc. 51, 589 (2007)
2. J. M. Park, J. S. Hong, J. Y. Yang, J. J. Kim, S. H. Park, H. M. Kim and J. S. Ahn, J. Korean Phys. Soc. 48, 1530 (2006).
3. V. Bhosle, A. Tiwari and J. Narayan, J. Appl. Phys. 100, 033713 (2006).
4. D. C. Paine, B. Yaglioglu, Z. Beiley and S. Lee, Thin Solid Films 516, 5894 (2008).
5. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiya, M. Hirano and K. Hosono, Science 300, 1269 (2003).
6. M. Kim, J. H. Jeong, H. J. Lee, T. K. Ahn, H. S. Shin, J. S. Park, J. K. Jeong, Y. G. Mo and H. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 90, 212114 (2007).
7. C. Lee, W. Lee, H. Kim and H. W. Kim, Cera. Inter. 34, 1089 (2008).
8. G. Goncalves, E. Elangovan, P. Barguinha, L. Pereira, R. Martins and E. Fortunato, Thin Solid Films 515, 8562 (2007).
9. N. Ito, Y. Sato, P. K. Song, A. Kaijio, K. Inoue and Y. Shigesato, Thin Solid Films 496, 99 (2006).
10. D. G. Kim, S. Lee, D. H. Kim, G. H. Lee and M. Isshiki, Thin Solid Films 516, 2045 (2008).
11. B. Kumar, H. Gong and R. Akkipeddi, J. Appl. Phys. 98, 073703 (2005).
12. N. Naghavi, C. Marcel, L. Dupont, A. Rougier, J. B. Leriche and C. Guery, J. Mater. Chem. 10, 2315 (2000).
13. A. Wang, J. Dai, J. Cheng, M. P. Chudzik, T. J. Marks, R. P. H. Chang and C. R. Kannewuf, Appl. Phys. Lett. 73, 327 (1998).
14. P. Barguinha, G. Goncalves, L. Pereira, R. Martins and E. Fortunato, Thin Solid Films 515, 8450 (2007).
15. T. Moriga, T. Okamoto, K. Hiruta, A. Fujiwara, I. Nakabayashi and K. Tominaga, J. Solid State Chem. 155, 312 (2000).
16. H. Han, N. D. Theodore and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 103, 013708 (2008).
17. M. Bender, W. Seelig, C. Daube, H. Frankenberger, B. Ocker and J. Stollenwerk, Thin Solid Films 326, 67 (1998).
18. C. Lee, R. P. Dwivedi, W. Lee, C. Hong, W. I. Lee and H. W. Kim, J. Mater. Sci: Mater. Electron. 19, 981 (2008).
19. Y. S. Jung, J. Y. Seo, D. W. Lee and D. Y. Jeon, Thin Solid Films 445, 63 (2003).