Charge transport, optical transparency, microstructure, and processing relationships in transparent conductive indium-zinc oxide films grown by low-pressure metal-organic chemical vapor deposition

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 3, 1998, Pages 327-329

  Wang, Anchuan ^a   Dai, Jiyan ^a   Cheng, Jizhi ^a   Chudzik, Michael P ^a   Marks, Tobin J ^a   Chang, Robert P H ^a   Kannewurf, Carl R ^a  

^a NORTHWESTERN UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0343285596     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121823     Document Type: Article

References (20)

1. T. Minami, T. Kakumu, and S. Tanaka, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1704 (1996).
2. X. Wu, T. J. Coutts, and W. P. Mulligan, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1057 (1997).
3. R. Wang, L. H. King, and A. W. Sleight, J. Mater. Res. 11, 1659 (1996).
4. J. M. Phillips, J. Kwo, G. A. Thomas, S. A. Carter, R. J. Cava, S. Y. Huo, J. J. Krajeewski, Jr., J. H. Marshall, W. F. Peck, and D. H. Rapkine, Appl. Phys. Lett. 64, 2071 (1994).
5. C. Messaoudi, D. Sayah, and M Abd-Lefdil, Phys. Status Solidi A 151, 93 (1995).
6. J. M. Phillips, R. J. Cava, G. A. Thomas, S. A. Carter, J. Kwo, T. Siegrist, J. J. Krajewski, J. H. Marshall, W. F. Peck, Jr., and D. H. Rapkine, Appl. Phys. Lett. 67, 2246 (1995).
7. J. Nishino, T. Kawarada, S. Ohshio, H. Saitoh, K. Maruyama, and K. Kamata, J. Mater. Sci. Lett. 16, 629 (1997).
8. D. D. Edwards, P. E. Folkins, and T. O. Mason, J. Am. Ceram. Soc. 80, 253 (1997).
9. D. D. Edwards, T. O. Mason, F. Goutenoire, and K. R. Peoppelmeier, Appl. Phys. Lett. 70, 1706 (1997).
10. T. Omata, N. Ueda, N. Hikuma, K. Ueda, H. Mizoguchi, T. Hashimoto, and H. Kawazoe, Appl. Phys. Lett. 62, 499 (1993).
11. M. Orita, M. Takeuchi, H. Sakai, and H. Tanji, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L1550 (1995).
12. H. Czternastek, A. Brudnik, and M. Jachimowski, Solid State Commun. 65, 1025 (1988).
13. T. Minnami, H. Sato, H. Nanto, and S. Takata, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 24, L781 (1985).
14. D. J. Goyal, C. Agashe, M. G. Takwale, and V. G. Bhide, J. Mater. Res. 8, 1052 (1993).
15. T. Moriga, D. D. Edwards, T. O. Mason, G. B. Palmer, K. R. Peoppelmeier, J. L. Schindler, C. R. Kannewurf, and I. Nakabayashi, J. Am. Ceram. Soc. 81, 1310 (1998).
16. B. Han, D. A. Neumayer, D. L. Schulz, B. J. Hinds, T. J. Marks, H. Zhang, and V. P. Dravid, Chem. Mater. 6, 18 (1994).
17. B. H. Hinds, R. J. McNeely, D. B. Studebaker, T. J. Marks, T. P. Hogan, J. L. Schindler, C. R. Kannewurf, X. F. Zhang, and D. Miller, J. Mater. Res. 12, 1214 (1997).
18. P. J. Cannard and R. J. P. Trlley, J. Solid State Chem. 73, 418 (1998).
19. D. Pier and K. Mitchell, Proc. 9th European PVSEC (Kluwer Academic, Dordrecht, The Netherlands, 1989), p. 488.
20. D. H. Zhang and H. L. Ma, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 62, 487 (1996).