Bending effects of indium-zinc oxide thin films deposited on polyethylene terephthalate substrate by radio frequency magnetron sputtering

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 48, Issue 6, 2006, Pages 1530-1533

  Park, J M ^a   Hong, J S ^a   Yang, J Y ^a   Kim, J J ^a   Park, S H ^a   Kim, H M ^a   Ahn, J S ^b  

^a Catholic University of Daegu   (South Korea)

^b Kyung Hee University   (South Korea)

Author keywords

Bending effects; Flexible substrate; In 2O 3 ZnO films; Polyethylene terephthalate; rf magnetron sputtering

Indexed keywords

EID: 33746058247     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (13)

1. Kazuhiro Noda, Hirotoshi Sato, Hisao Itaya and Minoru Yamada, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 217 (2003).
2. H. M. Kim, S. K. Jeung, J. S. Ahn, Y. J. Kang and C. K. Je, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 223 (2003).
3. S. Y. Shon, H. M. Kim, S. H. Park and J. J. Kim, Sae Mulli 46, 332 (2003).
4. R. K. Jain and R. C. Lind, J. Opt. Soc. Am. 73, 647 (1983).
5. A. Kaijou, M. Ohyama, M. Shibata and K. Inoue, U. S. Patent, No. 5,972,527 (1999).
6. J. S. Hong, B. R. Rhee, J. J. Kim, S. H. Park and H. M. Kim, J. Korean Phys. Soc. 45, 712 (2004).
7. S. Y. Shon, H. M. Kim, S. H. Park and J. J. Kim, J. Korean Phys. Soc. 45, 732 (2004).
8. T. Minami, T. Kakumu and S. Takata, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1704 (1996).
9. H. Hiramatsu, W. S. Seo and K. Koumoto, Chem. Mater. 10, 3033 (1998).
10. Y. Yan, S. J. Pennycook, J. Dai, R. P. H. Chang, A. Wang and T. J. Marks, Appl. Phys. Lett. 73, 2585 (1998).
11. S. H. Park, H. M. Kim, B. R. Rhee and E. Y. Gho, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1429 (2001).
12. H. M. Kim, J. S. Ahn and C. K. Je, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 5714 (2003).
13. J. S. Hong, B. R. Rhee, H. M. Kim, K. C. Je, Y. J. Kang and J. S. Ahn, Thin Solid Films. 467, 158 (2003).