Synthesis and characterization of chiral polyacrylates and their applications as positive tone photoresists

Journal of Applied Polymer Science

Volumn 109, Issue 6, 2008, Pages 3776-3785

  Hung, Hsien Jung ^a   Yang, Po Chih ^a   Liu, Jui Hsiang ^a  

^a NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

Chiral; Copolymerization; Photoresists; Synthesis

Indexed keywords

ABS RESINS; COPOLYMERIZATION; COPOLYMERS; ETCHING; GLASS TRANSITION; PHOTORESISTORS; PLASTIC PRODUCTS; POLYACRYLATES; POLYMERS; SURFACE TREATMENT; THERMODYNAMIC PROPERTIES; THERMODYNAMIC STABILITY; TURBULENT FLOW;

BUTYL METHACRYLATES; BUTYROLACTONE; CHIRAL; DIASTEREOMERIC; GLASS TRANSITION TEMPERATURES; OPTIMAL SENSITIVITIES; PHOTOACID GENERATORS; POLYMER CHAINS; POSITIVE TONES; REAL PATTERNS; SYNTHESIS; SYNTHESIS AND CHARACTERIZATIONS; THERMAL PROPERTIES; THERMAL STABILITIES;

PHOTORESISTS;

COPOLYMER; GLASS TRANSITION TEMPERATURE; POLYACRYLATE; SYNTHESIS; THERMAL STABILITY;

EID: 55849092043     PISSN: 00218995     EISSN: 10974628     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/app.28567     Document Type: Article

References (38)

1. Service, R. F. Science 1994, 265, 316.
2. Chun, H.; Joo, W. J.; Kim, N. J.; Moon, I. K.; Kim, N. J Appl Polym Sci 2003, 89, 368.
3. Li, Z.; Qin, J.; Yang, Z.; Ye, C. J Appl Polym Sci 2004, 94, 769.
4. Taylor, J. C.; LeSuer, R. J.; Chambers, C. R.; Fan, F. R. F.; Bard, A. J.; Conley, W. E.; Willson, C. G. Chem Mater 2005, 17, 4194.
5. Chang, C.; Lipian, J.; Barnes, D. A.; Seger, L.; Burns, C.; Bennett, B.; Bonney, L.; Rhodes, L. F.; Bebedikt, G. M.; Lattimer, R.; Huang, S. S.; Day, V. W. Macromol Chem Phys 1988 2005, 206.
6. Houlihan, F. M.; Wallow, T. I.; Nalamasu, O.; Reichmanis, E. Macromolecules 1997, 30, 6517.
7. Okoroanyanwu, U.; Shimokawa, T.; Byers, J.; Willson, C. G. Chem Mater 1998, 10, 3319.
8. Okoroanyanwu, U.; Byers, J. D.; Shimokawa, T.; Willson, C. G. Chem Mater 1998, 10, 3328.
9. Seo, H. U.; Jin, S. H.; Choi, S. J.; Gal, Y. S.; Lim, K. T. J Appl Polym Sci 2004, 92, 165.
10. Pasquale, A. J.; Fornof, A. R.; Long, T. E. Macromol Chem Phys 2004, 205, 621.
11. Seydewitz, V.; Krumova, M.; Michler, G. H.; Park, J. Y.; Kim, S. C. Polymer 2005, 46, 5608.
12. Ranganathan, S.; Baker, W. E.; Russell, K. E.; Whitney, R. A. J Polym Sci Part A: Polym Chem 1999, 37, 1609.
13. Kim, J. B.; Lee, J. J.; Kang, J. S. Polymer 2000, 41, 6939.
14. Pasquali, R. E.; Rodriguez, F. J Polym Sci Part A: Polym Chem 2093 1989, 27.
15. Zhao, M.; Liu, Y.; Crooks, R. M.; Bergbreiter, D. E. J Am Chem Soc 1999, 121, 923.
16. Tai, H.; Wang, W.; Howdle, S. M. Polymer 2005, 46, 10626.
17. Xing, C. M.; Yu, Y.; Yang, W. T. Macromol Chem Phys 2006, 207, 621.
18. Marquette, C. A.; Emmanuelle, I. L.; Francois, M.; Carole, C.; Bernard, M.; Loÿc, J. B. Anal Biochem 2005, 340, 14.
19. Havard, J. M.; Vladimirov, N.; Fréchet, J. M. J.; Yamada, S.; Willson, C. G. Macromolecules 1999, 32, 86.
20. Schwalm, R.; Binder, H.; Funhoff, D. J Appl Polym Sci 2000, 78, 208.
21. Ito, H. J Polym Sci Part A: Polym Chem 2003, 41, 3863.
22. Kim, J. B.; Ko, J. S.; Choi, J. H.; Jang, J. H.; Oh, T. H.; Kim, H. W.; Lee, B. W. Polymer 2004, 45, 5397.
23. Liu, J. H.; Yang, P. C. Polymer 2006, 47, 4925.
24. Liu, J. H.; Yang, P. C.; Wang, Y. K.; Wang, C. C. Liq Cryst 2006, 33, 237.
25. Liu, J. H.; Yang, P. C.; Lin, T. H.; Chen, Y. J.; Wu, C. H.; Fuh, Y. G. Appl Phys Lett 86:161120 2005.
26. Liu, J. H.; Wu, F. C.; Lin, T. H.; Fuh, Y. G. Opt Express 2004, 12, 1857.
27. Liu, J. H.; Wang, H. Y. J Appl Polym Sci 2004, 91, 789.
28. Liu, J. H.; Yang, P. C. J Appl Polym Sci 2004, 91, 3693.
29. Liu, J. H.; Hsieh, C. D.; Wang, H. Y. J Polym Sci Part A: Polym Chem 2004, 42, 1075.
30. Liu, J. H.; Yang, P. C.; Chiu, Y. H. J Polym Sci Part A: Polym Chem 2026 2007, 45.
31. Liu, J. H.; Shih, J. C. High Perform Polym 2001, 13, 1.
32. Liu, J. H.; Shih, J. C.; Shih, C. H. J Appl Polym Sci 2001, 81, 3538.
33. Liu, J. H.; Liu, H. T.; Tsai, F. R. Polym Int 1997, 42, 385.
34. Gokan, H.; Esho, S.; Ohnishi, Y. J Electrochem Soc 1983, 130, 143.
35. Ohfuji, T.; Endo, M.; Takahashi, M.; Naito, T.; Tatsumi, T.; Kuhara, K.; Sasago, M. Proc SPIE 1998, 3333, 595.
36. Wallow, T.; Brock, P.; Pietro, R. D.; Allen, R.; Opitz, J.; Sooriyakumaran, R.; Hofer, D. Proc SPIE 1999, 3678, 26.
37. Grubb, T. L.; Ulery, V. L.; Smith, T. J.; Tullos, G. L.; Yagci, H.; Mathias, L. J.; Langsam, M. Polymer 1999, 40, 4279.
38. Angiolini, L.; Benelli, T.; Giorgini, L.; Salatelli, E. Polymer 2006, 47, 1875.