Ab initio study of the reactions of Ga(2P, 2S, and2P) with silane

Journal of Chemical Physics

Volumn 121, Issue 12, 2004, Pages 5777-5782

  Pacheco Sanchez J H ^a,b   Luna Garcia H ^a   Castillo, S ^a  

^a UNIVERSIDAD AUTÓNOMA METROPOLITANA   (Mexico)

^b INSTITUTO MEXICANO DEL PETRÓLEO   (Mexico)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BINDING ENERGY; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DISSOCIATION; GEOMETRY; HYDROGENATION; MATRIX ALGEBRA; PARAMETER ESTIMATION; PERTURBATION TECHNIQUES; PHOTOLYSIS; POTENTIAL ENERGY; PROBABILITY DENSITY FUNCTION; SILANES; THIN FILMS;

ACTIVATION BARRIERS; PHOTOCHEMICAL INSERTION; PHOTOEXCITATION; PHOTOPRODUCTS; VACUUM CHAMBERS;

SEMICONDUCTING GALLIUM COMPOUNDS;

EID: 5444271062     PISSN: 00219606     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1785147     Document Type: Article

References (48)

1. R. Robertson and A. Gallagher, J. Appl. Phys. 59, 3402 (1986).
2. W. M. M. Kessels, A. Leroux, M. G. H. Boogaarts, J. P. M. Hoefnagels, M. C. M. van de Sanden, and D. C. Schram, J. Vac. Sci. Technol. A 19. 467 (2001).
3. N. Itabashi, N. Nishiwaki, M. Magane, S. Naito, T. Goto, A. Matsuda, C. Yamada, and E. Hirota. Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 29, L505 (1990).
4. W. M. M. Kessels, M. G. H. Boogaarts, J. P. M. Hoefnagels, D. C. Schram, and M. C. M. van de Sanden, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 1027 (2001).
5. W. M. M. Kessels, R. J. Severens, A. H. M. Smets, B. A. Korevaar, G. J. Adriaenssens, D. C. Schram, and M. C. M. van de Sanden, J. Appl. Phys. 89, 2404 (2001).
6. S. Sriraman, E. S. Aydil, and D. Maroundas, J. Appl. Phys. 92, 842 (2002).
7. S. P. Walch, S. Ramalingam, E. S. Aydil, and D. Maroundas, Chem. Phys. Lett. 329, 304 (2000).
8. A. Gallagher, J. Appl. Phys. 63, 2406 (1988).
9. J. Perrin, M. Shiratani, P. Kae-Nune, H. Videlot, J. Jolly, and J. Guillon, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 278 (1998).
10. W. M. M. Kessels, A. H. M. Smets, D. C. Marra, E. S. Aydil, D. C. Schram, and M. C. M. van de Sanden. Thin Solid Films 383. 154 (2001).
11. K. Nakajima, K. Miyazaki, H. Koinuma, and K. Sato, J. Appl. Phys. 84. 606 (1998).
12. J. Robertson, J. Appl. Phys. 87. 2608 (2000).
13. H. Matsumura, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 3175 (1998).
14. H. Umemoto, K. Ohara, D. Morita, Y. Nozaki, A. Masuda. and H. Matsumura, J. Appl. Phys. 91. 1650 (2002).
15. N. L. Arthur and L. A. Miles, J. Chem. Soc., Faraday Trans. 93. 4259 (1997).
16. R. A. C. M. M. van Swaaij, B. S. Girwar. and J. W. Metselaar, J. Vac. Sci. Technol. A 18. 2116 (2000).
17. W. H. Breckenridge and H. Umemoto, J. Chem. Phys. 81. 3852 (1984).
18. J. H. Wang, H. Umemoto, A. W. K. Leung, and W. H. Breckenridge, J. Chem. Phys. 104, 9401 (1996).
19. W. H. Breckenridge, J. Phys. Chem. 100. 14840 (1996).
20. N. Legay-Sommaire and F. Legay, J. Phys. Chem. 102, 8759 (1998).
21. V. A. Macrae, T. M. Greene. and A. J. Downs, J. Phys. Chem. A 108. 1393 (2004).
22. B. Gaertner and H. J. Himmel, Angew. Chem., Int. Ed. 41, 1538 (2002).
23. P. E. M. Siegbahn, M. Svensson. and R. H. Crabtree, J. Am. Chem. Soc. 117. 6758 (1995).
24. M. E. Alikhani, Chem. Phys. Lett. 313. 608 (1999).
25. H. Luna-García. S. Castillo. and A. Ramírez-Solís, J. Chem. Phys. 107. 6627 (1997).
26. H. Luna-García, S. Castillo. and A. Ramírez-Solís, J. Chem. Phys. 110. 11315 (1999).
27. H. Luna-Gsrcía, A. Ramírez-Solís. and S. Castillo, J. Chem. Phys. 116. 928 (2002).
28. J. H. Pacheco-Sánchez, H. Luna-García, and S. Castillo, J. Chem. Phys. 120, 4240 (2004).
29. J. P. Daudey, PSHF. a HF-SCF RECP program, based on the original HONDO-76, QCPE program No 338 by M. Dupuis, J. Rys, and H. F. King (1977).
30. R. Carbó, M. Pélissier, J. P. Daudey. and J. Rubio. GMCF Program based on the Elementary Jacobi Rotation algorithm, 1993.
31. B. H. Huron, J. P. Malrieu. and P. Rancurel, J. Chem. Phys. 58. 5745 (1973). CIPSI code written by J. P. Daudey, M. Pélissier, J. P. Malrieu, S. Evangelisti, F. Spiegelmann, and D. Maynau.
32. M. M. Hurley, L. Fernandez Pacios, P. A. Christiansen, R. B. Roos. and W. C. Ermler, J. Chem. Phys. 84, 6840 (1986).
33. G. B. Kim and K. Balasubramanian, J. Mol. Specnrosc. 134, 412 (1989).
34. L. Fernandez Pacios and P. A. Christiansen, J. Chem. Phys. 82. 2664 (1985).
35. M. M. Francl, W. J. Piero, W. J. Hehre, J. S. Brinkle, M. S. Gordon, D. J. DeFrees. and J. A. Pople, J. Chem. Phys. 77, 3654 (1985).
36. F. B. Van Duijneveldt. IBM Report RJ. 1971 (unpublished).
37. M. E. Ruíz, J. García-Prieto, and O. Novaro, J. Chem. Phys. 80. 1529 (1984).
38. P. Chaquin, A. Papakondylis, C. Giessner-Prettre. and A. Sevin, J. Phys. Chem. 94, 7352 (1990).
39. C. E. Moore, Atomic Energy Levels (U.S. National Bureau of Standards. Washington, DC, 1971).
40. M. Kronekvist, A. Langerquist. and H. Neuhaus, J. Mol. Spectrosc. 39. 516 (1971).
41. H. J. Himmel, A. I Downs, and T. M. Greene, Chem. Rev. (Washington. D.C.) 102, 4191 (2002).
42. R. D. Lafleur and J. M. Parnis, J. Phys. Chem. 96, 2429 (1992).
43. Z. L. Xiao, R. H. Hauge. and J. L. Margrave. Inorg. Chem. 32. 642 (1993).
44. L. B. Knight, Jr., J. J. Banisaukas III. R. Babb, and E. R. Davison, J. Chem. Phys. 105, 6607 (1996).
45. H. J. Himmel, A. J. Downs, T. M. Greene. and L. Andrews, J. Chem. Soc., Chem. Commun. 22, 2243 (1999).
46. H. J. Himmel, A. J. Downs, T. M. Greene, and L. Andrews. Organometallics 19, 1060 (2000).
47. S. A. Mitchell, P. A. Hackett, D. M. Rayner, and M. Flood, J. Chem. Phys. 86, 6852 (1987).
48. K. Lee, H. S. Son, S. C. Bae, and J. K. Ku, Chem. Phys. Lea 288. 531 (1998).