Vacancy profiles and clustering in light-ion-implanted GaN and ZnO

Applied Surface Science

Volumn 255, Issue 1, 2008, Pages 54-57

  Tuomisto, F ^a  

^a AALTO UNIVERSITY   (Finland)

Author keywords

Gallium nitride (GaN); Hexagonal wurtzite structure; UV optoelectronics; Zinc oxide (ZnO)

Indexed keywords

GALLIUM NITRIDE; II-VI SEMICONDUCTORS; III-V SEMICONDUCTORS; LITHIUM COMPOUNDS; VACANCIES; ZINC OXIDE; ZINC SULFIDE;

GALLIUM NITRIDE (GAN); HEXAGONAL WURTZITE STRUCTURE; IMPLANTED SAMPLES; SINGLE VACANCIES; SLOW POSITRON BEAM; UV OPTOELECTRONICS; VACANCY CLUSTER; ZINC OXIDE (ZNO);

ION IMPLANTATION;

EID: 53049101734     PISSN: 01694332     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.apsusc.2008.05.172     Document Type: Article

References (34)

1. Mannino G., Privitera V., La Magna A., Rimini E., Napolitani E., Fortunato G., and Mariucci G. Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 051909
2. Look D.C., Reynolds D.C., Hemsky J.W., Jones R.L., and Sizelove J.R. Appl. Phys. Lett. 75 (1999) 811
3. Kucheyev S.O., Deenapanray P.N.K., Jagadish C., Williams J.S., Yano M., Koike K., Sasa S., Inoue M., and Ogata K.-i. Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 3350
4. Paskova T., Hommel D., Paskov P.P., Darakchieva V., Monemar B., Bockowski M., Suski T., Grzegory I., Tuomisto F., Saarinen K., Ashkenov N., and Schubert M. Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 141909
5. Moe Børseth T., Tuomisto F., Christensen J.S., Skorupa W., Monakhov E.V., Svensson B.G., and Kuznetsov A.Yu. Phys. Rev. B 74 (2006) 161202R
6. Skorupa W., Yankov R.A., Anwand W., Voelskow M., Gebel T., Downey D.F., and Arevalo E.A. Mater. Sci. Eng. B 114-115 (2004) 358
7. Saarinen K., Hautojärvi P., and Corbel C. In: Stavola M. (Ed). Identification of Defects in Semiconductors (1998), Academic Press, New York 209
8. Tuomisto F., Saarinen K., Lucznik B., Grzegory I., Teisseyre H., Suski T., Porowski S., Hageman P.R., and Likonen J. Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 031915
9. Tuomisto F., Suski T., Teisseyre H., Krysko M., Leszczynski M., Lucznik B., Grzegory I., Porowski S., Wasik D., Witowski A., Gebicki W., Hageman P., and Saarinen K. Phys. Status Solidi 240 (2003) 289
10. Saarinen K., Laine T., Kuisma S., Nissilä J., Hautojärvi P., Dobrzynski L., Baranowski J.M., Pakula K., Stepniewski R., Wojdak M., Wysmolek A., Suski T., Leszczynski M., Grzegory I., and Porowski S. Phys. Rev. Lett. 79 (1997) 3030
11. Saarinen K., Suski T., Grzegory I., and Look D.C. Phys. Rev. B 64 (2001) 233201
12. Tuomisto F., Ranki V., Look D.C., and Farlow G.C. Phys. Rev. B 76 (2007) 165207
13. Tuomisto F., Look D.C., and Farlow G.C. Physica B 401-402 (2007) 604
14. Hautakangas S., Makkonen I., Ranki V., Puska M.J., Saarinen K., Xu X., and Look D.C. Phys. Rev. B 73 (2006) 193301
15. Tuomisto F., Pelli A., Yu K.M., Walukiewicz W., and Schaff W.J. Phys. Rev. B 75 (2007) 193201
16. Tuomisto F., Ranki V., Saarinen K., and Look D.C. Phys. Rev. Lett. 91 (2003) 205502
17. Brunner S., Puff W., Balogh A.G., and Mascher P. Mater. Sci. Forum 363-365 (2001) 141
18. Chen Z.Q., Yamamoto S., Maekawa M., Kawasuso A., Yuan X.L., and Sekiguchi T. J. Appl. Phys. 94 (2003) 4807
19. Tuomisto F., and Look D.C. Proc. SPIE 6474 (2007) 647413
20. Chen Z.Q., Wang S.J., Maekawa M., Kawasuso A., Naramoto H., Yuan X.L., and Sekiguchi T. Phys. Rev. B 75 (2007) 245206
21. Tuomisto F., Saarinen K., and Look D.C. Phys. Status Solidi (A) 201 (2004) 2219
22. Tuomisto F., Saarinen K., Look D.C., and Farlow G.C. Phys. Rev. B 72 (2005) 085206
23. Keinonen J., Hautala M., Rauhala E., Karttunen V., Kuronen A., Räisänen J., Lahtinen J., Vehanen A., Punkka E., and Hautojärvi P. Phys. Rev. B 37 (1988) 8269
24. Saarinen K., Hautojärvi P., Keinonen J., Rauhala E., Räisänen J., and Corbel C. Phys. Rev. B 43 (1991) 4249
25. Weinstein M.G., Song C.Y., Stavola M., Pearton S.J., Wilson R.G., Shul R.J., Killeen K.P., and Ludowise M.J. Appl. Phys. Lett. 72 (1998) 1703
26. Radu I., Singh R., Scholz R., Gösele U., Christiansen S., Brüderl G., Eichler C., and Härle V. Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 031912
27. Tuomisto F., Saarinen K., Bockowski M., Suski T., Paskova T., and Monemar B. J. Appl. Phys. 99 (2006) 066105
28. Uedono A., Koida T., Tsukazaki A., Kawasaki M., Chen Z.Q., Chihibu S.F., and Koinuma H. J. Appl. Phys. 93 (2003) 2481
29. Chen Z.Q., Maekawa M., Kawasuso A., Suzuki R., and Ohdaira T. Appl. Phys. Lett. 87 (2005) 091910
30. Brauer G., Anwand W., Skorupa W., Kuriplach J., Melikhova O., Moisson C., von Weckstern H., Schmidt H., Lorenz M., and Grundmann M. Phys. Rev. B 74 (2006) 045208
31. Moe Børseth T., Tuomisto F., Christensen J.S., Monakhov E.V., Svensson B.G., and Kuznetsov A.Yu. Phys. Rev. B 77 (2008) 045204
32. Tuomisto F., Saarinen K., Grasza K., and Mycielski A. Phys. Status Solidi (B) 243 (2006) 794
33. Tuomisto F., Mycielski A., and Grasza K. Superlattices Microst. 42 (2007) 218
34. Kucheyev S.O., William J.S., Jagadish C., and Zou J. Phys. Rev. B 67 (2003) 094115