Additive route to lithographically defined nanoporous silica, polymer, and carbon films

Langmuir

Volumn 24, Issue 5, 2008, Pages 1648-1653

  Song, Lingyan ^a   Li, Xinxin ^a   Vogt, Bryan D ^a  

^a Arizona State University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

SOLID STATE CHEMISTRY; TETRAETHYLORTHOSILICATE (TEOS);

LITHOGRAPHY; POLYMERS; SILICA; SOLID STATE REACTIONS;

CARBON FILMS;

EID: 41849119113     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la703526x     Document Type: Article

References (38)

1. Wallraff, G. M.; Hinsberg, W. D. Chem. Rev. 1999, 99, 1801.
2. Ito, H. Adv. Polym. Sci. 2005, 172, 37.
3. Shamiryan, D.; Baklanov, M. R.; Vanhaelemeersch, S.; Maex, K. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 1923.
4. Piner, R. D.; Zhu, J.; Xu, F.; Hong, S. H.; Mirkin, C. A. Science 1999, 283, 661.
5. Wendt, J. R.; Vawter, G. A.; Gourley, P. L.; Brennan, T. M.; Hammons, B. E. J. Vac. Sci. Technol., B 1993, 11, 2637.
6. Gates, B. D.; Xu, Q. B.; Stewart, M.; Ryan, D.; Willson, C. G.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 2005, 705, 1171.
7. (7)Xia, Y. N.; Whitesides, G. M. Ann. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153.
8. Briseno, A. L.; Mannsfeld, S. C. B.; Ling, M. M.; Liu, S.; Tseng, R. J.; Reese, C.; Roberts, M. E.; Yang, Y.; Wudl, F.; Bao, Z. Nature 2006, 444, 913.
9. Ahn, J. H.; Kim, H. S.; Lee, K. J.; Jeon, S.; Kang, S. J.; Sun, Y.; Nuzzo, R. G.; Rogers, J. A. Science 2006, 314, 1754.
10. Harkness, B. R.; Takeuchi, K.; Tachikawa, M. Macromolecules 1998,31, 4798.
11. Ahne, H.; Rubner, R.; Sezi, R. Appl. Surf. Sci. 1996, 706, 311.
12. Feuillade, M.; Croutxé-Barghorn, C.; Carré, C. Prog. Solid State Chem. 2006, 34, 87.
13. Kim, H.; Wallraff, G.; Kreller, C. R.; Angelos, S.; Lee, V. Y.; Volksen, W.; Miller, R. D. Nano Lett. 2004, 4, 1169.
14. Fan, H.; Hartshorn, C.; Buchheit, T.; Tallant, D.; Assink, R.; Simpson, R.; Kissel, D. J.; Lacks, D. J.; Torquato, S.; Blinker, C. J. Nat. Mater. 2007, 6, 418.
15. Li, X.; Song, L.; Vogt, B. D. J. Phys. Chem. C 2008, 112, 53-60.
16. Li, M.; Coenjarts, C. A.; Ober, C. K. Adv. Polym. Sci. 2005, 190, 183.
17. Göpel, W.; Schierbaum, K. D. Sens. Actuators, B 1995, 26, 1.
18. Niwa, O. Bull. Chem. Soc. Jpn. 2005, 78, 555.
19. Huit, A.; MacDonald, S. A.; Willson, C. G. Macromolecules 1985, 18, 1804.
20. Zhao, D. Y.; Huo, Q. S.; Feng, J. L.; Chmelka, B. F.; Stucky, G. D. J. Am. Chem. Soc. 1998, 120, 6024.
21. Vogt, B. D.; Rang, S.; Prabhu, V. M.; Lin, E. K.; Satija, S. K.; Turnquest, K.; Wu, W.-L. Macromolecules 2006, 39, 8311.
22. Houle, F. A.; Hinsberg, W. D.; Morrison, M.; Sanchez, M. I.; Wallraff, G.; Larson, C.; Hoffnagle, J. J. Vac. Sci. Technol., B 2000, 18, 1874.
23. Stewart, M. D.; Tran, H. V.; Schmid, G. M.; Stachowiak, T. B.; Becker, D. J.; Willson, C. G. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 2946.
24. Choura, M.; Belgacem, N. M.; Gandini, A. Macromolecules 1996, 29, 3839.
25. Burket, C. L.; Rajagopalan, R.; Marencic, A. P.; Dronvajjala, K.; Foley, H. C. Carbon 2006, 44, 2957.
26. Bruggeman, D. A. G. Ann. Phys. 1935, 24, 636.
27. Vogt, B.D.; Pai, R. A.; Lee, H.-J.; Hedden, R.C.; Soles, C.L.; Wu, W.-I.; Lin, E. K.; Bauer, B. J.; Watkins, J. J. Chem. Mater. 2005, 17, 1398.
28. Impéror-Clerc, M.; Davidson, P.; Davidson, A. J. Am. Chem. Soc. 2000, 122, 11925.
29. Tanaka, S.; Nishiyama, N.; Oku, Y.; Egashira, Y.; Ueyama, K. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 4854.
30. Tanaka, S.; Tate, M. P.; Nishiyama, N.; Ueyama, K.; Hillhouse, H. W. Chem. Mater. 2006, 18, 5461.
31. Melde, B. J.; Burkett, S. L.; Xu, T.; Goldbach, J. T.; Russell, T. P. Chem. Mater. 2005, 17, 4743.
32. Yang, P. D.; Deng, T.; Zhao, D. Y.; Feng, P. Y.; Pine, D.; Chmelka, B. F.; Whitesides, G. M.; Stucky, G. D. Science 1998, 282, 2244.
33. Tirumala, V. R.; Pai, R. A.; Agarwal, S.; Testa, J. J.; Bhatnagar, G.; Romang, A. H.; Chandler, C.; Gorman, B. P.; Jones, R. L.; Lin, E. K.; Watkins, J. J. Chem. Mater. 2007, 19, 5868.
34. Grosso, D.; Balkenende, A. R.; Albouy, P. A.; Ayral, A.; Amenitsch, H.; Babonneau, F. Chem. Mater. 2001, 13, 1848.
35. Hillhouse, H. W.; van Egmond, J. W.; Tsapatsis, M.; Hanson, J. C.; Larese, J. Z. Microporous Mesoporous Mater. 2001, 44-45, 639.
36. Thurn-Albrecht, T.; Schotter, J.; Kastle, C. A.; Emley, N.; Shibauchi, T.; Krusin-Elbaum, L.; Guarini, K.; Black, C. T.; Tuominen, M. T.; Russell, T. P. Science 2000, 290, 2126.
37. Segalman, R. A. Mater. Sci. Eng., R 2005, 48, 191.
38. Lenhart, J. L.; Jones, R. L.; Lin, E. K.; Soles, C. L.; Wu, W.-I.; Fischer, D. A.; Sambasivan, S.; Goldfarb, D. L.; Angelopoulos, M. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 2920.