Direct-write multiphoton photolithography: A systematic study of the etching behaviors in various commercial polymers

Langmuir

Volumn 23, Issue 24, 2007, Pages 12406-12412

  Ibrahim, Shaida ^a   Higgins, Daniel A ^a   Ito, Land Takashi ^a  

^a KANSAS STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

NONLINEAR OPTICAL PROCESSES; POWER DEPENDENCE;

CONDUCTING POLYMERS; ETCHING; MULTIPHOTON PROCESSES; NONLINEAR OPTICS; PHOTOLITHOGRAPHY;

AROMATIC POLYMERS;

EID: 36649033103     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la7020066     Document Type: Article

References (30)

1. Wallraff, G. M.; Hinsberg, W. D. Chem. Rev. 1999, 99, 1801-1821.
2. Xia, Y.; Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 1999, 99, 1823-1848.
3. Leggett, G. J. Chem. Soc. Rev. 2006, 35, 1150-1161.
4. Li, L.; Fourkas, J. T. Mater. Today 2007, 10, 30-37.
5. Cumpston, B. H.; Ananthavel, S. P.; Barlow, S.; Dyer, D. L.; Ehrlich, J. E.; Erskine, L. L.; Heikal, A. A.; Kuebler, S. M.; Lee, I.-Y. S.; McCord-Maughon, D.; Qin, J.; Rockel, H.; Rumi, M.; Wu, X.-L.; Marder, S. R.: Perry, J. W. Nature 1999, 398, 51-54.
6. Kawata, S.; Sun, H.-B.; Tanaka, T.; Takada, K. Nature 2001, 412, 697-698.
7. Yin, X.; Fang, N.; Zhang, X.; Martini, I. B.; Schwartz, B. J. Appl. Phys. Lett. 2002, 87, 3663-3665.
8. Wu, E. S.; Strickler, J. H.; Harrell, W. R.; Webb, W. W. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1992, 1674, 776-782.
9. Zhou, W.; Kuebler, S. M.; Braun, K. L.; Yu, T.; Cammack, J. K.; Ober, C. K.; Perry, J. W.; Marder, S. R. Science 2002, 296, 1106-1109.
10. Lippen, T.; Dickinson, J. T. Chem. Rev. 2003, 103, 453-485.
11. Wolfe, D. B.; Ashcom, J. B.; Hwang, J. C.; Schaffer, C. B.; Mazur, E.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 2003, 15, 62-65.
12. Higgins, D. A.; Everett, T. A.; Xie, A.; Forman, S. M.; Ito, T. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 184101.
13. Haske, W.; Chen, V. W.; Hales, J. M.; Dong, W.; Barlow, S.; Marder, S.; Perry, J. W. Opt. Express 2007, 15, 3426-3436.
14. Takada, K.; Sun, H.-B.; Kawata, S. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 071122/1-071122/3.
15. Juodkazis, S.; Mizeikis, V.; Seet, K. K.; Miwa, M.; Misawa, H. Nanotechnology 2005, 16, 846-849.
16. Xie, A.; Ito, T.; Higgins, D. A. Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 1515-1522.
17. Srinivasan, R.; Braren, B.; Seeger, D. E.; Dreyfus, R. W. Macromolecules 1986, 19, 916-921.
18. Srinivasan, R.; Sutcliffe, E.; Braren, R. Appl. Phys. Lett. 1987, 57, 1285-1287.
19. Lippert, T.; Webb, R. L.;Langford, S. C.; Dickinson, S. C. J. Appl. Phys. 1999, 85, 1838-1847.
20. Grzybowski, B. A.; Haag, R.; Bowden, N.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 1998, 70, 4645-4652.
21. Lee, I.-Y. S.; Wen, X.; Tolbert, W. A.; Dlott, D. D.; Doxtader, M.; Arnold, D. R. J. Appl. Phys. 1992, 72, 2440-2448.
22. Kumagai, H.; Midorikawa, K.; Toyoda, K.; Nakamura, S.; Okamoto, T.; Obara, M. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 1850-1852.
23. McDonald, J. C.; Whitesides, G. M. Acc. Chem. Res. 2002, 35, 491-499.
24. Luther, B. J.; Springer, G. H.; Higgins, D. A. Chem. Mater. 2001, 73, 2281-2287.
25. Bohn, P. W.; Taylor, J. W.; Guckel, H. Anal. Chem. 1981, 53, 1082-1087.
26. Thurn-Albrecht, T.; Steiner, R.; DeRouchey, J.; Stafford, C. M.; Huang, E.; Bal, M.; Tuominen, M.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Adv. Mater. 2000, 12, 787-791.
27. Kumar, A.; Abbott, N. L.; Kim, E.; Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Acc Chem. Res. 1995, 28, 219-226.
28. Love, J. C.; Estroff, L. A.; Kriebel, J. K.; Nuzzo, R. G.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 2005, 105, 1103-1169.
29. Martynova, L.; Locascio, L. E.; Gaitan, M.; Kramer, G. W.; Christensen, R. G.; MacCrehan, W. A. Anal. Chem. 1997, 69, 4783-4789.
30. Han, J.; Craighead, H. G. Science 2000, 288, 1026-1029.