Thermally stable Ti/Al/W/Au multilayer ohmic contacts on n-type GaN

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 51, Issue 3, 2007, Pages 1046-1049

  Lee, H C ^a   Bae, J W ^a   Yeom, G Y ^a  

^a Sungkyunkwan University   (South Korea)

Author keywords

GaN; Multilayer ohmic contact; Thermally stable; W

Indexed keywords

EID: 34948860095     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.51.1046     Document Type: Article

References (21)

1. S. Nakamura, Y. Harada and M. Seno, Appl. Phys. Lett. 58, 2021 (1991).
2. S. Nakamura, M. Senoh and T. Mukai, Appl. Phys. Lett. 62, 2390 (1993).
3. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahana, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Unemoto, S. Sano and K. Chocho, Appl. Phys. Lett. 72, 2014 (1998).
4. S. W. Chae, J. S. Kwak, S. K. Yoon, M. Y. Kim, J. O. Song, T. Y. Seong and T. G. Kim, J. Korean Phys. Soc. 49, 899 (2006).
5. T. S. Kim, J. Y. Park, T. V. Cuong and C. H. Hong, J. Korean Phys. Soc. 49, 2001 (2006).
6. Y. F. Wu, W. N. Jiang, B. P. Keller, S. Keller, D. Kapolnek, S. P. Denbaars, U. K. Mishra and B. Wilson, Solid State Electron. 41, 165 (1997).
7. S. E. Mohney, B. P. Luther and T. N. Jackson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 843 (1996).
8. L. L. Smith, M. D. Bremser, E. P. Carlson, T. W. Weeks, Y. Huang, M. J. Kim, R. W. Carpenter and R. F. Davis, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 861 (1996).
9. S. Miller and P. H. Holloway, J. Electron. Mater. 25, 1709 (1996).
10. M. E. Lin, Z. Ma, F. Y. Huang, Z. F. Fan, L. H. Allen and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 64, 1003 (1994).
11. S. Ruvimov, W. Z Liliental, J. Washburn, K. J. Duxstad, E. E. Haller, Z. F. Fan, S. N. Mohammad, W. Kim, A. E. Botchkarev and H. Morkoc, Appl. Phys Lett. 69, 1556 (1996).
12. A. T. Ping, M. A. Khan and I. Adesida, J. Electron. Mater. 25, 819 (1996).
13. L. F. Lester, J. M. Brown, J. C. Ramer, L. Zhang, S. D. Hersee and J. C. Zolper, Appl. Phys. Lett. 69, 2737 (1996).
14. B. P. Luther, S. E. Mohney, T. N. Jackson, M. A. Khan, Q. Chen and J. W. Yang, Appl. Phys. Lett. 70, 57 (1997).
15. B. P. Luther, J. M. DeLucca, S. E. Mohney and R. F. Karlicek, Appl. Phys. Lett. 71, 3859 (1997).
16. Z. Fan, S. N. Mohammad, W. Kim, O. Aktas, A. E. Botchkarev and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 68, 1672 (1996).
17. K. V. Vassilevski, M. G. Rastegaeva, A. I. Babanin, I. P. Nikitina and V. A. Dmitriev, Mater. Sci. Eng. B 43, 292 (1997).
18. J. D. Guo, C. I. Lin, M. S. Feng, F. M. Pan, G. C. Chi and C. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 68, 235 (1996).
19. E. Kaminska, A. Piotrowska, M. Guziewicz, S. Kasjaniuk, A. Barcz, E. Dynowska, M. D. Bremster, O. H. Nam and R. F. Davis, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1055 (1997).
20. Z. M. Zhao, R. L. Jiang, P. Chen, D. J. Xi, H. Q. Yu, B. Shen, R. Zhang, Y. Shi, S. L. Gu and Y. D. Zheng, Appl. Phys. Lett. 79, 218 (2001).
21. V. Kumar, L. Zhou, D. Selvanathan and I. Adesida, J. Appl. Phys. 92, 1712 (2002).