메뉴 건너뛰기




Volumn 76, Issue 11, 2007, Pages

Ab initio study of the oxidation on vicinal Si(001) surfaces: The step-selective oxidation

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 34648846506     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.76.115317     Document Type: Article
Times cited : (7)

References (48)
  • 1
    • 0004222611 scopus 로고    scopus 로고
    • edited by Y. J. Chabal (Springer-Verlag, Berlin
    • Fundamental Aspects of Silicon Oxidation, edited by, Y. J. Chabal, (Springer-Verlag, Berlin, 2001).
    • (2001) Fundamental Aspects of Silicon Oxidation
  • 2
    • 0027884236 scopus 로고
    • SSREDI 0167-5729 10.1016/0167-5729(93)90016-I
    • T. Engel, Surf. Sci. Rep. SSREDI 0167-5729 10.1016/0167-5729(93)90016-I 18, 91 (1993).
    • (1993) Surf. Sci. Rep. , vol.18 , pp. 91
    • Engel, T.1
  • 3
    • 2842546542 scopus 로고
    • SCIEAS 0036-8075 10.1126/science.253.5016.173
    • I.-W. Lyo and P. Avouris, Science SCIEAS 0036-8075 10.1126/science.253. 5016.173 253, 173 (1991).
    • (1991) Science , vol.253 , pp. 173
    • Lyo, I.-W.1    Avouris, P.2
  • 4
    • 0001168380 scopus 로고    scopus 로고
    • SCIEAS 0036-8075 10.1126/science.274.5286.385
    • R. Martel, P. Avouris, and I.-W. Lyo, Science SCIEAS 0036-8075 10.1126/science.274.5286.385 272, 385 (1996).
    • (1996) Science , vol.272 , pp. 385
    • Martel, R.1    Avouris, P.2    Lyo, I.-W.3
  • 11
    • 0022957868 scopus 로고
    • MSREEL 0920-2307 10.1016/S0920-2307(86)80001-9
    • F. J. Grunthaner and P. J. Grunthaner, Mater. Sci. Rep. MSREEL 0920-2307 10.1016/S0920-2307(86)80001-9 1, 65 (1986).
    • (1986) Mater. Sci. Rep. , vol.1 , pp. 65
    • Grunthaner, F.J.1    Grunthaner, P.J.2
  • 13
    • 0000292434 scopus 로고
    • SUSCAS 0039-6028 10.1016/0039-6028(85)90012-3
    • J. A. Schaefer and W. Göpel, Surf. Sci. SUSCAS 0039-6028 10.1016/0039-6028(85)90012-3 155, 535 (1985).
    • (1985) Surf. Sci. , vol.155 , pp. 535
    • Schaefer, J.A.1    Göpel, W.2
  • 16
    • 0346616705 scopus 로고
    • APPLAB 0003-6951 10.1063/1.106667
    • D. G. Cahill and Ph. Avouris, Appl. Phys. Lett. APPLAB 0003-6951 10.1063/1.106667 60, 326 (1992).
    • (1992) Appl. Phys. Lett. , vol.60 , pp. 326
    • Cahill, D.G.1    Avouris, Ph.2
  • 20
    • 0026863467 scopus 로고
    • SUSCAS 0039-6028 10.1016/0039-6028(92)90966-A
    • J. R. Engstrom, D. J. Bonser, and T. Engel, Surf. Sci. SUSCAS 0039-6028 10.1016/0039-6028(92)90966-A 268, 238 (1992).
    • (1992) Surf. Sci. , vol.268 , pp. 238
    • Engstrom, J.R.1    Bonser, D.J.2    Engel, T.3
  • 22
    • 0001212088 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.53.7917
    • T. Uchiyama and M. Tsukada, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.53.7917 53, 7917 (1996).
    • (1996) Phys. Rev. B , vol.53 , pp. 7917
    • Uchiyama, T.1    Tsukada, M.2
  • 23
    • 0000683877 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55.9356
    • T. Uchiyama and M. Tsukada, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55.9356 55, 9356 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. B , vol.55 , pp. 9356
    • Uchiyama, T.1    Tsukada, M.2
  • 25
    • 0001166607 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.80.2000
    • K. Kato, T. Uda, and K. Terakura, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.80.2000 80, 2000 (1998).
    • (1998) Phys. Rev. Lett. , vol.80 , pp. 2000
    • Kato, K.1    Uda, T.2    Terakura, K.3
  • 26
    • 0034670658 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.62.15978
    • K. Kato and T. Uda, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.62. 15978 62, 15978 (2000).
    • (2000) Phys. Rev. B , vol.62 , pp. 15978
    • Kato, K.1    Uda, T.2
  • 27
    • 0033327307 scopus 로고    scopus 로고
    • SUSCAS 0039-6028 10.1016/S0039-6028(99)00558-0
    • H. Kageshima and K. Shiraishi, Surf. Sci. SUSCAS 0039-6028 10.1016/S0039-6028(99)00558-0 438, 102 (1999).
    • (1999) Surf. Sci. , vol.438 , pp. 102
    • Kageshima, H.1    Shiraishi, K.2
  • 28
    • 0242581725 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.91.146102
    • T. Yamasaki, K. Kato, and T. Uda, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.91.146102 91, 146102 (2003).
    • (2003) Phys. Rev. Lett. , vol.91 , pp. 146102
    • Yamasaki, T.1    Kato, K.2    Uda, T.3
  • 29
    • 0000835276 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.81.5936
    • H. Kageshima and K. Shiraishi, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.81.5936 81, 5936 (1998).
    • (1998) Phys. Rev. Lett. , vol.81 , pp. 5936
    • Kageshima, H.1    Shiraishi, K.2
  • 33
    • 24544453940 scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.59.1691
    • D. J. Chadi, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.59. 1691 59, 1691 (1987).
    • (1987) Phys. Rev. Lett. , vol.59 , pp. 1691
    • Chadi, D.J.1
  • 35
    • 0001119704 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.56.3579
    • T. Komura, T. Yao, and M. Yoshimura, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.56.3579 56, 3579 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. B , vol.56 , pp. 3579
    • Komura, T.1    Yao, T.2    Yoshimura, M.3
  • 36
    • 0001745208 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55.1322
    • B. S. Swartzentruber, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55. 1322 55, 1322 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. B , vol.55 , pp. 1322
    • Swartzentruber, B.S.1
  • 37
    • 10644250257 scopus 로고
    • PRVBAK 0096-8269 10.1103/PhysRev.136.B864
    • P. Hohenberg and W. Kohn, Phys. Rev. PRVBAK 0096-8269 10.1103/PhysRev.136.B864 136, B864 (1964);
    • (1964) Phys. Rev. , vol.136 , pp. 864
    • Hohenberg, P.1    Kohn, W.2
  • 38
    • 0042113153 scopus 로고
    • PRVBAK 0096-8269 10.1103/PhysRev.140.A1133
    • W. Kohn and L. J. Sham, Phys. Rev. PRVBAK 0096-8269 10.1103/PhysRev.140. A1133 140, A1133 (1965).
    • (1965) Phys. Rev. , vol.140 , pp. 1133
    • Kohn, W.1    Sham, L.J.2
  • 39
    • 20544463457 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.41.7892
    • D. Vanderbilt, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.41.7892 41, 7892 (1990).
    • (1990) Phys. Rev. B , vol.41 , pp. 7892
    • Vanderbilt, D.1
  • 40
    • 0028763270 scopus 로고
    • JCOMEL 0953-8984 10.1088/0953-8984/6/40/015
    • G. Kresse and J. Hafner, J. Phys.: Condens. Matter JCOMEL 0953-8984 10.1088/0953-8984/6/40/015 6, 8245 (1994).
    • (1994) J. Phys.: Condens. Matter , vol.6 , pp. 8245
    • Kresse, G.1    Hafner, J.2
  • 41
    • 12844286241 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.47.558
    • G. Kresse and J. Hafner, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.47.558 47, R558 (1993).
    • (1993) Phys. Rev. B , vol.47 , pp. 558
    • Kresse, G.1    Hafner, J.2
  • 42
    • 2442537377 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.54.11169
    • G. Kresse and J. Furthmuller, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.54.11169 54, 11169 (1996).
    • (1996) Phys. Rev. B , vol.54 , pp. 11169
    • Kresse, G.1    Furthmuller, J.2
  • 44
    • 11944275382 scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.74.130
    • A. Oshiyama, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.74.130 74, 130 (1995).
    • (1995) Phys. Rev. Lett. , vol.74 , pp. 130
    • Oshiyama, A.1
  • 45
    • 3743140767 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.79.4425
    • S. Jeong and A. Oshiyama, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.79.4425 79, 4425 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. Lett. , vol.79 , pp. 4425
    • Jeong, S.1    Oshiyama, A.2
  • 48
    • 0001207657 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.82.968
    • S.-H. Lee and M.-H. Kang, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.82.968 82, 968 (1999).
    • (1999) Phys. Rev. Lett. , vol.82 , pp. 968
    • Lee, S.-H.1    Kang, M.-H.2


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.