Effects of a PbTiO3 seed layer on the structural and the electrical properties of PbZr0.35Ti0.65O3 thin films

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 51, Issue 2 PART I, 2007, Pages 701-705

  Son, Young Jin ^a   Kim, Yoon Jung ^a   Lee, Baek Hee ^a   Hwang, Sung Yeon ^a   Park, Nam Kyun ^a   Chang, Heon Yong ^a   Hong, Suk Kyoung ^a   Hong, Sung Joo ^a   Choi, Ji Hye ^b   Kweon, Soon Yong ^b  

^a Hynix Semiconductor Inc   (South Korea)

^b Chungju National University   (South Korea)

Author keywords

FeRAM; Ferroelectric properties; Grain orientation; PZT thin film

Indexed keywords

EID: 34548354776     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.51.701     Document Type: Article

References (14)

1. K. Kim, Integr. Ferroelectr. 25, 149 (1999).
2. J. H. Choi, H. S. Yoo, K. W. Cho, N. K. Kim, S. H. Oh, E. S. Choi, S. J. Yeom, H. J. Sun, S. S. Lee, K. N. Lee, S. K. Hong, T. W. Hong, I. H. Kim, S. L. Ryu and S. Y. Kweon, Mater. Sci. Forum 510-511, 530 (2006).
3. K. Kim and S. Y. Lee, Integr. Ferroelectr. 81, 77 (2006).
4. O. Hidake, T. Ozaki, Y. Kumura, Y. Shimojo, S. Shuto, Y. Yamada, K. Yahashi, K. Yamakawa, S. Yamazaki, D. Takashima, T. Miyakawa, S. Shiratake, S. Ohtsuki, I. Kunishima and A. Nitayama, VLSI Tech. Dig., 154 (2006).
5. J. M. Koo, S. Kim, S. Shin, K. H. Lee, J. H. Lee, K. H. Kim, B. S. Seo, J. H. Lee and Y. Park, Integr. Ferroelectr. 81, 15 (2006).
6. S. H. Kim, C. Y. Koo, D. Y. Park, D. S. Lee, J. H. Yeom, J. Ha, J. Lim and C. S. Hwang, J. Korean Phys. Soc. 42, S1417 (2003).
7. J.-G. Yoon, D. J. Kim, Y. W. So, J. Jo. T. W. Noh, T. K. Song, K. H. Noh, S.-S. Lee, S.-H. Oh, S.-K. Hong and Y.-J. Park, J. Korean Phys. Soc. 46, 19 (2005).
8. K. Saito, T. Kurosawa, T. Akai, T. Oikawa and H. Funakubo, J. Appl. Phys. 93, 545 (2003).
9. K. Nagashima, M. Aratani and H. Funakubo, J. Appl. Phys. 89, 4517 (2001).
10. C. J. Kim, B. I. Kim and J. Kim, Sensors and Actuators A 125, 353 (2006).
11. C. H. Park, Y. G. Son and M. S. Won, Microchem. J. 80, 201 (2005).
12. C. Y. Koo, J. H. Cheon, J.-H. Yeom, J. Ha, S.-H. Kim and S. K. Hong, J. Korean Phys. Soc. 49, S514 (2006).
13. S. H. Kim, Y. S. Choi, C. E. Kim and D. Y. Yang, Thin Solid Films 325, 72 (1998).
14. S. Hiboux and P. Murait, J. Europ. Ceram. Soc. 24, 1593 (2004).