Interface bonding, chemical reactions, and defect formation at metal-semiconductor interfaces

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 25, Issue 4, 2007, Pages 943-949

  Brillson, L J ^a  

^a OHIO STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEFECT DENSITY; DIFFUSION; ELECTRIC PROPERTIES; SCHOTTKY BARRIER DIODES;

CHEMICAL CORRELATIONS; ELECTRONIC DEFECTS; METAL-SEMICONDUCTOR JUNCTIONS;

SEMICONDUCTOR METAL BOUNDARIES;

EID: 34547348142     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2432348     Document Type: Article

References (77)

1. W. Schottky, Z. Phys. 113, 367 (1939).
2. N. F. Mott, Proc. R. Soc. London, Ser. A 171, 27 (1939).
3. B. Davidov, J. Phys. (USSR) 1, 167 (1939).
4. L. J. Brillson, Surf. Sci. Rep. 2, 123 (1982).
5. L. J. Brillson, in Handbook on Semiconductors, Basic Properties of Semiconductors, edited by, P. T. Landsberg, (North-Holland, Amsterdam, 1992), Vol. 1, Ch., pp. 281-418.
6. J. Bardeen, Phys. Rev. 71, 717 (1947).
7. W. Schockley and W. Pearson, Phys. Rev. 74, 732 (1948).
8. C. A. Mead, Solid-State Electron. 9, 1023 (1966).
9. S. Kurtin, T. C. McGill, and C. A. Mead, Phys. Rev. Lett. 22, 1433 (1969).
10. L. J. Brillson, Phys. Rev. Lett. 40, 260 (1978).
11. L. J. Brillson, Phys. Rev. B 18, 2431 (1978).
12. L. J. Brillson, Phys. Rev. Lett. 38, 245 (1977).
13. L. J. Brillson, in Handbook of Synchrotron Radiation, edited by, G. V. Marr, (North-Holland, Amsterdam, 1985), Vol. II, pp. 541-609.
14. G. Margaritondo, Introduction to Synchrotron Radiation (Oxford University Press, Oxford, 1988).
15. R. A. Butera, M. del Guidice, J. H. Weaver, Phys. Rev. B 33, 5435 (1986).
16. L. J. Brillson, R. Z. Bachrach, R. S. Bauer, and J. McMenamin, Phys. Rev. Lett. 42, 397 (1979).
17. L. J. Brillson, R. S. Bauer, R. Z. Bachrach, and J. C. McMenamin, J. Vac. Sci. Technol. 17, 476 (1980).
18. L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 48, 1458 (1986).
19. L. J. Brillson, C. F. Brucker, A. D. Katnani, N. G. Stoffel, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 38, 784 (1981).
20. L. J. Brillson, Appl. Surf. Sci. 22/23, 948 (1985).
21. T. Kendelewicz, M. D. Williams, W. G. Petro, I. Lindau, and W. E. Spicer, Phys. Rev. B 3, 6503 (1985).
22. R. H. Williams, V. Montgomery, and R. R. Varma, J. Phys. C 11, L735 (1978).
23. L. J. Brillson, G. Margaritondo, and N. G. Stoffel, Phys. Rev. Lett. 44, 667 (1980).
24. L. J. Brillson, G. Margaritondo, N. G. Stoffel, R. S. Bauer, R. Z. Bachrach, and G. Hansson, J. Vac. Sci. Technol. 17, 880 (1980).
25. C. F. Brucker and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 39, 67 (1981).
26. C. F. Brucker and L. J. Brillson, J. Vac. Sci. Technol. 19, 617 (1981).
27. G. Margaritondo, N. G. Stoffel, A. D. Katnani, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 37, 917 (1980).
28. A. Franciosi and C. G. Van de Walle, Surf. Sci. Rep. 25, 1 (1996).
29. R. Nicolini, Phys. Rev. Lett. 72, 294 (1994).
30. A. Raisanen, L. J. Brillson, A. Franciosi, R. Nicolini, L. Vanzetti, and L. Sorba, J. Electron. Mater. 24, 163 (1995).
31. J. Gutowski, N. Presser, and G. Kudlek, Phys. Status Solidi A 120, 11 (1990).
32. M. Yamaguchi, A. Yamamoto, and M. Kondo, J. Appl. Phys. 48, 5237 (1977).
33. T. E. Everhart and P. H. Hoff, J. Appl. Phys. 42, 5837 (1971).
34. L. J. Brillson, H. W. Richter, M. L. Slade, B. A. Weinstein, and Y. Shapira, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 1011 (1985).
35. L. J. Brillson, Scan Electron Microsc. 2, 789 (1988).
36. L. J. Brillson, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1437 (1988).
37. L. J. Brillson, I. M. Vitomirov, A. D. Raisanen, R. E. Viturro, S. Chang, P. D. Kirchner, G. D. Pettit, and J. M. Woodall, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 749 (1992).
38. L. J. Brillson, I. M. Vitomirov, A. D. Raisanen, A. C. Finnefrock, R. E. Viturro, P. D. Kirchner, G. D. Pettit, and J. M. Woodall, Phys. Rev. B 46, 13293 (1992).
39. L. J. Brillson, I. M. Vitomirov, A. D. Raisanen, C. L. Lin, D. T. McInturff, P. D. Kirchner, and J. M. Woodall, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 841 (1993).
40. L. J. Brillson, S. Chang, D. S. Rioux, S. Kirchner, D. Pettit, and J. M. Woodall, Phys. Rev. B 44, 1391 (1991).
41. L. J. Brillson, Physica B 273-274, 70 (1999).
42. R. E. Viturro, M. S. Slade, and L. J. Brillson, Phys. Rev. Lett. 57, 487 (1986).
43. A. P. Young, J. Electron. Mater. 28, 308 (1999).
44. L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 52, 2052 (1988).
45. L. J. Brillson, A. Raisanen, R. S. Goldman, K. L. Kavanagh, and H. H. Wieder, Appl. Phys. Lett. 64, 3572 (1994).
46. R. S. Okojie, D. Lukco, S. Tumakha, G. Jessen, M. Xhang, P. Pirouz, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 79, 3056 (2001).
47. L. J. Brillson, S. Tumakha, G. H. Jessen, R. S. Okojie, M. Zhang, and P. Pirouz, Appl. Phys. Lett. 81, 2785 (2002).
48. Y. M. Strzhemechny, Appl. Phys. Lett. 84, 2545 (2004).
49. H. L. Mosbacker, Y. M. Strzhemechny, B. D. White, P. E. Smith, D. C. Look, D. C. Reynolds, C. W. Litton, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 87, 012102 (2005).
50. L. J. Brillson, T. M. Levin, G. H. Jessen, and F. A. Ponce, Appl. Phys. Lett. 75, 3835 (1999).
51. L. J. Brillson, J. Schäfer, A. P. Young, H. Niimi, and G. Lucovsky, Appl. Phys. Lett. 73, 791 (1998).
52. P. Smith, S. T. Bradley, S. H. Goss, M. Hudait, Y. Lin, S. A. Ringel, and L. J. Brillson, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 554 (2003).
53. S. P. Tumakha, D. J. Ewing, L. M. Porter, Q. Wahab, X. Ma, T. S. Sudharshan, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 87, 242106 (2005).
54. S. T. Bradley, J. Hwang, W. J. Schaff, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 85, 1368 (2004).
55. S. T. Bradley, A. P. Young, L. J. Brillson, M. J. Murphy, W. J. Schaff, and L. F. Eastman, IEEE Trans. Electron Devices 48, 412 (2000).
56. S. H. Goss, X. Sun, D. C. Look, R. J. Molnar, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 78, 3630 (2001).
57. X. L. Sun, L. J. Brillson, and Y.-M. Chiang, J. Appl. Phys. 92, 5072 (2002).
58. G. H. Jessen, R. C. Fitch, J. K. Gillespie, G. D. Via, B. D. White, S. T. Bradley, D. E. Walker, Jr., and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 83, 485 (2003).
59. M. Hetzer, Y. M. Strzhemechny, M. Gao, M. A. Contreras, A. Zunger, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 86, 162105 (2005).
60. M. Gao, Y. Lin, S. T. Bradley, S. A. Ringel, J. Hwang, W. J. Schaff, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 87, 191106 (2005).
61. R. E. Viturro, M. S. Slade, and L. J. Brillson, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 1516 (1987).
62. L. J. Brillson (unpublished).
63. G. Ottaviani, K. N. Tu, and J. W. Mayer, Phys. Rev. Lett. 44, 284 (1980).
64. P. Holloway, Appl. Surf. Sci. 117/118, 362 (1997), and references therein.
65. C. M. Aldao, G. D. Waddill, I. M. Vitomirov, and J. H. Weaver, Appl. Phys. Lett. 53, 2647 (1988).
66. L. J. Brillson, Contacts to Semiconductors (Noyes, Park Ridge, NJ, 1993).
67. V. Heine, Phys. Rev. 138, A1689 (1965).
68. F. Flores and C. Tejedor, J. Phys. C 12, 731 (1979).
69. J. Tersoff, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.52.465 52, 465 (1984); J. Tersoff, Phys. Rev. B 30, 4875 (1984).
70. J. Tersoff, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.52.465 52, 465 (1984); J. Tersoff, Phys. Rev. B 30, 4875 (1984).
71. W. Mönch, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.37.7129 37, 7129 (1988); W. Mönch, J. Vac. Sci. Technol. B 0734-211X 10.1116/1.584248 6, 1270 (1988); W. Mönch, Appl. Surf. Sci. 41/42, 128 (1989).
72. W. Mönch, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.37.7129 37, 7129 (1988); W. Mönch, J. Vac. Sci. Technol. B 0734-211X 10.1116/1.584248 6, 1270 (1988); W. Mönch, Appl. Surf. Sci. 41/42, 128 (1989).
73. W. Mönch, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.37.7129 37, 7129 (1988); W. Mönch, J. Vac. Sci. Technol. B 0734-211X 10.1116/1.584248 6, 1270 (1988); W. Mönch, Appl. Surf. Sci. 41/42, 128 (1989).
74. W. E. Spicer, I. Lindau, P. Skeath, and C. Y. Su, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.44.420 44, 420 (1980); W. E. Spicer, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1245 (1988).
75. W. E. Spicer, I. Lindau, P. Skeath, and C. Y. Su, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.44.420 44, 420 (1980); W. E. Spicer, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1245 (1988).
76. H. L. Mosbacker, Y. M. Strzhemechny, B. D. White, P. E. Smith, D. C. Look, D. C. Reynolds, C. W. Litton, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 87, 012102 (2005).
77. H. L. Mosbacker, M. J. Hetzer, Y. Strzhemechny, D. C. Look, G. Cantwell, J. Zhang, J. J. Song, and L. J. Brillson J. Vac. Sci. Technol. (submitted).