Fabrication and characterization of GaN-based LEDs grown on chemical wet-etched patterned sapphire substrates

Journal of the Electrochemical Society

Volumn 153, Issue 12, 2006, Pages

  Lee, Y J ^a   Kuo, H C ^a   Lu, T C ^a   Su, B J ^a   Wang, S C ^a  

^a NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTALLOGRAPHY; ETCHING; GALLIUM NITRIDE; GROWTH (MATERIALS); LIGHT SCATTERING; QUANTUM EFFICIENCY; RAY TRACING; SAPPHIRE;

CARLO RAY-TRACING METHOD; CHEMICAL WET-ETCHED PATTERNED SAPPHIRE SUBSTRATES (CWE-PSS); EPITAXIAL LAYERS;

LIGHT EMITTING DIODES;

EID: 33750806450     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.2359701     Document Type: Article

References (25)

1. S. Nakamura and G. Fasol, The Blue Laser Diode, Springer, New York (1997).
2. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, and S. Nagahama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2, 34, L797 (1995).
3. H. Morkoc, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys., 76, 1363 (1994).
4. M. Koike, N. Shibata, H. Kato, and Y. Takahashi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., 8, 271 (2002).
5. S. H. Lydecker, K. F. Leadford, and C. A. Ooyen, Proc. SPIE, 5187, 22 (2004).
6. J. Jiao and B. Wang, Proc. SPIE, 5187, 234 (2004).
7. S. D. Lester, F. A. Ponce, M. G. Craford, and D. A. Steigerwald, Appl. Phys. Lett., 66, 1249 (1995).
8. M. Broditsky and E. Yablonovitch, Proc. SPIE, 3002, 119 (1997).
9. C. C. Kao, H. C. Kuo, H. W. Huang, J. T. Chu, Y. C. Peng, Y. L. Hsieh, C. Y. Luo, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 19 (2005).
10. H. W. Huang, C. C. Kao, J. T. Chu, H. C. Kuo, S. C. Wang, and C. C. Yu, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 983 (2005).
11. Y. J. Lee, H. C. Kuo, S. C. Wang, T. C. Hsu, M. H. Hsieh, M. J. Jou, and B. J. Lee, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 2289 (2005).
12. Y. J. Lee, H. C. Tseng, H. C. Kuo, S. C. Wang, C. W. Chang, T. C. Hsu, Y. L. Yang, M. H. Hsieh, M. J. Jou, and B. J. Lee, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 2532 (2005).
13. Y. J. Lee, T. C. Lu, H. C. Kuo, S. C. Wang, M. J. Liou, C. W. Chang, T. C. Hsu, M. H. Hsieh, M. J. Jou, and B. J. Lee, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, 45, 643 (2006).
14. Y. J. Lee, T. C. Lu, H. C. Kuo, S. C. Wang, M. J. Liou, C. W. Chang, T. C. Hsu, M. H. Hsieh, M. J. Jou, and B. J. Lee, Semicond. Sci. Technol., 21, 184 (2006).
15. Y. J. Lee, J. M. Hwang, T. C. Hsu, M. H. Hsieh, M. J. Jou, B. J. Lee, T. C. Lu, H. C. Kuo, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett., 18, 742 (2006).
16. K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2, 40, L583 (2001).
17. M. Yamada, T. Mitani, Y. Narukawa, S. Shioji, I. Niki, S. Sonobe, K. Deguchi, M. Sano, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2, 41, L1431 (2002).
18. D. S. Wuu, W. K. Wang, W. C. Shih, R. H. Horng, C. E. Lee, W. Y. Lin, and J. S. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 288 (2005).
19. Z. H. Feng and K. M. Lau, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 1812 (2005).
20. Y. J. Lee, T. C. Hsu, H. C. Kuo, S. C. Wang, Y. L. Yang, S. N. Yen, Y. T. Chu, Y. J. Shen, M. H. Hsieh, M. J. Jou, and B. J. Lee, Mater. Sci. Eng., B, 122, 184 (2005).
21. Y. J. Lee, J. M. Hwang, T. C. Hsu, M. H. Hsieh, M. J. Jou, B. J. Lee, T. C. Lu, H. C. Kuo, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett., 18, 1152 (2006).
22. J. Wang, L. W. Guo, H. Q. Jia, Z. G. Xing, Y. Wang, H. Chen, and J. M. Zhou, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2, 44, L982 (2005).
23. S. J. Kim, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, 44, 2921 (2005).
24. S. J. Kim, IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 1617 (2005).
25. B. A. E. Saleh and M. C. Teich, Fundamental of Photonics, p. 602, John Wiley, New York (1991).