Fabrication of buried channel waveguides in photosensitive glass using proton beam writing

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 17, 2006, Pages

  Bettiol, A A ^a   Venugopal Rao, S ^b   Teo, E J ^a   Van Kan, J A ^a   Watt, Frank ^a  

^a NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE   (Singapore)

^b INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY GUWAHATI   (India)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

LIGHT PROPAGATION; PHOTOSENSITIVE GLASS; PHOTOSENSITIVITY; PROTON BEAMS; PROTONS; REFRACTIVE INDEX;

BURIED CHANNEL WAVEGUIDES; NEAR-FIELD MODE; SCATTERING TECHNIQUES; WAVEGUIDE FABRICATION;

OPTICAL WAVEGUIDES;

EID: 33646386192     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2198798     Document Type: Article

References (29)

1. T. R. Dietrich, W. Ehrfeld, M. Lacher, M. Kramer, and B. Speit, Microelectron. Eng. 30, 497 (1996).
2. M. Masuda, K. Sugioka, Y. Cheng, N. Aoki, M. Kawachi, K. Shihoyama, K. Toyoda, H. Helvajian, and K. Midorikawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 76, 857 (2003).
3. Y. Cheng, K. Sugioka, K. Midorikawa, M. Masuda, K. Toyoda, M. Kawachi, and K. Shihoyama, Opt. Lett. 28, 1144 (2003).
4. J. Kim, H. Berberoglu, and X. Xu, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 3, 478 (2004).
5. S. Juodkazis, K. Yamasaki, V. Mizeikis, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 79, 1549 (2004).
6. M. Abraham, I. Gomez-Morilla, M. Marsh, and G. Grime, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 739, H2.8.1 (2003).
7. I. Rajta, I. Gomez-Morilla, M. H. Abraham, and A. Z. Kiss, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 210, 260 (2003).
8. I. Gomez-Morilla, M. H. Abraham, D. G. de Kerckhove, and G. W. Grime, J. Micromech. Microeng. 15, 706 (2005).
9. A. C. Fisher, K. A. Gooch, I. E. Henley, and K. Yunus, Anal. Sci. 17, i371 (2001).
10. J. K. Sugioka, Y. Cheng, and K. Midorikawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 17, 397 (2004).
11. Y. Cheng, K. Sugioka, K. Midorikawa, M. Masuda, K. Toyoda, M. Kawachi, and K. Shihoyama, Opt. Lett. 28, 55 (2003).
12. V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
13. Y. Cheng, K. Sugioka, M. Masuda, K. Shihoyama, K. Toyoda, and K. Midorikawa, Opt. Express 11, 1809 (2003).
14. K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto, and K. Hirao, Opt. Lett. 21, 1729 (1996).
15. A. A. Bettiol, T. C. Sum, F. C. Cheong, C. H. Sow, S. V. Rao, J. A. van Kan, E. J. Teo, K. Ansari, and F. Watt, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 231, 364 (2005).
16. D. M. Ruck, S. Brunner, K. Tinschert, and W. X. F. Frank, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 447 (1995).
17. T. C. Sum, A. A. Bettiol, H. L. Seng, I. Rajta, J. A. van Kan, and F. Watt, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 210, 266 (2003).
18. A. Roberts and M. L. von Bibra, J. Lightwave Technol. 14, 2554 (1996).
19. M. L. von Bibra and A. Roberts, J. Lightwave Technol. 15, 1695 (1997).
20. K. Liu, E. Y. B. Pun, T. C. Sum, A. A. Bettiol, J. A. van Kan, and F. Watt, Appl. Phys. Lett. 84, 684 (2004).
21. F. Watt, J. A. van Kan, and T. Osipowicz, MRS Bull. 25, 33 (2000).
22. M. Mayer, AIP Conf. Proc. 475, 541 (1999).
23. J. F. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 219-220, 1027 (2004).
24. H. M. Presby and W. L. Brown, Appl. Phys. Lett. 24, 511 (1974).
25. T. C. Sum, A. A. Bettiol, J. A. van Kan, S. V. Rao, F. Watt, K. Liu, and E. Y. B. Pun, J. Appl. Phys. 98, 033533 (2005).
26. S. V. Rao, K. Moutzouris, M. Ebrahimzadeh, A. D. Rossi, M. Calligaro, V. Ortiz, G. Ginitz, and V. Berger, Opt. Commun. 213, 223 (2002).
27. E. P. EerNisse and C. B. Norris, J. Appl. Phys. 45, 5196 (1974).
28. M. L. von Bibra, A. Roberts, P. Mulvaney, and S. T. Huntington, J. Appl. Phys. 87, 8429 (2000).
29. C. Florea and K. A. Winick, J. Lightwave Technol. 21, 246 (2003).