Band offsets of nitrided ultrathin hafnium silicate films

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 16, 2006, Pages

  Barrett, N T ^a   Renault, O ^b   Besson, P ^b   Le Tiec, Y ^b   Martin, F ^b  

^a CEA SACLAY   (France)

^b CEA LETI   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ENERGY GAP; GATES (TRANSISTOR); NITRIDING; SILICA; SILICATES; SPECTROSCOPIC ANALYSIS; SYNCHROCYCLOTRONS;

BAND OFFSETS; PHOTOEMISSION SPECTROSCOPY; ULTRATHIN HAFNIUM SILICATE FILMS; VALENCE-BAND (VB);

ULTRATHIN FILMS;

EID: 33646196716     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2196235     Document Type: Article

References (16)

1. M. R. Visokay, J. J. Chambers, A. L. P. Rotondaro, A. Shanware, and L. Colombo, Appl. Phys. Lett. 80, 3183 (2002).
2. M. Oshima, S. Toyoda, T. Okumura, J. Okabayashi, H. Kumigashira, K. Ono, M. Niwa, K. Usuda, and N. Hirashita, Appl. Phys. Lett. 83, 2172 (2003).
3. M. Koyama, A. Kaneko, T. Io, M. Koike, Y. Kamata, R. Iijima, Y. Kamimuta, A. Takashima, M. Suzuki, C. Hongo, S. Inumiya, M. Takayanagi, and A. Nishiyama, Proc. IEDM Tech. Dig. 849 (2002).
4. M. S. Akbar, S. Gopalan, H.-J. Cho, K. Onishi, R. Choi, R. Nieh, C. S. Kang, Y. H. Kim, J. Han, S. Krishnan, and J. C. Lee, Appl. Phys. Lett. 82, 1757 (2003).
5. R. L. Opila, G. D. Wilk, M. A. Alam, R. B. van Dover, and B. W. Busch, Appl. Phys. Lett. 81, 1788 (2002).
6. F. J. Himpsel, G. Hollinger, and R. A. Pollak, Phys. Rev. B 28, 7014 (1983).
7. J. W. Keister, J. E. Rowe, J. J. Kolodziej, H. Niimi, T. E. Madey, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 1831 (1999).
8. S. Sayan, T. Emge, E. Garfunkel, X. Zhao, L. Wielunski, R. A. Bartynski, D. Vanderbilt, J. S. Seuhle, S. Suzer, and M. Banaszak-Holl, J. Appl. Phys. 96, 7485 (2004).
9. J. W. Keister, J. E. Rowe, J. J. Kolodziej, H. Niimi, H.-S. Tao, T. E. Madey, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1250 (1999).
10. M. D. Ulrich, J. G. Hong, J. E. Rowe, G. Lucovsky, A. S.-Y. Chan, and T. E. Madey, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 1777 (2003).
11. O. Renault, N. T. Barrett, D. Samour, and S. Quiais-Marthon, Surf. Sci. 566, 526 (2004).
12. F. J. Himpsel, F. R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J. A. Yarmoff, and G. Hollinger, Phys. Rev. B 38, 6084 (1988).
13. G. Shang, P. W. Peacock, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 84, 106 (2004).
14. G.-M. Rignanese, PhD thesis, Universit́ Catholique de Louvain.
15. J. Robertson, Eur. Phys. J.: Appl. Phys. 28, 265 (2004).
16. A. Callegari, E. Cartier, M. Gribelyuk, H. F. Okorn-Schmidt, and T. Zabel, J. Appl. Phys. 90, 6466 (2001).