메뉴 건너뛰기




Volumn 72, Issue 19, 2005, Pages

Simultaneous etching and oxidation of vicinal Si(100) surfaces: Atomistic lattice-gas modeling of morphological evolution

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 29744470892     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.72.195420     Document Type: Article
Times cited : (9)

References (45)
  • 1
    • 0027884236 scopus 로고
    • SSREDI 0167-5729 10.1016/0167-5729(93)90016-I
    • T. Engel, Surf. Sci. Rep. SSREDI 0167-5729 10.1016/0167-5729(93)90016-I 18, 91 (1993).
    • (1993) Surf. Sci. Rep. , vol.18 , pp. 91
    • Engel, T.1
  • 4
    • 12044253504 scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.73.999
    • J. V. Seiple and J. P. Pelz, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.73.999 73, 999 (1994).
    • (1994) Phys. Rev. Lett. , vol.73 , pp. 999
    • Seiple, J.V.1    Pelz, J.P.2
  • 6
    • 0003168363 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.52.16651
    • C. Ebner, J. V. Seiple, and J. P. Pelz, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.52.16651 52, 16651 (1995).
    • (1995) Phys. Rev. B , vol.52 , pp. 16651
    • Ebner, C.1    Seiple, J.V.2    Pelz, J.P.3
  • 7
    • 0001236315 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.53.15432
    • J. V. Seiple, C. Ebner, and J. P. Pelz, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.53.15432 53, 15432 (1996).
    • (1996) Phys. Rev. B , vol.53 , pp. 15432
    • Seiple, J.V.1    Ebner, C.2    Pelz, J.P.3
  • 13
    • 0034341834 scopus 로고    scopus 로고
    • RMPHAT 0034-6861 10.1103/RevModPhys.72.593
    • H. Zandvliet, Rev. Mod. Phys. RMPHAT 0034-6861 10.1103/RevModPhys.72.593 72, 593 (2000).
    • (2000) Rev. Mod. Phys. , vol.72 , pp. 593
    • Zandvliet, H.1
  • 14
    • 0035449005 scopus 로고    scopus 로고
    • SSREDI 0167-5729 10.1016/S0167-5729(01)00012-7
    • B. Voigtlander, Surf. Sci. Rep. SSREDI 0167-5729 10.1016/S0167-5729(01) 00012-7 43, 127 (2001).
    • (2001) Surf. Sci. Rep. , vol.43 , pp. 127
    • Voigtlander, B.1
  • 23
    • 0000505152 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.41.12680
    • Y. Miyamoto and A. Oshiyama, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.41.12680 41, 12680 (1990).
    • (1990) Phys. Rev. B , vol.41 , pp. 12680
    • Miyamoto, Y.1    Oshiyama, A.2
  • 24
    • 0001301076 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.48.8166
    • Z. Zhang and H. Metiu, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.48. 8166 48, 8166 (1993).
    • (1993) Phys. Rev. B , vol.48 , pp. 8166
    • Zhang, Z.1    Metiu, H.2
  • 26
    • 6944246313 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.78.4229
    • B. Borovsky, M. Krueger, and E. Ganz, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.78.4229 78, 4229 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. Lett. , vol.78 , pp. 4229
    • Borovsky, B.1    Krueger, M.2    Ganz, E.3
  • 27
    • 36549101014 scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.341041
    • S. Clarke and D. D. Vvedensky, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.341041 63, 2272 (1988).
    • (1988) J. Appl. Phys. , vol.63 , pp. 2272
    • Clarke, S.1    Vvedensky, D.D.2
  • 29
    • 0001187444 scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.71.2082
    • N. Kitamura, M. G. Lagally, and M. B. Webb, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.71.2082 71, 2082 (1993).
    • (1993) Phys. Rev. Lett. , vol.71 , pp. 2082
    • Kitamura, N.1    Lagally, M.G.2    Webb, M.B.3
  • 32
    • 0000518968 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.76.2306
    • C. Pearson, M. Krueger, and E. Ganz, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.76.2306 76, 2306 (1996).
    • (1996) Phys. Rev. Lett. , vol.76 , pp. 2306
    • Pearson, C.1    Krueger, M.2    Ganz, E.3
  • 33
    • 0001745208 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55.1322
    • B. S. Swartzentruber, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55. 1322 55, 1322 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. B , vol.55 , pp. 1322
    • Swartzentruber, B.S.1
  • 34
    • 0346616705 scopus 로고
    • APPLAB 0003-6951 10.1063/1.106667
    • D. G. Cahill and Ph. Avouris, Appl. Phys. Lett. APPLAB 0003-6951 10.1063/1.106667 60, 326 (1992).
    • (1992) Appl. Phys. Lett. , vol.60 , pp. 326
    • Cahill, D.G.1    Avouris, Ph.2
  • 35
    • 0000952695 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55.2556
    • P. Jensen, H. Larralde, and A. Pimpinelli, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.55.2556 55, 2556 (1997).
    • (1997) Phys. Rev. B , vol.55 , pp. 2556
    • Jensen, P.1    Larralde, H.2    Pimpinelli, A.3
  • 36
    • 0001304823 scopus 로고
    • PHMAA4 0031-8086
    • J. A. Venables, Philos. Mag. PHMAA4 0031-8086 27, 693 (1973).
    • (1973) Philos. Mag. , vol.27 , pp. 693
    • Venables, J.A.1
  • 37
    • 0001527499 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.59.10138
    • V. Brichzin and J. P. Pelz, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.59.10138 59, 10138 (1999).
    • (1999) Phys. Rev. B , vol.59 , pp. 10138
    • Brichzin, V.1    Pelz, J.P.2
  • 38
    • 0033345114 scopus 로고    scopus 로고
    • SSREDI 0167-5729 10.1016/S0167-5729(98)00010-7
    • H.-C. Jeong and E. D. Williams, Surf. Sci. Rep. SSREDI 0167-5729 10.1016/S0167-5729(98)00010-7 34, 171 (1999).
    • (1999) Surf. Sci. Rep. , vol.34 , pp. 171
    • Jeong, H.-C.1    Williams, E.D.2
  • 40
    • 4243395699 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.76.2770
    • W. Theis and R. M. Tromp, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.76.2770 76, 2770 (1996).
    • (1996) Phys. Rev. Lett. , vol.76 , pp. 2770
    • Theis, W.1    Tromp, R.M.2
  • 44
    • 0345158124 scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.68.646
    • P. Bedrossian and T. Klitsner, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.68.646 68, 646 (1992).
    • (1992) Phys. Rev. Lett. , vol.68 , pp. 646
    • Bedrossian, P.1    Klitsner, T.2


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.