Relevance of phosphorus incorporation and hydrogen removal for Si : P δ-doped layers fabricated using phosphine

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

Volumn 202, Issue 6, 2005, Pages 1002-1005

  Goh, K E J ^a   Oberbeck, L ^a   Simmons, M Y ^a  

^a UNIVERSITY OF NEW SOUTH WALES   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DOPANTS; ELECTRICAL ACTIVATION; PHOSPHINE DOSING; PHOSPHORUS INCORPORATION;

ACTIVATION ENERGY; CARRIER CONCENTRATION; HALL EFFECT; HYDROGEN; LATTICE CONSTANTS; MOLECULAR BEAM EPITAXY; SILICON;

PHOSPHORUS;

EID: 25444527987     PISSN: 18626300     EISSN: 18626319     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssa.200460764     Document Type: Conference Paper

References (17)

1. J. W. Lyding, T.-C. Shen, J. S. Hubacek, J. R. Tucker, and G. Abeln, Appl. Phys. Lett. 64, 2010 (1994).
2. D. P. Adams, T. M. Mayer, and B. S. Swartzentruber, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1642 (1996).
3. G. Palasantas, B. Ilge, J. De Nijs, and L. J. Geerligs, J. App. Phys. 85, 1907 (1999).
4. J. R. Tucker and T.-C. Shen, Solid-State Electron. 42, 1061 (1998).
5. J. L. O'Brien, S. R. Schofield, M. Y. Simmons, R. G. Clark, A. S. Dzurak, N. J. Curson, B. E. Kane, N. S. McAlpine, M. E. Hawley, and G. Brown, Phys. Rev. B 64, 161401 (2001).
6. F. J. Rueß, L. Oberbeck, M. Y. Simmons, K. E. J. Goh, A. R. Hamilton, N. J. Curson, T. Hallam, and R. G. Clark, submitted (2004).
7. L. Soukiassian, A. J. Mayne, M. Carbone, and G. Dujardin, Surf. Sci. 528, 121 (2003).
8. K. Sattler, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 4825 (2003).
9. S. R. Schofield, N. J. Curson, M. Y. Simmons, F. J. Rueß, T. Hallam, L. Oberbeck, and R. G. Clark, Phys. Rev. Lett. 91, 136104 (2003).
10. L. Oberbeck, N. J. Curson, M. Y. Simmons, R. Brenner, A. R. Hamilton, S. R. Schofield, and R. G. Clark, Appl. Phys. Lett. 81, 3197 (2002).
11. K. E. J. Goh, L. Oberbeck, M. Y. Simmons, A. R. Hamilton, and R. G. Clark, submitted (2004).
12. T.-C. Shen, J.-Y. Ji, M. A. Zudov, R.-R. Du, J. S. Kline, and J. R. Tucker, Appl. Phys. Lett. 80, 1580 (2002).
13. M. C. Flowers, N. B. H. Jonathan, A. Morris, and S. Wright, J. Chem. Phys. 108, 3342 (1998).
14. D. S. Lin, T. S. Ku, and T. J. Sheu, Surf. Sci. 424, 7 (1999).
15. D. J. Eaglesham, F. C. Unterwald, and H. Luftman, J. Appl. Phys. 74, 6615 (1993).
16. D. J. Eaglesham, J. Appl. Phys. 77, 3597 (1995).
17. L. Oberbeck, T. Hallam, N. J. Curson, M. Y. Simmons, and R. G. Clark, Appl. Surf. Sci. 212-213, 319 (2003).