Effects of catalyst film thickness on plasma-enhanced carbon nanotube growth

Journal of Applied Physics

Volumn 98, Issue 3, 2005, Pages

  Hofmann, S ^a   Cantoro, M ^a   Kleinsorge, B ^a   Casiraghi, C ^a   Parvez, A ^a   Robertson, J ^a   Ducati, C ^a  

^a UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMMONIA MIXTURES; CATALYST FILMS; FILM THICKNESS; OXIDIZED SILICON;

ACETYLENE; AMMONIA; CATALYSTS; GROWTH KINETICS; MIXTURES; PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; SILICON NITRIDE; THIN FILMS;

CARBON NANOTUBES;

EID: 23944469371     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1989432     Document Type: Article

References (53)

1. R. H. Baughman, A. A. Zakhidov, and W. A. de Heer, Science 297, 787 (2002).
2. L. J. E. Hofer, E. Sterling, and J. T. McCartney, J. Phys. Chem. 59, 1153 (1955).
3. A. Oberlin, M. Endo, and T. Koyama, J. Cryst. Growth 32, 335 (1976).
4. H. B. Peng, T. G. Ristroph, G. M. Schurmann, G. M. King, J. Yoon, V. Narayanamurti, and J. A. Golovchenko, Appl. Phys. Lett. 83, 4238 (2003).
5. Z. F. Ren, Z. P. Huang, J. W. Xu, J. H. Wang, P. Bush, M. P. Siegal, and P. N. Provencio, Science 282, 1105 (1998).
6. B. Kleinsorge, V. B. Golovko, S. Hofmann, J. Geng, D. Jefferson, J. Robertson, and B. F. G. Johnson, Chem. Commun. (Cambridge) 12, 1416 (2004).
7. J. Kong, H. T. Soh, A. M. Cassell, C. F. Quate, and H. J. Dai, Nature (London) 395, 878 (1998).
8. J. H. Han, J. Appl. Phys. 91, 483 (2001).
9. M. P. Siegal, D. L. Overmyer, and P. P. Provencio, Appl. Phys. Lett. 80, 2171 (2002).
10. E. Jiran and C. V. Thompson, J. Electron. Mater. 19, 1153 (1990).
11. Y. M. Li, Nano Lett. 4, 317 (2004).
12. J. W. Ward, B. Q. Wei, and P. M. Ajayan, Chem. Phys. Lett. 376, 717 (2003).
13. T. de los Arcos, M. G. Garnier, J. W. Seo, P. Oelhafen, V. Thommen, and D. Mathys, J. Phys. Chem. B 108, 7728 (2004).
14. Y. J. Jung, Y. Homma, T. Ogino, Y. Kobayashi, D. Takagi, B. Q. Wei, R. Vajtai, and P. M. Ajayan, J. Phys. Chem. B 107, 6859 (2003).
15. K. Hata, D. N. Futaba, K. Mizuno, T. Namai, M. Yumura, and S. Iijima, Science 306, 1362 (2004).
16. S. S. Fan, M. G. Chapline, N. R. Franklin, T. W. Tombler, A. M. Cassell, and H. J. Dai, Science 283, 512 (1999).
17. M. Chhowalla, K. B. K. Teo, C. Ducati, N. L. Rupesinghe, G. A. J. Amaratunga, A. C. Ferrari, D. Roy, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 90, 5308 (2001).
18. M. Meyyappan, L. Delzeit, A. Cassell, and D. Hash, Plasma Sources Sci. Technol. 12, 205 (2003).
19. S. Hofmann, C. Ducati, J. Robertson, and B. Kleinsorge, Appl. Phys. Lett. 83, 135 (2003).
20. S. Hofmann, J. Robertson, C. Ducati, and R. E. Dunin-Borkowski, Nanotechnology 15, 601 (2004).
21. V. Merkulov, A. V. Melechko, M. A. Guillorn, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, Chem. Phys. Lett. 361, 492 (2002).
22. V. I. Merkulov, D. H. Lowndes, Y. Y. Wei, G. Eres, and E. Voelkl, Appl. Phys. Lett. 76, 3555 (2000).
23. C. A. Bower, O. Zhou, Z. Wei, D. J. Werder, and J. Sungho, Appl. Phys. Lett. 77, 2767 (2000).
24. Y. Y. Wei, G. Eres, V. I. Merkulov, and D. H. Lowndes, Appl. Phys. Lett. 78, 1394 (2001).
25. J. D. Carey, L. L. Ong, and S. R. P. Silva, Nanotechnology 14, 1223 (2003).
26. C. Ducati, I. Alexandrou, M. Chhowalla, G. A. J. Amaratunga, and J. Robertson, J. Appl. Phys. 92, 3299 (2002).
27. Z. P. Huang, J. W. Wu, Z. F. Ren, J. H. Wang, M. P. Siegal, and P. N. Provencio, Appl. Phys. Lett. 73, 3845 (1998).
28. L. Gan, R. D. Gomez, C. J. Powell, R. D. McMichael, P. J. Chen, and W. F. Egelhoff, J. Appl. Phys. 93, 8731 (2003).
29. T. Shinjo, T. Iwasaki, T. Shigematsu, and T. Takada, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 23, 283 (1984).
30. O. A. Nerushev, S. Dittmar, R. E. Morjan, F. Rohmund, and E. E. B. Campbell, J. Appl. Phys. 93, 4185 (2003).
31. Y. Y. Wang, S. Gupta, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 85, 2601 (2004).
32. K. N. Tu, Appl. Phys. Lett. 27, 221 (1975).
33. G. Molnar, L. Dozsa, G. Peto, Z. Vertesy, A. A. Koos, Z. E. Horvath, and E. Zsoldos, Thin Solid Films 459, 48 (2004).
34. A. V. Melechko, T. E. McKnight, D. K. Hensley, M. A. Guillorn, A. Y. Borisevich, V. I. Merkulov, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, Nanotechnology 14, 1029 (2003).
35. R. T. L. Baker and M. A. Barber, in Chemical Physics and Carbon, edited by, P. L. Walker, and, P. A. Thrower, (Dekker, New York, 1978), Vol. 14.
36. Y. C. Choi, Y. M. Shin, Y. H. Lee, B. S. Lee, G. S. Park, W. B. Choi, N. S. Lee, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 76, 2367 (2000).
37. D.-H. Kim, H.-S. Jang, C.-D. Kim, D.-S. Cho, H.-S. Yang, H.-D. Kang, B.-K. Min, and H.-R. Lee, Nano Lett. 3, 863 (2003).
38. A. V. Melechko, V. I. Merkulov, D. H. Lowndes, M. A. Guillorn, and M. L. Simpson, Chem. Phys. Lett. 356, 527 (2002).
39. CRC Handbook of Chemistry and Physics, 81st ed. (CRC Press, Boca Raton, FL, 2000).
40. R. E. Morjan, V. Maltsev, O. Nerushev, Y. Yao, L. K. L. Falk, and E. E. B. Campbell, Chem. Phys. Lett. 383, 385 (2004).
41. S. M. Huang, M. Woodson, R. Smalley, and J. Liu, Nano Lett. 4, 1025 (2004).
42. C. C. Li, A. Kurtz, P. Hongkun, and C. M. Lieber, J. Phys. Chem. B 106, 2429 (2002).
43. H. T. Cui, X. J. Yang, M. L. Simpson, D. H. Lowndes, and M. Varela, Appl. Phys. Lett. 84, 4077 (2004).
44. S. Helveg, C. Lopez-Cartes, J. Sehested, P. L. Hansen, B. S. Clausen, J. R. Rostrup-Nielsen, F. Abild-Pedersen, and J. K. Norskov, Nature (London) 427, 426 (2004).
45. L. Delzeit, I. McAninch, B. A. Cruden, D. Hash, B. Chen, J. Han, and M. Meyyappan, J. Appl. Phys. 91, 6027 (2002).
46. J. H. Choi, J. Appl. Phys. 94, 487 (2003).
47. R. Seidel, G. S. Duesberg, E. Unger, A. P. Graham, M. Liebau, and F. Kreupl, J. Phys. Chem. B 108, 1888 (2004).
48. H. S. Bengaard, J. K. Norskov, J. Sehested, B. S. Clausen, L. P. Nielsen, A. M. Molenbroek, and J. R. Rostrup-Nielsen, J. Catal. 209, 365 (2002).
49. J. M. Ting and K. H. Liao, Chem. Phys. Lett. 396, 469 (2004).
50. C. Klinke, J. M. Bonard, and K. Kern, Surf. Sci. 492, 195 (2001).
51. K. Nishimura, N. Okazaki, L. Pan, and Y. Nakayama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 43, L471 (2004).
52. P. Coquay, R. E. Vandenberghe, E. De Grave, A. Fonseca, P. Piedigrosso, and J. B. Nagy, J. Appl. Phys. 92, 1286 (2002).
53. D. B. Geohegan, A. A. Puretzky, I. N. Ivanov, S. Jesse, G. Eres, and J. Y. Howe, Appl. Phys. Lett. 83, 1851 (2003).