Dissolution behavior of main-chain-fluorinated polymers for 157 nm lithography

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 22, Issue 6, 2004, Pages 3509-3512

  Kodani, T ^a   Ishikawa, T ^a   Yoshida, T ^a   Hayami, T ^a   Koh, M ^a   Moriya, T ^a   Yamashita, T ^a   Toriumi, M ^a   Araki, T ^a   Aoyama, H ^a   Hagiwara, T ^b   Furukawa, T ^b   Itani, T ^b   Fujii, K ^b  

^a DAIKIN INDUSTRIES LTD   (Japan)

^b SEMICONDUCTOR LEADING EDGE TECHNOLOGIES INC   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DISSOLUTION; FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; FREE ENERGY; GEL PERMEATION CHROMATOGRAPHY; MOLECULAR WEIGHT; NUCLEAR MAGNETIC RESONANCE SPECTROSCOPY; PHOTOLITHOGRAPHY; QUARTZ; SYNTHESIS (CHEMICAL);

FILM THICKNESS; QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE (QCM); STATIC CONTACT ANGLE; SURFACE FREE ENERGY;

FLUORINE CONTAINING POLYMERS;

EID: 19944433184     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1826064     Document Type: Conference Paper

References (24)

1. T. M. Bloomstein, M. Rothschild, R. R. Kunz, D. E. Hardy, R. B. Goodman, and S. T. Palmacci, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3154 (1998); T. H. Fedynyshyn, W. A. Mowers, R. R. Kunz, R. F. Sinta, M. Sworin, and R. B. Goodman, Proc. SPIE 4690, 29 (2002), and references therein.
2. T. M. Bloomstein, M. Rothschild, R. R. Kunz, D. E. Hardy, R. B. Goodman, and S. T. Palmacci, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3154 (1998); T. H. Fedynyshyn, W. A. Mowers, R. R. Kunz, R. F. Sinta, M. Sworin, and R. B. Goodman, Proc. SPIE 4690, 29 (2002), and references therein.
3. H. Ito, G. M. Wallraff, P. Brock, N. Fender, W. D. Hinsberg, H. Truong, G. Breyta, D. C. Miller, M. H. Sherwood, and R. D. Allen, Proc. SPIE 4345, 273 (2001); H. Ito, Hoa D. Truong, M. Okazaki, D. C. Miller, N. Fender, G. Breyta, P. J. Brock, G. M. Wallraff, C. E. Larson, and R. D. Allen, ibid. 4690, 18 (2002).
4. H. Ito, G. M. Wallraff, P. Brock, N. Fender, W. D. Hinsberg, H. Truong, G. Breyta, D. C. Miller, M. H. Sherwood, and R. D. Allen, Proc. SPIE 4345, 273 (2001); H. Ito, Hoa D. Truong, M. Okazaki, D. C. Miller, N. Fender, G. Breyta, P. J. Brock, G. M. Wallraff, C. E. Larson, and R. D. Allen, ibid. 4690, 18 (2002).
5. D. Schmaljohann, Y. C. Bae, G. L. Weibel, A. H. Hamad, and C. K. Ober, Proc. SPIE 3999, 330 (2000); Y. C. Bae, K. Douki, T. Yu, J. Dai, D. Schmaljohann, H. Koerner, and C. K. Ober, Chem. Mater. 14, 1306 (2002), and references therein.
6. D. Schmaljohann, Y. C. Bae, G. L. Weibel, A. H. Hamad, and C. K. Ober, Proc. SPIE 3999, 330 (2000); Y. C. Bae, K. Douki, T. Yu, J. Dai, D. Schmaljohann, H. Koerner, and C. K. Ober, Chem. Mater. 14, 1306 (2002), and references therein.
7. Y. Uetani, K. Hashimoto, Y. Miya, I. Yoshida, M. Takigawa, and R. Hanawa, Proc. SPIE 4345, 379 (2001).
8. K. Patterson, M. Yamachika, R. Hung, C. Brodsky, S. Yamada, M. Som-ervell, B. Osborn, D. Hall, G. Dukovic, J. Byers, W. Conley, and C. G. Willson, Proc. SPIE 3999, 365 (2000); D. P. Sanders, E. F. Connor, R. H. Grubbs, R. J. Hung, B. P. Osborn, T. Chiba, S. A. MacDonald, C. G. Willson, and W. Conley, Macromolecules 36, 1534 (2003), and references therein.
9. K. Patterson, M. Yamachika, R. Hung, C. Brodsky, S. Yamada, M. Som-ervell, B. Osborn, D. Hall, G. Dukovic, J. Byers, W. Conley, and C. G. Willson, Proc. SPIE 3999, 365 (2000); D. P. Sanders, E. F. Connor, R. H. Grubbs, R. J. Hung, B. P. Osborn, T. Chiba, S. A. MacDonald, C. G. Willson, and W. Conley, Macromolecules 36, 1534 (2003), and references therein.
10. M. K. Crawford, A. E. Feiring, J. Feldman, R. H. French, M. Periyasamy, F. L. Schadt III, R. J. Smalley, F. C. Zumsteg, R. R. Kunz, V. Rao, L. Liao, and S. M. Holl, Proc. SPIE 3999, 357 (2000); G. Taylor, C. B. Xu, G. Teng, J. Leonard, C. Szmanda, W. Lawrence, S. Nur, K. Brown, and A. Stephen, ibid. 4690, 51 (2002), and references therein.
11. M. K. Crawford, A. E. Feiring, J. Feldman, R. H. French, M. Periyasamy, F. L. Schadt III, R. J. Smalley, F. C. Zumsteg, R. R. Kunz, V. Rao, L. Liao, and S. M. Holl, Proc. SPIE 3999, 357 (2000); G. Taylor, C. B. Xu, G. Teng, J. Leonard, C. Szmanda, W. Lawrence, S. Nur, K. Brown, and A. Stephen, ibid. 4690, 51 (2002), and references therein.
12. M. Toriumi, S. Ishikawa, S. Miyoshi, T. Naito, T. Yamazaki, M. Watanabe, and T. Itani, Proc. SPIE 4345, 371 (2001); M. Toriumi, N. Shida, H. Watanabe, T. Yamazaki, S. Ishikawa, and T. Itani, ibid. 4690, 191 (2002), and references therein.
13. M. Toriumi, S. Ishikawa, S. Miyoshi, T. Naito, T. Yamazaki, M. Watanabe, and T. Itani, Proc. SPIE 4345, 371 (2001); M. Toriumi, N. Shida, H. Watanabe, T. Yamazaki, S. Ishikawa, and T. Itani, ibid. 4690, 191 (2002), and references therein.
14. S. Kodama, I. Kaneko, Y. Takebe, S. Okada, Y. Kawaguchi, N. Shida, S. Ishikawa, M. Toriumi, and T. Itani, Proc. SPIE 4690, 76 (2002).
15. M. Koh, T. Ishikawa, T. Araki, H. Aoyama, T. Yamashita, T. Yamazaki, H. Watanabe, M. Toriumi, and T. Itani, Proc. SPIE 4690, 486 (2002); M. Toriumi, M. Koh, T. Ishikawa, T. Kodani, T. Araki, H. Aoyama, T. Yamashita, T. Yamazaki, T. Furukawa, and T. Itani, ibid. 5039, 53 (2003), and references therein.
16. M. Koh, T. Ishikawa, T. Araki, H. Aoyama, T. Yamashita, T. Yamazaki, H. Watanabe, M. Toriumi, and T. Itani, Proc. SPIE 4690, 486 (2002); M. Toriumi, M. Koh, T. Ishikawa, T. Kodani, T. Araki, H. Aoyama, T. Yamashita, T. Yamazaki, T. Furukawa, and T. Itani, ibid. 5039, 53 (2003), and references therein.
17. M. Toriumi, T. Ohfuji, M. Endo, and H. Morimoto, J. Photopolym. Sci. Technol. 12, 545 (1999); M. Toriumi, T. Itani, J. Yamashita, T. Sekine, and K. Nakatani, Proc. SPIE 4690, 904 (2002), and references therein.
18. M. Toriumi, T. Ohfuji, M. Endo, and H. Morimoto, J. Photopolym. Sci. Technol. 12, 545 (1999); M. Toriumi, T. Itani, J. Yamashita, T. Sekine, and K. Nakatani, Proc. SPIE 4690, 904 (2002), and references therein.
19. D. K. Owens, R. C. Wendt, J. Appl. Polym. Sci. 13, 1741 (1969); M. Morita, H. Ogisu, and M. Kubo, ibid. 73, 1741 (1999).
20. D. K. Owens, R. C. Wendt, J. Appl. Polym. Sci. 13, 1741 (1969); M. Morita, H. Ogisu, and M. Kubo, ibid. 73, 1741 (1999).
21. M. Koh, T. Ishikawa, M. Toriumi, T. Araki, T. Yamashita, H. Aoyama, T. Yamazaki, f. Furukawa, and T. Itani, Proc. SPIE 5039, 589 (2003).
22. M. Toriumi, T. Ishikawa, T. Kodani, M. Koh, T. Moriya, T. Yamashita, T. Araki, H. Aoyama, T. Yamazaki, T. Furukawa, and T, Itani, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 27 (2004).
23. P. C. Tsiartas, L. L. Simpson, A. Qin, C. G. Willson, and R. D. Allen, Proc. SPIE 2438, 261 (1995); H. Ito, IBM J. Res. Dev. 45, 683 (2001).
24. P. C. Tsiartas, L. L. Simpson, A. Qin, C. G. Willson, and R. D. Allen, Proc. SPIE 2438, 261 (1995); H. Ito, IBM J. Res. Dev. 45, 683 (2001).