Comparative study of defect energetics in HfO2 and SiO 2

Applied Physics Letters

Volumn 84, Issue 9, 2004, Pages 1492-1494

  Scopel, W L ^a   Da Silva, Antônio J R ^a   Orellana, W ^a   Fazzio, A ^a  

^a UNIVERSITY OF SÃO PAULO   (Brazil)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

APPROXIMATION THEORY; INTERFACES (MATERIALS); MATHEMATICAL MODELS; MOS CAPACITORS; OXYGEN; PERMITTIVITY; PHASE EQUILIBRIA; PROBABILITY DENSITY FUNCTION; QUARTZ; SILICA; SUBSTITUTION REACTIONS; THERMODYNAMICS;

BANDGAPS; DEFECT ENERGETICS;

HAFNIUM COMPOUNDS;

EID: 1642588409     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1650874     Document Type: Article

References (25)

1. D. A. Muller, T. Sorsch, S. Moccio, H. F. Baumann, K. Evans-Lutterodt, and G. Timp, Nature (London) 399, 758 (1999).
2. M.-H. Cho, Y. S. Roh, C. N. Whang, K. Jeong, S. W. Nahm, D.-H. Ko, J. H. Lee, N. I. Lee, and K. Fujihara, Appl. Phys. Lett. 81, 472 (2002).
3. T. S. Jeon, J. M. White, and D. L. Kwong, Appl. Phys. Lett. 78, 368 (2001).
4. V. Misa, G. Lucovsky, and G. Parsons, MRS Bull. 27, 212 (2002).
5. B. W. Bush, O. Pluchery, Y. J. Chabal, D. A. Muller, R. L. Opila, J. R. Kwo, and E. Garfunkel, MRS Bull. 27, 206 (2002).
6. M. Gutowski, J. E. Jaffe, C.-L. Liu, M. Stoker, R. I. Hegde, R. S. Raj, and P. J. Tobin, Appl. Phys. Lett. 80, 1897 (2002).
7. A. Callegari, E. Cartier, M. Gribelyuk, H. F. Okorn-Schmidt, and T. Zabel, J. Appl. Phys. 90, 6466 (2001).
8. H. Kato, T. Nango, T. Miyagwa, T. Katagiri, K. Soo Seol, and Y. Ohki, J. Appl. Phys. 92, 1106 (2002).
9. K. P. Bastos, J. Morals, L. Miotti, R. P. Pezzi, G. V. Soares, I. J. R. Baumvol, R. I. Hegde, H. H. Tseng, and P. J. Tobin, Appl. Phys. Lett. 81, 1669 (2002).
10. B. K. Park, J. Park, M. Cho, C. S. Hwang, K. Oh, Y. Han, and D. Y. Yang, J. Electrochem. Soc. 149, G89 (2002).
11. B. K. Park, J. Park, M. Cho, C. S. Hwang, K. Oh, Y. Han, and D. Y. Yang, Appl. Phys. Lett. 80, 2368 (2002).
12. M. Cho, J. Park, H. K. Park, and C. S. Hwang, Appl. Phys. Lett. 81, 3630 (2002).
13. S. J. Wang, P. C. Lim, A. C. H. Huan, C. L. Liu, J. W. Chai, S. Y. Chow, J. S. Pan, Q. Li, and C. K. Ong, Appl. Phys. Lett. 82, 2047 (2003).
14. D. Vanderbilt, Phys. Rev. B 41, 7892 (1990).
15. G. Kresse and J. Hafner, Phys. Rev. B 47, 558 (1993).
16. G. Kresse and J. Hafner, Phys. Rev. B 48, 13115 (1993).
17. G. Kresse and J. Furthmuller, Comput. Mater. Sci. 6, 15 (1996).
18. J. P. Perdew, J. A. Chevary, S. H. Vosko, K. A. Jackson, M. R. Pederson, D. J. Singh, and C. Fiolhais, Phys. Rev. B 41, 6671 (1992).
19. W. Orellana, A. J. R. da Silva, and A. Fazzio, Phys. Rev. Lett. 87, 155901 (2001).
20. W. Orellana, A. J. R. da Silva, and A. Fazzio, Phys. Rev. Lett. 90, 016103 (2003).
21. A. S. Foster, F. L. Gejo, A. L. Shluger, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 65, 174117 (2002).
22. J. Kang, E.-C. Lee, and K. J. Chang, Phys. Rev. B 68, 054106 (2003).
23. N. Binggeli, N. Troullier, J. L. Martins, and J. Chelikowsky, Phys. Rev. B 44, 4771 (1991).
24. A. S. Foster, A. L. Shluger, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. Lett. 89, 225901 (2002).
25. J.-H. Lee, N. Miyata, M. Kundu, and M. Ichikawa, Phys. Rev. B 66, 233309 (2002).