The simulation study for the nanometer-scale selective growth of Si islands on Si(0 0 1) windows in ultrathin SiO2 films

Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures

Volumn 21, Issue 2-4, 2004, Pages 578-582

  Ishii, A ^a   Yamazoe, J ^a   Aisaka, T ^a  

^a TOTTORI UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

Dot; Pattern formation; Si(0 0 1); Simulation; SiO2

Indexed keywords

ATOMIC BEAMS; BINDING ENERGY; BOUNDARY CONDITIONS; COMPUTER SIMULATION; INTERFACIAL ENERGY; MONTE CARLO METHODS; RATE CONSTANTS; THERMAL EFFECTS; ULTRATHIN FILMS;

DOT; PATTERN FORMATION; SI(001);

SILICA;

EID: 1642351415     PISSN: 13869477     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.physe.2003.11.132     Document Type: Conference Paper

References (14)

1. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
2. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
3. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
4. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
5. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
6. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
7. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
8. Fujita S., Maruno S., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 69:1996;638 Fujita K., Watanabe H., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 70:1997;2807 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. J. Vac. Sci. Technol. A. 15:1997;1493 Shklyaev A.A., Shibata M., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 72:1998;320 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Appl. Phys. Lett. 73:1998;2179 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 462:2000;L587 Shibata M., Nitta Y., Fujita K., Ichikawa M. Phys. Rev. B. 61:2000;7499 Nitta Y., Shibata M., Fujita K., Ichikawa M. Surf. Sci. 496:2002;L7.
9. Kawamura T. Prog. Surf. Sci. 44:1993;67.
10. Ishii A., Kawamura T. Appl. Surf. Sci. 130:1998;403 Ishii A., Kawamura T. Surf. Sci. 438:1999;38.
11. Ishii A., Kawamura T. Appl. Surf. Sci. 130:1998;403 Ishii A., Kawamura T. Surf. Sci. 438:1999;38.
12. Tomiyama O. Master Thesis. 2002;Tottori University, Japan, Tsukao M. Master Thesis. 2002;Tottori University, Japan.
13. Tomiyama O. Master Thesis. 2002;Tottori University, Japan, Tsukao M. Master Thesis. 2002;Tottori University, Japan.
14. Kawamura T., Toyoshima S., Ichimiya A. Surf. Sci. 514:2002;60.