Semiconductor quantum point contact fabricated by lithography with an atomic force microscope

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 18, 1997, Pages 2689-2691

  Held, R ^a   Heinzel, T ^a   Studerus, P ^a   Ensslin, K ^a   Holland, M ^b  

^a ETH ZURICH   (Switzerland)

^b UNIVERSITY OF GLASGOW   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001095276     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120137     Document Type: Article

References (30)

1. For a review, see Technology of Proximal Probe Lithography, edited by C. R. K. Marrian (SPIE Optical Engineering Press, Bellingham, WA, 1993); R. Wiesendanger, Appl. Surf. Sci. 54, 271 (1992).
2. For a review, see Technology of Proximal Probe Lithography, edited by C. R. K. Marrian (SPIE Optical Engineering Press, Bellingham, WA, 1993); R. Wiesendanger, Appl. Surf. Sci. 54, 271 (1992).
3. M. A. McCord and R. F. W. Pease, Appl. Phys. Lett. 50, 269 (1987); Y. Kim and C. M. Lieber, Science 257, 375 (1992); L. L. Sohn and R. L. Willett, Appl. Phys. Lett. 67, 1552 (1995).
4. M. A. McCord and R. F. W. Pease, Appl. Phys. Lett. 50, 269 (1987); Y. Kim and C. M. Lieber, Science 257, 375 (1992); L. L. Sohn and R. L. Willett, Appl. Phys. Lett. 67, 1552 (1995).
5. M. A. McCord and R. F. W. Pease, Appl. Phys. Lett. 50, 269 (1987); Y. Kim and C. M. Lieber, Science 257, 375 (1992); L. L. Sohn and R. L. Willett, Appl. Phys. Lett. 67, 1552 (1995).
6. M. Wendel, S. Kühn, H. Lorenz, J. P. Kotthaus, and M. Holland, Appl. Phys. Lett. 65, 1775 (1994).
7. D. M. Eigler and E. K. Schweizer, Nature (London) 344, 524 (1990).
8. H. J. Mamin, P. H. Guethner, and D. Rugar, Phys. Rev. Lett. 65, 2418 (1990); H. J. Mamin et al., J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1398 (1991).
9. H. J. Mamin, P. H. Guethner, and D. Rugar, Phys. Rev. Lett. 65, 2418 (1990); H. J. Mamin et al., J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1398 (1991).
10. E. S. Snow and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1933 (1994); E. S. Snow and P. M. Campbell, Science 270, 1639 (1995).
11. E. S. Snow and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1933 (1994); E. S. Snow and P. M. Campbell, Science 270, 1639 (1995).
12. R. S. Becker, J. A. Golavchenko, and B. S. Swartzentruber, Nature (London) 325, 419 (1987); J. A. Dagata, J. Schneir, H. H. Harary, and C. J. Evans, Appl. Phys. Lett. 56, 2001 (1990).
13. R. S. Becker, J. A. Golavchenko, and B. S. Swartzentruber, Nature (London) 325, 419 (1987); J. A. Dagata, J. Schneir, H. H. Harary, and C. J. Evans, Appl. Phys. Lett. 56, 2001 (1990).
14. R. S. Becker, G. S. Higashi, Y. J. Chabal, and A. J. Becker, Phys. Rev. Lett. 65, 1917 (1990); E. S. Snow, P. M. Campbell, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 63, 749 (1993); P. M. Campbell, E. S. Snow, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 66, 1388 (1995).
15. R. S. Becker, G. S. Higashi, Y. J. Chabal, and A. J. Becker, Phys. Rev. Lett. 65, 1917 (1990); E. S. Snow, P. M. Campbell, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 63, 749 (1993); P. M. Campbell, E. S. Snow, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 66, 1388 (1995).
16. R. S. Becker, G. S. Higashi, Y. J. Chabal, and A. J. Becker, Phys. Rev. Lett. 65, 1917 (1990); E. S. Snow, P. M. Campbell, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 63, 749 (1993); P. M. Campbell, E. S. Snow, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 66, 1388 (1995).
17. H. Sugimura, T. Uchida, N. Kitamura, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 63, 1288 (1993).
18. D. Wang, L. Tsau, and K. L. Wang, Appl. Phys. Lett. 67, 1295 (1995).
19. E. S. Snow, D. Park, and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 69, 269 (1996); E. S. Snow, D. Park, and P. M. Campbell, Superlattices Microstruct. 20, 545 (1996).
20. E. S. Snow, D. Park, and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 69, 269 (1996); E. S. Snow, D. Park, and P. M. Campbell, Superlattices Microstruct. 20, 545 (1996).
21. S. Sasa, T. Ikeda, C. Dohno, and M. Inoue, Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).
22. K. Matsumoto, M. Ishii, K. Segana, Y. Oka, B. J. Vartanian, and J. S. Harris, Appl. Phys. Lett. 68, 34 (1996).
23. M. Ishii and K. Matsumoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 1329 (1995).
24. M. Wendel, H. Lorenz, and J. P. Kotthaus, Appl. Phys. Lett. 67, 3732 (1995).
25. L. Young, Anodic Oxide Films (Academic, New York, 1961).
26. S. K. Ghandhi, VLSI Fabrication Principles (Wiley, New York, 1994).
27. M. Wendel, B. Irmer, J. Cortes, R. Kaiser, H. Lorenz, A. Lorke, J. P. Kotthaus, and E. Williams, Superlattices Microstruct. 20, 349 (1996).
28. R. Held, T. Heinzel, K. Ensslin, and M. Hollaqnd, Proceedings of the MSS 97, Santa Barbara, 1997 (to be published).
29. B. J. van Wees, H. van Houten, C. W. J. Beenaker, J. G. Williamson, L. P. Kouwenhoven, D. van der Marel, and C. T. Foxon, Phys. Rev. Lett. 60, 848 (1988); D. A. Wharam, T. J. Thornton, R. Newbury, M. Pepper, H. Ahmed, J. E. F. Frost, D. G. Hasko, D. C. Peacock, D. A. Ritchie, and G. A. C. Jones, J. Phys. C 21, L209 (1988).
30. B. J. van Wees, H. van Houten, C. W. J. Beenaker, J. G. Williamson, L. P. Kouwenhoven, D. van der Marel, and C. T. Foxon, Phys. Rev. Lett. 60, 848 (1988); D. A. Wharam, T. J. Thornton, R. Newbury, M. Pepper, H. Ahmed, J. E. F. Frost, D. G. Hasko, D. C. Peacock, D. A. Ritchie, and G. A. C. Jones, J. Phys. C 21, L209 (1988).