On the growth mechanism of pulsed laser deposited carbon nitride films

Applied Surface Science

Volumn 208-209, Issue 1, 2003, Pages 502-506

  Szorenyi T ^a,b   Fogarassy, E ^a  

^a Faculté de Médecine   (France)

^b RESEARCH GROUP ON LASER PHYSICS   (Hungary)

Author keywords

Carbon nitride; Microstructure; PLD; Thin films

Indexed keywords

ATOMS; COMPOSITION; EXCIMER LASERS; FILM GROWTH; GRAPHITE; ION BEAMS; MICROSTRUCTURE; MOLECULES; PULSED LASER DEPOSITION; CARBON NITRIDE; COMPOSITION EFFECTS; FABRICATION; NITROGEN;

MASS DENSITY; GAS-PHASE PROCESSES;

CARBON NITRIDE; THIN FILMS;

EID: 0037443245     PISSN: 01694332     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01445-9     Document Type: Conference Paper

References (23)

1. Muhl S., Méndez J.M. Diamond Relat. Mater. 8:1999;1809.
2. Malkow T. Mater. Sci. Eng. A302:2001;311.
3. Bulír J., Jelínek M., Vorlícek V., Zemek J., Perina V. Thin Solid Films. 292:1997;318.
4. Acquaviva S., Caricato A.P., De Giorgi M.L., Luches A., Perrone A. Appl. Surf. Sci. 109-110:1997;408.
5. Kokai F., Yamamoto K., Koga Y., Fujiwara S., Heimann R.B. Appl. Phys. A. 66:1998;403.
6. Lu Y.F., Ren Z.M., Song W.D., Chan D.S.H., Low T.S., Gamani K., Chen G., Li K. J. Appl. Phys. 84:1998;2909.
7. Barucca G., Majni G., Mengucci P., Leggieri G., Luches A., Martino M., Perrone A. J. Appl. Phys. 86:1999;2014.
8. Zocco A., Perrone A., D'Anna E., Leggieri G., Luches A., Klini A., Zergioti I., Fotakis C. Diamond Relat. Mater. 8:1999;582.
9. Jelínek M., Zemek J., Trchová M., Vorlícek V., Lancok J., Tomov R., Simecková M. Thin Solid Films. 366:2000;69.
10. González P., Soto R., Lusquinos F., León B., Pérez-Amor M. J. Vac. Sci. Technol. A. 18:2000;3004.
11. Riedo E., Comin F., Chevrier J., Bonnot A.M. J. Appl. Phys. 88:2000;4365.
12. Papakonstantinou P., Zeze D.A., Klini A., McLaughlin J. Diamond Relat. Mater. 10:2001;1109.
13. Bulír J., Delplancke-Ogletree M.P., Lancok J., Jelínek M., Popov C., Klett A., Kulisch W. Diamond Relat. Mater. 10:2001;1901.
14. György E., Nelea V., Mihailescu I.N., Perrone A., Pelletier H., Cornet A., Ganatsios S., Werckmann J. Thin Solid Films. 388:2001;93.
15. Szörényi T., Antoni F., Fogarassy E., Bertóti I. Appl. Surf. Sci. 168:2000;248.
16. Szörényi T., Stoquert J.-P., Perriere J., Antoni F., Fogarassy E. Diamond Relat. Mater. 10:2001;2107.
17. Geszti O., Radnóczi G., Bertóti I., Szörényi T., Antoni F., Fogarassy E. Appl. Surf. Sci. 186:2002;502.
18. Boher P., Fogarassy E., Szörényi T., Antoni F. Surf. Coat. Technol. 151-152:2002;144.
19. Szörényi T., Tóth A.L., Bertóti I., Antoni F., Fogarassy E. Diamond Relat. Mater. 11:2002;1153.
20. Alvarez F., dos Santos M.C., Hammer P. Appl. Phys. Lett. 73:1998;3521.
21. Kaltofen R., Sebald T., Weise G. Thin Solid Films. 308-309:1997;118.
22. Spaeth C., Kreissig U., Richter F. Thin Solid Films. 355-356:1999;64.
23. Hellgren N., Macák K., Broitman E., Johansson M.P., Hultman L., Sundgren J.-E. J. Appl. Phys. 88:2000;524.