메뉴 건너뛰기
Progress in Surface Science
Volumn 68, Issue 4-6, 2001, Pages 189-230
Halogen etching of Si via atomic-scale processes
(2)
Aldao, C M
a
Weaver, J H
b
a
UNIVERSIDAD NACIONAL DE MAR DEL PLATA
(
Argentina
)
b
United States of America
(
United States
)
Author keywords
Etching; Halogens; Scanning tunneling microscopy; Silicon; Surface structure, morphology, roughness and topography
Indexed keywords
DESORPTION; DIMERS; ETCHING; HALOGEN COMPOUNDS; MOLECULAR ORIENTATION; PITTING; RESTORATION; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SURFACE ROUGHNESS; THERMAL EFFECTS;
HALOGEN ETCHING;
SILICON;
EID
:
0035883969
PISSN
:
00796816
EISSN
:
None
Source Type
:
Journal
DOI
:
10.1016/S0079-6816(01)00047-8
Document Type
:
Review
Times cited : (
81
)
References (
90
)
1
0003679027
S.M. Sze (Ed.), McGraw-Hill, New York
(1988)
VLSI Technology
Schultz, J.
1
2
0026743719
and references therein
(1992)
Surf. Sci. Rep.
, vol.14
, pp. 161
Winters, H.F.
1
Coburn, J.W.
2
3
0003432956
(1982)
Helv. Phys. Acta
, vol.55
, pp. 137
Binnig, G.
1
Rohrer, H.
2
4
0001524657
(1986)
Surf. Sci.
, vol.176
, pp. 183
Jackman, R.B.
1
Ebert, H.
2
Foord, J.S.
3
5
0024301678
(1989)
Appl. Surf. Sci.
, vol.36
, pp. 296
Jackman, R.B.
1
Price, R.J.
2
Foord, J.S.
3
6
0000069341
(1993)
J. Chem. Phys.
, vol.98
, pp. 8308
Gao, Q.
1
Cheng, C.C.
2
Chen, P.J.
3
Choyke, W.J.
4
Yates J.T., Jr.
5
7
84953683209
(1984)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.2
, pp. 487
Sanders, F.H.M.
1
Kolfshoten, A.W.
2
Dieleman, J.
3
Haring, R.A.
4
Haring, A.
5
De Vries, A.E.
6
8
0001659333
(1993)
Phys. Rev. B
, vol.47
, pp. 13035
Chander, M.
1
Li, Y.Z.
2
Patrin, J.C.
3
Weaver, J.H.
4
9
0001323550
(1993)
Phys. Rev. Lett.
, vol.71
, pp. 4154
Chander, M.
1
Li, Y.Z.
2
Rioux, D.
3
Weaver, J.H.
4
10
0001126052
(1994)
Phys. Rev. B
, vol.50
, pp. 4430
Rioux, D.
1
Pechman, R.J.
2
Chander, M.
3
Weaver, J.H.
4
11
0000375991
(1994)
Phys. Rev. B
, vol.49
, pp. 11071
Rioux, D.
1
Chander, M.
2
Li, Y.Z.
3
Weaver, J.H.
4
12
3943105866
(1995)
Phys. Rev. Lett.
, vol.74
, pp. 2014
Chander, M.
1
Goetsch, D.A.
2
Aldao, C.M.
3
Weaver, J.H.
4
13
12044253504
(1994)
Phys. Rev. Lett.
, vol.73
, pp. 999
Seiple, J.V.
1
Pelz, J.P.
2
14
0000399843
(1992)
Phys. Rev. Lett.
, vol.69
, pp. 339
Johnson, K.E.
1
Engel, T.
2
15
0001596062
(1994)
Phys. Rev. B
, vol.50
, pp. 1567
Wurm, K.
1
16
0001536234
(1993)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.11
, pp. 1955
Donig, F.
1
Feltz, A.
2
Kulakov, M.
3
Hessel, H.E.
4
Memmert, U.
5
Behm, R.J.
6
17
84912954902
(1993)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.11
, pp. 1649
Seiple, J.
1
Pecquet, J.
2
Meng, Z.
3
Pelz, J.P.
4
18
0000220481
(1991)
Chem. Phys. Lett.
, vol.186
, pp. 275
Hessel, H.E.
1
Feltz, A.
2
Reiter, M.
3
Memmert, U.
4
Behm, R.J.
5
19
0001481483
(1993)
J. Appl. Phys.
, vol.73
, pp. 4797
Pietsch, G.J.
1
Köhler, U.
2
Henzler, M.
3
20
0026916996
(1992)
Surf. Sci.
, vol.275
, pp. 414
Allongue, P.
1
Brune, H.
2
Gerischer, H.
3
21
3643136838
(1990)
Science
, vol.248
, pp. 838
Boland, J.J.
1
Villarrubia, J.S.
2
22
4243473902
(1990)
Phys. Rev. B
, vol.41
, pp. 9865
Boland, J.J.
1
Villarrubia, J.S.
2
23
3643143195
(1989)
Phys. Rev. Lett.
, vol.63
, pp. 306
Villarrubia, J.S.
1
Boland, J.J.
2
24
0003370921
(1994)
Phys. Rev. Lett.
, vol.72
, pp. 4017
Yan, C.
1
Jensen, J.A.
2
Kummel, A.C.
3
25
0000740354
(1985)
Phys. Rev. Lett.
, vol.55
, pp. 1303
Tromp, R.M.
1
Hamers, R.J.
2
Demuth, J.E.
3
26
84913417435
(1985)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.3
, pp. 1502
Takayanagi, K.
1
Tanishiro, Y.
2
Takahashi, M.
3
Takahashi, S.
4
27
0000399843
(1992)
Phys. Rev. Lett.
, vol.69
, pp. 339
Johnson, K.E.
1
Engel, T.
2
28
20544471450
(1999)
J. Phys. Chem. B
, vol.103
, pp. 4207
Herrmann, C.F.
1
Boland, J.J.
2
29
0001548464
(2000)
Surf. Sci.
, vol.460
, pp. 223
Herrmann, C.F.
1
Boland, J.J.
2
30
0001439343
(1998)
Phys. Rev. B
, vol.58
, pp. 7950
Lyubinetsky, I.
1
Dohnálek, Z.
2
Choyke, W.J.
3
Yates, J.T.
4
31
0345158124
(1992)
Phys. Rev. Lett.
, vol.68
, pp. 646
Bedrossian, P.
1
Klitsner, T.
2
32
0001682583
(1992)
Phys. Rev. B
, vol.46
, pp. 7581
Zandvliet, H.J.W.
1
Elswijk, H.B.
2
Van Loenen, E.J.
3
Tsong, I.S.T.
4
33
0029358177
(1995)
Surf. Sci.
, vol.336
, pp. 303
Weakliem, P.C.
1
Zhang, Z.
2
Metiu, H.
3
34
0000092195
(1995)
Phys. Rev. Lett.
, vol.75
, pp. 3890
Zandvliet, H.J.W.
1
Louwsma, H.K.
2
Hegeman, P.E.
3
Poelsma, B.
4
35
25944432045
(1995)
Phys. Rev. B.
, vol.52
, pp. 8288
Chander, M.
1
Geotsch, D.A.
2
Aldao, C.M.
3
Weaver, J.H.
4
36
0003371779
(1995)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.13
, pp. 2230
Sánchez, J.R.
1
Aldao, C.M.
2
Weaver, J.H.
3
37
0000713976
(1996)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.14
, pp. 2519
Williams, F.J.
1
Aldao, C.M.
2
Weaver, J.H.
3
38
11944255842
(1990)
Phys. Rev. Lett.
, vol.65
, pp. 1913
Swartzentruber, B.S.
1
Mo, Y.-W.
2
Kariotis, R.
3
Lagally, M.G.
4
Webb, M.B.
5
39
0001108216
(1992)
Phys. Rev. B
, vol.45
, pp. 5965
Zandvliet, H.J.W.
1
Elswijk, H.B.
2
Van Loenen, E.J.
3
Dijkkamp, D.
4
40
24544453940
(1987)
Phys. Rev. Lett.
, vol.39
, pp. 1691
Chadi, D.J.
1
41
35949005599
(1993)
Phys. Rev. B
, vol.47
, pp. 13432
Swartzentruber, B.S.
1
Kitamura, N.
2
Lagally, M.G.
3
Webb, M.B.
4
42
25044433684
(1993)
Phys. Rev. B
, vol.48
, pp. 5704
Kitamura, N.
1
Swartzentruber, B.S.
2
Lagally, M.G.
3
Webb, M.B.
4
43
0027115097
(1992)
Surf. Sci.
, vol.272
, pp. 264
Zandvliet, H.J.W.
1
Elswijk, H.B.
2
Van Loenen, E.J.
3
44
0001071321
(1993)
Phys. Rev. Lett.
, vol.70
, pp. 2122
Zandvliet, H.J.W.
1
Wormeester, H.
2
Wentink, D.J.
3
Van Silfhout, A.
4
Elswijk, H.B.
5
45
0001155735
(1995)
Phys. Rev. B
, vol.51
, pp. 5465
Zandvliet, H.J.W.
1
Poelsema, B.
2
Elswijk, H.B.
3
46
0001350626
(1991)
Science
, vol.251
, pp. 393
Williams, E.D.
1
Bartelt, N.C.
2
47
0026880766
(1992)
Surf. Sci.
, vol.273
, pp. 252
Bartelt, N.C.
1
Goldberg, J.L.
2
Einstein, T.L.
3
Williams, E.D.
4
48
0000904494
(1994)
Phys. Rev. Lett.
, vol.73
, pp. 1656
Bartelt, N.C.
1
Tromp, R.M.
2
Williams, E.D.
3
49
0001574316
(1995)
Phys. Rev. Lett.
, vol.74
, pp. 2710
Pearson, C.
1
Borovsky, B.
2
Krueger, M.
3
Curtis, R.
4
Ganz, E.
5
50
0031270388
(1997)
Surf. Sci.
, vol.391
, pp. 260
Williams, F.J.
1
Sánchez, J.R.
2
Aldao, C.M.
3
51
0024737555
(1989)
Ultramicroscopy
, vol.31
, pp. 10
Hamers, R.J.
1
Köhler, U.K.
2
Demuth, J.E.
3
52
0001122322
(1989)
Phys. Rev. B
, vol.40
, pp. 11951
Tsao, J.Y.
1
Chason, E.
2
Koehler, U.
3
Hamers, R.
4
53
35949011121
(1989)
Phys. Rev. Lett.
, vol.63
, pp. 2393
Mo, Y.-W.
1
Swartzentruber, B.
2
Kariotis, R.
3
Webb, M.B.
4
Legally, M.G.
5
54
84918182707
(1990)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.8
, pp. 201
Mo, Y.-W.
1
Kariotis, R.
2
Swartzentruber, B.S.
3
Webb, M.B.
4
Lagally, M.G.
5
55
4243286174
(1997)
Phys. Rev. Lett.
, vol.78
, pp. 4877
De Wijs, G.A.
1
De Vita, A.
2
Selloni, A.
3
56
0001454632
(1999)
Phys. Rev. Lett.
, vol.82
, pp. 568
Nakayama, K.
1
Aldao, C.M.
2
Weaver, J.H.
3
57
0000977267
(1999)
Phys. Rev. B
, vol.59
, pp. 15893
Nakayama, K.
1
Aldao, C.M.
2
Weaver, J.H.
3
58
0141523542
(1999)
J. Chem. Phys.
, vol.110
, pp. 4009
Dohnálek, Z.
1
Nishino, H.
2
Kamoshida, N.
3
Yates, J.T.
4
59
0027724485
(1993)
Science
, vol.262
, pp. 1703
Boland, J.J.
1
60
0030205828
(1996)
Surf. Sci.
, vol.363
, pp. 321
Nakatsuji, K.
1
Matsuda, K.
2
Yonezawa, T.
3
Daimon, H.
4
Suga, S.
5
61
0000958231
(1993)
Phys. Rev. B
, vol.48
, pp. 2275
Purdie, D.
1
Prakash, N.S.
2
Purcell, K.G.
3
Wincott, P.L.
4
Thornton, G.
5
Law, D.S.-L.
6
62
0030193522
(1996)
Surf. Sci.
, vol.359
, pp. 135
Simpson, W.C.
1
Yarmoff, J.A.
2
63
0001755142
(1995)
Phys. Rev. B
, vol.51
, pp. 10981
Rioux, D.
1
Stepniak, F.
2
Pechman, R.J.
3
Weaver, J.H.
4
64
0003424434
(1997)
Phys. Rev. B
, vol.55
, pp. 13829
Williams, F.J.
1
Alado, C.M.
2
Gong, Y.
3
Weaver, J.H.
4
65
0001072711
(1998)
Phys. Rev. B
, vol.57
, pp. 10021
De Wijs, G.A.
1
De Vita, A.
2
Selloni, A.
3
66
4244062349
(1988)
Phys. Rev. Lett.
, vol.61
, pp. 1867
Van de Walle, C.G.
1
McFeely, F.R.
2
Pantelides, S.T.
3
67
3843114510
(1992)
Phys. Rev. Lett.
, vol.69
, pp. 200
Weakliem, P.C.
1
Wu, C.J.
2
Carter, E.A.
3
68
0029197212
(1995)
Surf. Sci.
, vol.323
, pp. 39
Carter, L.E.
1
Carter, E.A.
2
69
0030193522
(1996)
Surf. Sci.
, vol.359
, pp. 135
Simpson, W.C.
1
Yarmoff, J.A.
2
70
17744415597
(1999)
Phys. Rev. Lett.
, vol.83
, pp. 3210
Nakayama, K.S.
1
Weaver, J.H.
2
71
0030193522
(1996)
Surf. Sci.
, vol.359
, pp. 135
Simpson, W.C.
1
Yarmoff, J.A.
2
72
11944256005
(1995)
Phys. Rev. Lett.
, vol.74
, pp. 2603
Li, Y.L.
1
73
84914027604
(1989)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.7
, pp. 2854
Hamers, R.J.
1
Kohler, U.K.
2
74
0001029936
(1992)
Phys. Rev. B
, vol.45
, pp. 9065
Wu, C.J.
1
Carter, E.A.
2
75
0003998388
CRC, Boca Raton
(1995)
Handbook of Chemistry and Physics, 75th Ed.
Lide, D.R.
1
76
0001524657
(1989)
Surf. Sci.
, vol.176
, pp. 183
Jackman, R.B.
1
Ebert, H.
2
Foord, J.S.
3
77
0028375632
(1994)
Surf. Sci.
, vol.303
Owman, F.
1
Mårtensson, P.
2
78
0001430313
(1995)
Phys. Rev. B
, vol.52
, pp. 11412
Pechman, R.J.
1
Wang, X.-S.
2
Weaver, J.H.
3
79
4243469916
(1997)
Phys. Rev. Lett.
, vol.78
, pp. 98
Itchkawitz, B.S.
1
McEllistrem, M.T.
2
Boland, J.J.
3
80
0031197266
(1997)
Surf. Sci.
, vol.385
, pp. 281
Itchkawitz, B.S.
1
McEllistrem, M.T.
2
Grube, H.
3
Boland, J.J.
4
81
0001301814
(1998)
Phys. Rev. B
, vol.52
, pp. 8997
Fouchier, M.
1
Boland, J.J.
2
82
0017497317
(1977)
Jpn. J. Appl. Phys.
, vol.16
, pp. 891
Ino, S.
1
83
35949008890
(1988)
Phys. Rev. B
, vol.38
, pp. 1984
Phaneuf, R.J.
1
Williams, E.D.
2
Bartelt, N.C.
3
84
0000652928
(1991)
Nature
, vol.351
, pp. 215
Kitamura, S.
1
Sato, T.
2
Iwatsuki, M.
3
85
21544464606
(1994)
Appl. Phys. Lett.
, vol.65
, pp. 2818
Wang, X.-S.
1
Pechman, R.J.
2
Weaver, J.H.
3
86
0001269824
(1995)
Phys. Rev. B
, vol.51
, pp. 10929
Pechman, R.J.
1
Wang, X.-S.
2
Weaver, J.H.
3
87
0029371318
(1995)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.13
, pp. 2031
Wang, X.-S.
1
Pechman, R.J.
2
Weaver, J.H.
3
88
0030213834
(1996)
Surf. Sci.
, vol.364
, pp. 511
Wang, X.-S.
1
Pechman, R.J.
2
Weaver, J.H.
3
89
0033072634
(1999)
Phys. Rev. Lett.
, vol.82
, pp. 980
Nakayama, K.S.
1
Weaver, J.H.
2
90
0000796330
(1999)
Phys. Rev. B
, vol.60
, pp. 13846
Han, B.Y.
1
Nakayama, K.S.
2
Weaver, J.H.
3
* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.
