Why Si(100) steps are rougher after etching

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 55, Issue 20, 1997, Pages 13829-13834

  Williams, F ^a   Aldao, C ^a   Gong, Y ^b   Weaver, J ^b  

^a UNIVERSIDAD NACIONAL DE MAR DEL PLATA   (Argentina)

^b UNIVERSITY OF MINNESOTA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0003424434     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.55.13829     Document Type: Article

References (15)

1. B. S. Swartzentruber, Y.-W. Mo, R. Kariotis, M. G. Lagally and M. B. Webb, Phys. Rev. Lett. 65, 1913 (1990).
2. H. J. W. Zandvliet, H. B. Elswijk, E. J. van Loenen and D. Dijkkamp, Phys. Rev. B 45, 5965 (1992).
3. B. S. Swartzentruber, N. Kitamura, M. G. Lagally and M. B. Webb, Phys. Rev. B 47, 13 432 (1993).
4. N. Kitamura, B. S. Swartzentruber, M. G. Lagally and M. B. Webb, Phys. Rev. B 48, 5704 (1993).
5. H. J. W. Zandvliet, H. B. Elswijk and E. J. van Loenen, Surf. Sci. 272, 264 (1992).
6. H. J. W. Zandvliet, H. Wormeester, D. J. Wentink, A. van Silfhout and H. B. Elswijk, Phys. Rev. Lett. 70, 2122 (1993).
7. H. J. W. Zandvliet, B. Poelsema and H. B. Elswijk, Phys. Rev. B 51, 5465 (1995).
8. E. D. Williams and N. C. Bartelt, Science 251, 393 (1991).
9. N. C. Bartelt, J. L. Goldberg, T. L. Einstein and E. D. Williams, Surf. Sci. 273, 252 (1992).
10. N. C. Bartelt, R. M. Tromp and E. D. Williams, Phys. Rev. Lett. 73, 1656 (1994).
11. C. Pearson, B. Borovsky, M. Krueger, R. Curtis and E. Ganz, Phys. Rev. Lett. 74, 2710 (1995).
12. J. R. Sánchez and C. M. Aldao, Phys. Rev. B 54, R11 058 (1996).
13. F. J. Williams, J. R. Sánchez, and C. M. Aldao, Surf. Sci. (to be published).
14. D. Rioux, M. Chander, Y. Z. Li and J. H. Weaver, Phys. Rev. B 49, 11 071 (1994).
15. B. S. Swartzentruber, Y.-W. Mo, M. B. Webb and M. G. Lagally, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2801 (1989).