Microscopic observation of Cu damascene interconnect grains using x-ray microbeam

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 6, 2001, Pages 2792-2795

  Hasegawa, Masaki ^a   Hirai, Yasuharu ^a  

^a HITACHI LTD   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035883792     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1398074     Document Type: Article

References (23)

1. K. Abe, Y. Harada, and H. Onoda, in Proceedings of the 36th International Reliability Physics Symposium (IEEE, Reno, NV, 1998), pp. 342-347.
2. J. Proost, T. Hirato, T. Furukawa, K. Maex, and J.-P. Celis, J. Appl. Phys. 87, 2792 (2000).
3. R. Gonella, Microelectron. Eng. 55, 245 (2000).
4. P. Besser, A. Marathe, L. Zhao, M. Herrick, C. Cappaso, and H. Kawasaki, Technical Digest of IEDM (IEEE, Piscataway, NJ, 2000), p. 119.
5. T. G. Koetter, H. Wendrock, H. Schuehrer, C. Wenzel, and K. Wetzig, Microelectron. Reliab. 40, 1295 (2000).
6. D. P. Tracy and D. B. Knorr, J. Electron. Mater. 22, 611 (1993).
7. R. Spolenak, C. A. Volkert, K. Takahashi, S. Fiorillo, J. Miner, and W. L. Brown. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 594, 63 (2000).
8. D. P. Tracy, D. B. Knorr, and K. P. Rodbell, J. Appl. Phys. 76, 2671 (1994).
9. J. M. E. Harper, C. Cabral, Jr., P. C. Andricacos, L. Gignac, I. C. Noyan, K. P. Rodbell, and C. K. Hu, J. Appl. Phys. 86, 2516 (1999).
10. C. Lingk, M. E. Gross, and W. L. Brown, Appl. Phys. Lett. 74, 682 (1999).
11. J. L. Hurd, K. P. Rodbell, L. M. Gignac, L. A. Clevenger, R. C. Iggulden, R. F. Schnabel, S. J. Weber, and N. H. Schmidt, Appl. Phys. Lett. 72, 326 (1998).
12. D. P. Field, J. E. Sanchez, Jr., P. R. Besser, and D. J. Dingly, J. Appl. Phys. 82, 2383 (1997).
13. K. Nikawa, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2566 (1991).
14. P.-C. Wang, G. S. Cargill III, I. C. Noyan, E. G. Liniger, C.-K. Hu, and K. Y. Lee, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 273 (1997).
15. S. Hayakawa, S. Goto, T. Shoji, E. Yamada, and Y. Gohshi, J. Synchrotron Radiat. 5, 1114 (1998).
16. W. Yun, B. Lai, Z. Cai, J. Maser, D. Legnini, E. Gluskin, Z. Chen, A. A. Krasnoperova, Y. Vladimirsky, F. Cerrina, E. Di Fabrizio, and M. Gentili, Rev. Sci. Instrum. 70, 2238 (1999).
17. S. Hayakawa, Y. Gohshi, A. Iida, S. Aoki, and K. Sato, Rev. Sci. Instrum. 62, 2545 (1991).
18. Y. Suzuki and F. Uchida, Rev. Sci. Instrum. 63, 578 (1992).
19. N. Kamijo, S. Tamura, Y. Suzuki, K. Handa, A. Takeuchi, S. Yamamoto, M. Ando, K. Ohsumi, and H. Kihara, Rev. Sci. Instrum. 68, 14 (1997).
20. B. Lai, W. B. Yun, D. Legnini, Y. Xiao, J. Chrzas, P. J. Viccaro, V. White, S. Bajikar, D. Denton, F. Cerrina, E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, and M. Baciocchi, Appl. Phys. Lett. 61, 1877 (1992).
21. X. Zhang, H. Solak, F. Cerrina, B. Lai, Z. Cai, P. Ilinski, D. Legnini, and W. Rodrigues, Appl. Phys. Lett. 76, 315 (2000).
22. P. Engstrom, S. Fiedler, and C. Riekel, Rev. Sci. Instrum. 66, 1348 (1995).
23. Y. Hirai et al., Extended Abstracts of the 13th Annual Meeting (Japanese Society Synchrotron Radiation Research, Tokyo, 2000), p. 9-P-63 (in Japanese).