Phase behavior of multicomponent self-assembled monolayers directs the nanoscale texturing of Si(100) by wet etching

Langmuir

Volumn 17, Issue 4, 2001, Pages 1250-1254

  Finnie, Krista R ^b   Nuzzo, Ralph G ^a,b  

^a UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

^b United States of America   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CHLORINE COMPOUNDS; ETCHING; NANOSTRUCTURED MATERIALS; PHASE SEPARATION; PHOTOLUMINESCENCE; POTASSIUM COMPOUNDS; SILICON; SUBSTRATES; SURFACE STRUCTURE;

DOCOSYLTRICHLOROSILANE; NANOSCALE TEXTURING; OCTYLTRICHLOROSILANE; SELF ASSEMBLED MONOLAYER; WET ETCHING;

MONOLAYERS;

EID: 0035249065     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la0011984     Document Type: Article

References (45)

1. Doan, V. V.; Sailor, M. J. Science 1992, 256, 1791-1792.
2. Stewart, M. P.; Buriak, J. M. Adv. Mater. 2000, 12, 859-869.
3. Velev, O. D.; Kaler, E. W. Adv. Mater. 2000, 12, 531-534.
4. Schuppler, S.; Friedman, S. L.; Marcus, M. A.; Adler, D. L.; Xie, Y.-H.; Ross, F. M.; Chabal, Y. J.; Harris, T. D.; Brus, L. E.; Brown, W. L.; Chaban, E. E.; Szajowski, P. F.; Christman, S. B.; Citrin, P. H. Phys. Rev. B 1995, 52, 4910-4925.
5. Lehmann, V.; Gosele, U. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 856-858.
6. Harper, J.; Sailor, M. J. Anal. Chem. 1996, 68, 3713-3717.
7. Harper, T. F.; Sailor, M. J. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 6943-6944.
8. Dancil, K.-P. S.; Greiner, D. P.; Sailor, M. J. J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 7925-7930.
9. Brus, L. E.; Szajowski, P. F.; Wilson, W. L.; Harris, T. D.; Schuppler, S.; Citrin, P. H. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 2915-2922.
10. Canham, L. T. Appl. Phys. Lett. 1990, 57, 1046-1048.
11. Ranjan, V.; Singh, V. A.; John, G. C. Phys. Rev. B 1998, 58, 1158-1161.
12. Kumar, A.; Biebuyck, H. A.; Abbott, N. L.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 9188-9189.
13. Kumar, A.; Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 1498-1511.
14. Kim, E.; Kumar, A.; Whitesides, G. M. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 628-633.
15. Xia, Y.; Mrksich, M.; Kim, E.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 9576-9577.
16. Zhao, X.-M.; Wilbur, J. L.; Whitesides, G. M. Langmuir 1996, 12, 3257-3264.
17. Black, A. J.; Paul, K. E.; Aizenberg, J.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 8356-8365.
18. Huck, W. T. S.; Yan, L.; Stroock, A.; Haag, R.; Whitesides, G. M. Langmuir 1999, 15, 6862-6867.
19. Abbott, N. L.; Kumar, A.; Whitesides, G. M. Chem. Mater. 1994, 6, 596-602.
20. Wilbur, J. L.; Kim, E.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1995, 7, 649-652.
21. Finnie, K.R.; Haasch, R.; Nuzzo, R.G. Langmuir 2001, 77, 6968-6976.
22. Allara, D. L.; Parikh, A. N.; Rondelez, F. Langmuir 1995, 11, 2357-2360.
23. Bierbaum, K.; Grunze, M. Langmuir 1995, 11, 2143-2150.
24. Calistri-Yeh, M.; Kramer, E. J.; Sharma, R.; Zhao, W.; Rafailovich, M. H.; Sokolov, J.; Brock, J. D. Langmuir 1996, 12, 2747-2755.
25. Hoffmann, H.; Mayer, U.; Brunner, H.; Krischanitz, A. J. Mol. Struct. 1995, 349, 305-308.
26. Hoffmann, H.; Mayer, U.; Krischanitz, A. Langmuir 1995, 11, 1304-1312.
27. Hoffmann, H.; Mayer, U.; Brunner, H.; Krischanitz, A. Vib. Spectrosc. 1995, 8, 151-157.
28. Jeon, N. L.; Finnie, K.; Branshaw, K.; Nuzzo, R. G. Langmuir 1997, 13, 3382-3391.
29. Kluth, G. J.; Sung, M. M.; Maboudian, R. Langmuir 1997, 13, 3775-3780.
30. Parikh, A. N.; Allara, D. L.; Ben Azouz, I.; Rondelez, F. J. Phys. Chen. 1994, 98, 7577-7590.
31. Parikh, A. N.; Schivley, M. A.; Koo, E.; Seshadri, K.; Aurentz, D.; Mueller, K.; Allara, D. L. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 3135-3143.
32. Wasserman, S. R.; Tao, Y.; Whitesides, G. M. Langmuir 1989, 5, 1074-1087.
33. Jeon, N. L.; Nuzzo, R. G.; Xia. Y.; Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Langmuir 1995, 11, 3024-3026.
34. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Nuzzo, R. G.; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1995, 10, 2996-2999.
35. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Payne, D. A.; Nuzzo, R. G. Langmuir 1996, 12, 5350-5355.
36. Jeon, N. L.; Clem, P.; Jung, D. Y.; Lin, W. B.; Girolami, G. S.; Payne, D. A.; Nuzzo, R. G. Adv. Mater. 1997, 9, 891-895.
37. Jeon, N. L.; Lin, W. B.; Erhardt, M. K.; Girolami, G. S.; Nuzzo, R. G. Langmuir 1997, 13, 3833-3838.
38. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1998, 37, 550-575.
39. Xia, Y. N.; Kim, E.; Zhao, X. M.; Rogers, J. A.; Prentiss, M.; Whitesides, G. M. Science 1996, 273, 347-349.
40. Cotton, F. A.; Wilkinson, G. Advanced Inorganic Chemistry, 3rd ed.; Wiley: New York, 1972; p 321.
41. Laibinis, P. E.; Nuzzo, R. G.; Whitesides, G. M. J. Phys. Chem. 1992, 96, 5097-5105.
42. Tamada, K.; Hara, M.; Sasabe, H.; Knoll, W. Langmuir 1997, 13, 1558-1566.
43. Kumar, A.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002-2004.
44. Folkers, J. P.; Laibinis, P. E.; Whitesides, G. M.; Deutch, J. J. Phys. Chem. 1994, 98, 563-571.
45. Zhang, H. L.; Chen, M.; Li, H. L. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 28-36.