4-(tert-Butoxycarbonyloxy)benzyl p-toluenesulfonates as acid amplifiers applicable to chemically amplified photoresists

Macromolecular Chemistry and Physics

Volumn 201, Issue 1, 2000, Pages 132-138

  Ito, Hiromitsu ^b   Ichimura, Kunihiro ^a  

^a TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

^b TOPPAN PRINTING CO LTD   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001572657     PISSN: 10221352     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/(SICI)1521-3935(20000101)201:1<132::AID-MACP132>3.0.CO;2-3     Document Type: Article

References (25)

1. T. Iwayanagi, T. Ueno, S. Nonogaki, H. Ito, G. Willson, "Electronic and Photonic Applications of Polymers", Advances in Chemistry Series 218, M. J. Bowden, S. R. Turner, Eds., American Chemical Society, Washington DC, pp. 109-224 (1988)
2. J. M. J. Fréchet, E. Eichler, H. Ito, C. G. Willson, Polymer 24, 995 (1983)
3. H. Ito, M. Ueda, Macromolecules 21, 1475 (1988)
4. O. Nalamasu, M. Cheng, A. G. Timko, V. Pol, E. Reichmanis, L. F. Thompson, J. Photopolym. Sci. Technol. 4, 299 (1991)
5. T. Itani, H. Yoshino, S. Hashimoto, M. Yamana, N. Samoto, K. Kasama, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2541 (1997)
6. H. Ito, J. Photopolym. Sci. Technol. 11, 379 (1998)
7. E. Reichmanis, O. Nalamasu, F. M. Houlihan, T. I. Wallow, A. G. Timko, R. Cirelli, G. Dabbagh, R. S. Hutton, A. E. Novembre, B. W. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2528 (1997)
8. T. Ushirogouchi, K. Asakawa, T. Okino, N. Shida, N. Kihara, M. Nakase, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 7625 (1997)
9. J. Byers, K. Patterson, S. Cho, M. McCallum, C. G. Willson, J. Photopolym. Sci. Technol. 11, 465 (1998)
10. Q. J. Niu, J. M. J. Fréchet, Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 37, 667 (1998)
11. Y. Ohe, K. Ichimura, J. Imaging Sci. Technol. 37, 250 (1993)
12. Y. Ohe, F. Iwata, K. Ichimura, J. Imaging Sci. Technol. 37, 256 (1993)
13. K. Nozaki, K. Watanabe, E. Yano, A. Kotachi, S. Takechi, I. Hanyu, J. Photopolym. Sci. Technol. 9, 509 (1996)
14. K. Nozaki, K. Watanabe, T. Namiki, M. Igarashi, Y. Kuramitsu, E. Yano, Jap. J. Appl. Phys.: Part 2 35, L528 (1996)
15. K.-D. Ahn, D.-I. Koo, ACS Symp. Ser. 537, 124 (1994)
16. K. Ichimura, K. Arimitsu, K. Kudo, Chem. Lett. 551 (1995)
17. K. Arimitsu, K. Kudo, K. Ichimura, J. Am. Chem. Soc. 120, 37 (1998)
18. K. Kudo, K. Arimitsu, K. Ichimura, Mol. Cryst. Liq. Cryst. 280, 307 (1996)
19. S. Noguchi, K. Arimitsu, K. Ichimura, K. Kudo, T. Ohfuji, M. Sasago, J. Photopolym. Sci. Technol. 10, 315 (1997)
20. K. Arimitsu, K. Ichimura, Chem. Lett. 823 (1998)
21. K. Arimitsu, K. Kudo, H. Ohmori, K. Ichimura, J. Photopolym. Sci. Technol. 8, 43 (1995)
22. K. Arimitsu, K. Kudo, Y. Hayashi, K. Ichimura, J. Photopolym. Sci. Technol. 9, 29 (1996)
23. T. Ohfuji, M. Takahashi, M. Sasago, S. Noguchi, K. Ichimura, J. Photopolym. Sci. Technol. 10, 551 (1997)
24. H. Röschert, C. Eckes, G. Pawlowski, SPIE 1952, 342 (1993)
25. S. G. Smith, A. H. Fainberg, S. Winstein, J. Am. Chem. Soc. 83, 618 (1961)