High-pressure high-temperature annealing of ion-implanted GaN films monitored by visible and ultraviolet micro-Raman scattering

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 6, 2000, Pages 2736-2741

  Kuball, M ^a   Hayes, J M ^a   Suski, T ^b   Jun, J ^b   Leszczynski, M ^b   Domagala, J ^b   Tan, H H ^c   Williams, J S ^c   Jagadish, C ^c  

^a UNIVERSITY OF BRISTOL   (United Kingdom)

^b INSTITUTE OF HIGH PRESSURE PHYSICS   (Poland)

^c AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000864688     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.372248     Document Type: Article

References (23)

1. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Appl. Phys. Lett. 72, 211 (1998); Y.-K. Song, M. Kuball, A. V. Nurmikko, G. E. Bulman, K. Doverspike, S. T. Shappard, T. W. Weeks, M. Leonard, H. S. Kong, H. Dieringer, and J. Edmonds, Appl. Phys. Lett. 72, 1418 (1998).
2. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Appl. Phys. Lett. 72, 211 (1998); Y.-K. Song, M. Kuball, A. V. Nurmikko, G. E. Bulman, K. Doverspike, S. T. Shappard, T. W. Weeks, M. Leonard, H. S. Kong, H. Dieringer, and J. Edmonds, Appl. Phys. Lett. 72, 1418 (1998).
3. S. Yoshida and J. Suzuki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L482 (1998).
4. J. C. Zolper, H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, M. Hagerott Crawford, and R. F. Karlicek, Jr., Appl. Phys. Lett. 70, 2729 (1997).
5. H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, J. C. Zolper, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 72, 1190 (1998).
6. J. C. Zolper, R. I. Shul, A. G. Baca, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 2273 (1996).
7. X. A. Cao, C. R. Abernathy, R. K. Singh, S. J. Pearton, M. Fu. V. Sarvepalli, J. A. Sekhar, J. C. Zolper, D. J. Rieger, J. Han, T. J. Drummond, R. J. Shul, and R. G. Wilson, Appl. Phys. Lett. 73, 229 (1998).
8. T. Suski, J. Jun, M. Leszcynski, H. Teisseyre, S. Strite, A. Rockett, A. Pelzmann, M. Kamp, and K. J. Ebeling, J. Appl. Phys. 84, 1155 (1998).
9. T. Suski, J. Jun, M. Leszczynski, H. Teisseyre, I. Gryzegory, S. Porowski, J. M. Baranowski, A. Rocket, S. Strite, A. Stonert, A. Turos, H. H. Tan, J. S. Williams, and C. Jagadish, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 482, 949 (1998).
10. F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, O. Briot, B. Gil, and R.-L. Aulombard, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1, 23 (1996).
11. H. Harima, H. Sakashita, and S. Nakashima, Mater. Sci. Forum 264-268, 1363 (1998); P. Perlin, J. Camassel, W. Knap, T. Taliercio, J. C. Chervin, T. Suski, I. Grzegory, and S. Porowski, Appl. Phys. Lett. 67, 2524 (1995).
12. H. Harima, H. Sakashita, and S. Nakashima, Mater. Sci. Forum 264-268, 1363 (1998); P. Perlin, J. Camassel, W. Knap, T. Taliercio, J. C. Chervin, T. Suski, I. Grzegory, and S. Porowski, Appl. Phys. Lett. 67, 2524 (1995).
13. M. Cardona, in Light Scattering in Solids II, edited by M. Cardona and G. Güntherodt (Springer, Heidelberg, 1982), pp. 19-178.
14. J. F. Muth, J. H. Lee, I. K. Shmagin, R. M. Kolbas, H. C. Casey, Jr., B. P. Keller, U. K. Mishra, and S. P. DenBaars, Appl. Phys. Lett. 71, 2572 (1997).
15. J. M. Hayes, M. Kuball, A. Bell, I. Harrison, D. Korakakis, and C. T. Foxon, Appl. Phys. Lett. 75, 2097 (1999).
16. J. Hong, J. W. Lee, J. D. Mackenzie, S. M. Donovan, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, and J. C. Zolper, Semicond. Sci. Technol. 12, 1310 (1997).
17. M. Kuball, F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, J. Massies, N. Grandjean, R. L. Aulombard, and O. Briot, Appl. Phys. Lett. 73, 960 (1998); M. Kuball, F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, N. Grand-Jean, and O. Briot, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 4S1, G6.28 (1999).
18. M. Kuball, F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, J. Massies, N. Grandjean, R. L. Aulombard, and O. Briot, Appl. Phys. Lett. 73, 960 (1998); M. Kuball, F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, N. Grand-Jean, and O. Briot, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 4S1, G6.28 (1999).
19. A. Polian, M. Grimsditch, and I. Grzegory, J. Appl. Phys. 79, 3343 (1996).
20. C. Kisielowski, J. Krüger, S. Ruvimov, T. Suski, J. W. Ager III, E. Jones, Z. Lilienthal-Weber, M. Rubin, E. R. Weber, M. D. Bremser, and R. F. Davis, Phys. Rev. B 54, 17745 (1996).
21. J. Gleize, F. Demangeot, J. Frandon, M. A. Renucci, F. Widmann, and B. Daudin, Appl. Phys. Lett. 74, 703 (1999).
22. C. G. Van de Walle and J. Neugebauer, Mater. Sci. Forum 258, 19 (1997); C. Wetzel, T. Suski, J. W. Ager III, E. R. Weber, E. E. Haller, S. Fisher, B. K. Meyer, R. Molnar, and P. Perlin, Phys. Rev. Lett. 78, 3923 (1997).
23. C. G. Van de Walle and J. Neugebauer, Mater. Sci. Forum 258, 19 (1997); C. Wetzel, T. Suski, J. W. Ager III, E. R. Weber, E. E. Haller, S. Fisher, B. K. Meyer, R. Molnar, and P. Perlin, Phys. Rev. Lett. 78, 3923 (1997).