Adamantyl-based benzocyclobutene low-k polymers with good physical properties and excellent planarity

Journal of Materials Chemistry C

Volumn 3, Issue 14, 2015, Pages 3364-3370

  Kong, Lingqiang ^a   Cheng, Yuanrong ^a   Jin, Yunxia ^a   Ren, Zhidong ^a   Li, Yan ^a   Xiao, Fei ^a  

^a FUDAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BUTENES; CROSSLINKING; DIELECTRIC LOSSES; DIELECTRIC MATERIALS; GLASS TRANSITION; INTEGRATED CIRCUIT INTERCONNECTS; ORGANIC POLYMERS; SURFACE ROUGHNESS; THERMAL EXPANSION;

CROSS-LINKED NETWORKS; ELECTRONIC MANUFACTURING; HIGH-GLASS TRANSITION TEMPERATURES; INORGANIC DIELECTRICS; LOW COEFFICIENT OF THERMAL EXPANSIONS; LOW DIELECTRIC CONSTANTS; LOW-DIELECTRIC POLYMERS; PHYSICAL AND CHEMICAL PROPERTIES;

POLYMERS;

EID: 84925949921     PISSN: 20507534     EISSN: 20507526     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c4tc02854f     Document Type: Article

References (39)

1. W. Volksen R. D. Miller G. Dubois Chem. Rev. 2009 110 56
2. K. Maex M. R. Baklanov D. Shamiryan F. Iacopi S. H. Brongersma Z. S. Yanovitskaya J. Appl. Phys. 2003 93 8793
3. G. Maier Prog. Polym. Sci. 2001 26 3
4. C. Yuan J. Wang K. Jin S. Diao J. Sun J. Tong Q. Fang Macromolecules 2014 47 6311
5. C. Yuan K. Jin K. Li S. Diao J. Tong Q. Fang Adv. Mater. 2013 25 4875
6. J. Wang K. Jin F. He J. Sun Q. Fang RSC Adv. 2014 4 40782
7. B. Sharma R. Verma C. Baur J. Bykova J. M. Mabry D. W. Smith J. Mater. Chem. C 2013 1 7222
8. Z. Geng J. Ba S. Zhang J. Luan X. Jiang P. Huo G. Wang J. Mater. Chem. 2012 22 23534
9. B. Yang H. Xu Z. Yang X. Liu J. Mater. Chem. 2009 19 9038
10. J. Tong S. Diao K. Jin C. Yuan J. Wang J. Sun Q. Fang Polymer 2014 55 3628
11. Y. Wang J. Sun K. Jin J. Wang C. Yuan J. Tong S. Diao F. He Q. Fang RSC Adv. 2014 4 39884
12. S. Tian J. Sun K. Jin J. Wang F. He S. Zheng Q. Fang ACS Appl. Mater. Interfaces 2014 6 20437
13. T. M. Long T. M. Swager J. Am. Chem. Soc. 2003 125 14113
14. X. Y. Zhao H. J. Liu Polym. Int. 2010 59 597
15. Y. Su W. Chen F. Chang J. Appl. Polym. Sci. 2004 94 932
16. J. F. Espeso Á. E. Lozano J. G. de la Campa Í. García-Yoldi J. de Abajo J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2010 48 1743
17. Y. Watanabe Y. Shibasaki S. Ando M. Ueda J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2004 42 144
18. K. Morita T. Hashimoto M. Urushisaki T. Sakaguchi J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2013 51 2445
19. Z. Geng Y. Lu S. Zhang X. Jiang P. Huo J. Luan G. Wang Polym. Int. 2014 63 333
20. G. Hougham G. Tesoro A. Viehbeck Macromolecules 1996 29 3453
21. Y. Chern H. Shiue Macromolecules 1997 30 4646
22. K. Matsumoto Y. Shibasaki S. Ando M. Ueda Polymer 2006 47 3043
23. Y. Chern H. Shiue Macromol. Chem. Phys. 1998 199 963
24. Y. Watanabe Y. Shibasaki S. Ando M. Ueda Polym. J. 2005 37 270
25. A. S. Mathews I. Kim C. Ha J. Appl. Polym. Sci. 2006 102 3316
26. G. Wang Z. Geng X. Zhu S. Zhang X. Liu High Perform. Polym. 2010 7 779
27. X. Zuo R. Yu S. Shi Z. Feng Z. Li S. Yang L. Fan J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2009 47 6246
28. J. Yang Y. Cheng F. Xiao Eur. Polym. J. 2012 48 751
29. E. Markovic K. Nguyen S. Clarke K. Constantopoulos J. Matisons G. P. Simon J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2013 51 5038
30. R. A. Kirchhoff K. J. Bruza Prog. Polym. Sci. 1993 18 85
31. Y. So P. Foster J. Im P. Garrou J. Hetzner E. Stark K. Baranek J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2006 44 1591
32. R. A. Kirchhoff C. J. Carriere K. J. Bruza N. G. Rondan R. L. Sammler J. Macromol. Sci., Part A 1991 28 1079
33. R. J. Spangler B. G. Beckmann J. H. Kim J. Org. Chem. 1977 42 2989
34. S. F. Hahn S. J. Martin M. L. McKelvy Macromolecules 1992 25 1539
35. R. V. Tanikella S. A. Bidstrup Allen P. A. Kohl J. Appl. Polym. Sci. 2002 83 3055
36. M. E. Mills P. Townsend D. Castillo S. Martin A. Achen Microelectron. Eng. 1997 33 327
37. D. Burdeaux P. Townsend J. Carr P. Garrou J. Electron. Mater. 1990 19 1357
38. T. Yamamoto Q. Fang T. Morikita Macromolecules 2003 36 4262
39. Q. Fang T. Yamamoto Polymer 2003 44 2947