Selective area spatial atomic layer deposition of ZnO, Al2O 3, and aluminum-doped ZnO using poly(vinyl pyrrolidone)

Chemistry of Materials

Volumn 26, Issue 4, 2014, Pages 1514-1522

  Ellinger, Carolyn R ^a   Nelson, Shelby F ^a  

^a EASTMAN KODAK COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84894678371     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm402464z     Document Type: Article

References (29)

1. Levy, D. H.; Ellinger, C. R.; Nelson, S. F. Appl. Phys. Lett. 2013, 103 (4) 043505
2. Ellinger, C. R.; Levy, D. H.; Nelson, S. F. Proc. NIP28/DF2012 2012, 304
3. Levy, D. H.; Nelson, S. F.; Freeman, D. J. Display Technol. 2009, 5, 484
4. Levy, D. H.; Nelson, S. F. J. Vac. Sci. Technol., A 2012, 30, 1
5. Sun, J.; Mourey, D.; Zhao, D.; Park, S. K.; Nelson, S. F.; Levy, D. H.; Freeman, D.; Cowdery-Corvan, P.; Tutt, L.; Jackson, T. N. IEEE EDL 2008, 29, 721
6. Levy, D. H.; Nelson, S. F.; Freeman, D.; Cowdery-Corvan, P. J. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 192101
7. Poodt, P.; Lankhorst, A.; Roozeboom, F.; Spee, K.; Maas, D.; Vermeer, A. Adv. Mater. 2010, 22, 3564
8. Poodt, P.; Knaapen, R.; Illiberi, A.; Roozeboom, F.; van Asten, A. J. Vac. Sci. Technol., A. 2012, 30 (1) 01A142
9. Illiberi, A.; Roozeboom, F.; Poodt, P. Appl. Mater. Interfaces 2012, 4 (10) 268-272
10. Maydannik, P. S.; Kääriäinen, T. O.; Cameron, D. C. Chem. Eng. J. 2011, 171, 345
11. Nelson, S. F.; Levy, D. H.; Tutt, L. W.; Burberry, M. J. Vac. Sci. Technol., A. 2012, 30 (1) 01A154-1-01A154-6
12. Puurunen, R. L. J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301
13. Park, K. J.; Doub, J. M.; Gougousi, T.; Parsons, G. N. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 051903
14. Jiang, X.; Bent, S. F. J. Electrochem. Soc. 2007, 154, D648-D656
15. Yan, M.; Koide, Y.; Babcock, J. R.; Markworth, P. R.; Belot, J. A.; Marks, T. J.; Chang, R. P. H. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 1709
16. Färm, E.; Kemell, M.; Santala, E.; Ritala, M.; Leskelä, M. J. Electrochem. Soc. 2010, 157 (1) K10-K14
17. Färm, E.; Kemell, M.; Ritala, M.; Leskelä, M. J. Phys. Chem. C 2008, 112, 15791-15795
18. Sinha, A.; Hess, D. W.; Henderson, C. L. J. Vac. Sci. Technol., B 2007, 25, 1721
19. Sinha, A.; Henderson, C.; Hess, D. W. ECS Transactions 2007, 3 (15) 233-241
20. Cho, W.; Sung, K.; An, K.-S.; Lee, S. S.; Chung, T.-M.; Kim, Y. J. Vac. Sci. Technol., A. 2003, 21 (4) 1366-1370
21. Potts, S. E.; Dingemans, G.; Lachaud, C.; Kessels, W. M. M. J. Vac. Sci. Technol., A. 2012, 30 (2) 021505
22. Lee, S. S.; Lee, E.-S.; Kim, S. H.; Lee, B. K.; Jeong, S. J.; Hwang, J. H.; Kim, C. G.; Chung, T.-M.; An, K.-S. Bull. Korean Chem. Soc. 2012, 33 (7) 2207-2212
23. Groner, M. D.; Fabreguette, F. H.; Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater. 2004, 16, 639-645
24. Min, Y.-S.; An, C. J.; Kim, S. K.; Song, J.; Hwang, C. S. Bull. Korean Chem. Soc. 2010, 31 (9) 2503-2508
25. Wilson, C. A.; Grubbs, R. K.; George, S. M. Chem. Mater. 2005, 17, 5625-5634
26. Paeng, K.; Ediger, M. D. Macromolecules 2011, 44, 7034-7042
27. Bhattacharya, S.; Sharma, D. K.; Saurabh, S.; De, S.; Sain, A.; Nandi, A.; Chowdhury, A. J. Phys. Chem. B 2013, 117 (25) 7771-7782
28. Fitzpatrick, S.; McCabe, J. F.; Petts, C. R.; Booth, S. W. Int. J. Pharm. 2002, 246, 143-151
29. Alam, M.; Green, M. J. Appl. Phys. 2003, 94 (5) 3403