Photo-Roll Lithography (PRL) for continuous and scalable patterning with application in flexible electronics

Advanced Materials

Volumn 25, Issue 45, 2013, Pages 6554-6561

  Ok, Jong G ^a   Kwak, Moon Kyu ^a,b   Huard, Chad M ^a   Youn, Hong Seok ^a   Guo, L Jay ^a  

^a UNIVERSITY OF MICHIGAN   (United States)

^b Kyungpook National University   (South Korea)

Author keywords

flexible electronics; graphene; light emitting diodes; nanomanufacturing; photolithography; roll to roll processes; spectrum filters; transparent conductors

Indexed keywords

NANO-MANUFACTURING; ROLL-TO-ROLL PROCESS; TRANSPARENT CONDUCTORS; UV SOURCES;

GRAPHENE; LIGHT EMITTING DIODES; PHOTOLITHOGRAPHY; QUARTZ;

FLEXIBLE ELECTRONICS;

EID: 84889687964     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201303514     Document Type: Article

References (25)

1. M. J. Madou, Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Third Edition, Taylor and Francis, Boca Raton, FL, USA 2009.
2. D. Bratton, D. Yang, J. Y. Dai, C. K. Ober, Polym. Adv. Technol. 2006, 17, 94
3. b) L. J. Guo, Adv. Mater. 2007, 19, 495
4. c) Z. H. Nie, E. Kumacheva, Nat. Mater. 2008, 7, 277.
5. P. Maury, D. Turkenburg, N. Stroeks, P. Giesen, I. Barbu, E. Meinders, A. van Bremen, N. Iosad, R. van der Werf, H. Onvlee, Microelectron. Eng. 2011, 88, 2052.
6. J. G. Ok, H. S. Youn, M. K. Kwak, K. T. Lee, Y. J. Shin, L. J. Guo, A. Greenwald, Y. S. Liu, Appl. Phys. Lett. 2012, 101, 223102.
7. S. H. Ahn, L. J. Guo, Adv. Mater. 2008, 20, 2044
8. b) S. H. Ahn, L. J. Guo, ACS Nano 2009, 3, 2304.
9. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. J. Jackman, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2658.
10. M. K. Kwak, J. G. Ok, J. Y. Lee, L. J. Guo, Nanotechnology 2012, 23, 344008.
11. K. Ellmer, Nat. Photonics 2012, 6, 808.
12. T. Xu, H. F. Shi, Y. K. Wu, A. F. Kaplan, J. G. Ok, L. J. Guo, Small 2011, 7, 3128.
13. M. G. Kang, L. J. Guo, Adv. Mater. 2007, 19, 1391
14. b) M. G. Kang, M. S. Kim, J. S. Kim, L. J. Guo, Adv. Mater. 2008, 20, 4408.
15. M. G. Kang, H. J. Park, S. H. Ahn, L. J. Guo, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2010, 94, 1179.
16. M. G. Kang, H. J. Park, S. H. Ahn, T. Xu, L. J. Guo, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 2010, 16, 1807.
17. S. Garaj, W. Hubbard, A. Reina, J. Kong, D. Branton, J. A. Golovchenko, Nature 2010, 467, 190.
18. S. Lee, K. Lee, C. H. Liu, Z. H. Zhong, Nanoscale 2012, 4, 639
19. b) X. Li, Y. Zhu, W. Cai, M. Borysiak, B. Han, D. Chen, R. D. Piner, L. Colombo, R. S. Ruoff, Nano Lett. 2009, 9, 4359.
20. Y. Zhu, Z. Z. Sun, Z. Yan, Z. Jin, J. M. Tour, ACS Nano 2011, 5, 6472.
21. H. Youn, K. Jeon, S. Shin, M. Yang, Org. Electron. 2012, 13, 1470.
22. T. H. Han, Y. Lee, M. R. Choi, S. H. Woo, S. H. Bae, B. H. Hong, J. H. Ahn, T. W. Lee, Nat. Photonics 2012, 6, 105.
23. J. M. Lee, J. Yi, W. W. Lee, H. Y. Jeong, T. Jung, Y. Kim, W. I. Park, Appl. Phys. Lett. 2012, 100, 061107.
24. A. Reina, H. B. Son, L. Y. Jiao, B. Fan, M. S. Dresselhaus, Z. F. Liu, J. Kong, J. Phys. Chem. C 2008, 112, 17741
25. b) X. S. Li, W. W. Cai, J. H. An, S. Kim, J. Nah, D. X. Yang, R. Piner, A. Velamakanni, I. Jung, E. Tutuc, S. K. Banerjee, L. Colombo, R. S. Ruoff, Science 2009, 324, 1312.