Controlled epitaxial growth of body-centered cubic and face-centered cubic Cu on MgO for integration on Si

Crystal Growth and Design

Volumn 13, Issue 11, 2013, Pages 5018-5024

  Wu, F ^a,b   Narayan, J ^a  

^a North Carolina State University   (United States)

^b NONE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BUFFER LAYERS; CRYSTAL ATOMIC STRUCTURE; EPITAXIAL GROWTH; MAGNESIA; MICROELECTRONICS; OXIDE MINERALS; PULSED LASER DEPOSITION; SILICON; SILICON COMPOUNDS; SUBSTRATES;

BODY-CENTERED CUBIC; CRITICAL THICKNESS; DEPOSITION TEMPERATURES; FACE-CENTERED CUBIC; NANOELECTRONIC DEVICES; ROCK SALT STRUCTURES; SI(111) SUBSTRATE; THREE-DIMENSIONAL ISLANDS;

COPPER;

EID: 84887762244     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cg4011983     Document Type: Article

References (49)

1. Murarka, S. P.; Hymes, S. W. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 1995, 20, 87-124
2. Itow, H.; Nakasaki, Y.; Minamihaba, G.; Suguro, K.; Okano, H. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 934-936
3. Tao, J.; Cheung, N. W.; Hu, C. M. IEEE Electron Device Lett. 1993, 14, 249-251
4. Lin, P. J.; Chen, M. C. Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 1999, 38, 4863-4867
5. Park, Y. J.; Andleigh, V. K.; Thompson, C. V. J. Appl. Phys. 1999, 85, 3546-3555
6. Whitman, C.; Moslehi, M. M.; Paranjpe, A.; Velo, L.; Omstead, T. J. Vac. Sci. Technol., A 1999, 17, 1893-1897
7. Chugh, A.; Tiwari, A.; Kvit, A.; Narayan, J. Mater. Sci. Eng., B 2003, 103, 45-48
8. Liu, R. C.; Pai, C. S.; Martinez, E. Solid-State Electron. 1999, 43, 1003-1009
9. Roh, W. C.; Jung, D. J. Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 1998, 37, L406-L408
10. Lee, W.; Cho, H.; Cho, B.; Yang, H. J.; Kim, J.; Kim, Y. S.; Jung, W. G.; Kwon, H.; Lee, J.; Reucroft, P. J.; Lee, C.; Lee, E.; Lee, J. Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 2001, 40, 2408-2412
11. Lee, W. H.; Cho, H. L.; Cho, B. S.; Kim, J. Y.; Nam, W. J.; Kim, Y. S.; Jung, W. G.; Kwon, H.; Lee, J. H.; Lee, J. G.; Reucroft, P. J.; Lee, C. M.; Lee, E. G. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 2192-2194
12. Burger, K.; Mader, W.; Ruhle, M. Ultramicroscopy 1987, 22, 1-13
13. Ernst, F.; Pirouz, P.; Heuer, A. H. Philos. Mag. A 1991, 63, 259-277
14. Zhukovskii, Y. F.; Kotomin, E. A.; Fuks, D.; Dorfman, S.; Stoneham, A. M.; Sychev, O.; Borstel, G. Appl. Surf. Sci. 2004, 226, 298-305
15. Mewes, T.; Rickart, M.; Mougin, A.; Demokritov, S. O.; Fassbender, J.; Hillebrands, B.; Scheib, M. Surf. Sci. 2001, 481, 87-96
16. Eilers, G.; Mukasa, K. Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 2000, 39, 3780-3783
17. Delplancke, M. P.; Delcambe, P.; Binst, L.; Jardinieroffergeld, M.; Bouillon, F. Thin Solid Films 1986, 143, 43-51
18. Reniers, F.; Delplancke, M. P.; Asskali, A.; Rooryck, V.; VanSinay, O. Appl. Surf. Sci. 1996, 92, 35-42
19. Kung, H.; Lu, Y. C.; Griffin, A. J.; Nastasi, M.; Mitchell, T. E.; Embury, J. D. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 2103-2105
20. Li, H.; Tian, D.; Quinn, J.; Li, Y. S.; Jona, F.; Marcus, P. M. Phys. Rev. B 1991, 43, 6342-6346
21. Hahn, E.; Kampshoff, E.; Wälchli, N.; Kern, K. Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 1803-1806
22. Li, H.; Wu, S. C.; Tian, D.; Quinn, J.; Li, Y. S.; Jona, F.; Marcus, P. M. Phys. Rev. B 1989, 40, 5841-5844
23. Misra, A.; Demkowicz, M. J.; Zhang, X.; Hoagland, R. G. JOM 2007, 59, 62-65
24. Demkowicz, M. J.; Hoagland, R. G.; Hirth, J. P. Phys. Rev. Lett. 2008, 100 136102
25. Wang, J.; Hoagland, R. G.; Misra, A. Appl. Phys. Lett. 2009, 94 131910
26. Perumal, A.; Takahashi, Y. K.; Seki, T. O.; Hono, K. Appl. Phys. Lett. 2008, 92 132508
27. Narayan, J. Acta Mater. 2013, 61, 2703-2724
28. Narayan, J.; Tiwari, P.; Chen, X.; Singh, J.; Chowdhury, R.; Zheleva, T. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 1290-1292
29. Narayan, J.; Larson, B. C. J. Appl. Phys. 2003, 93, 278-285
30. Wei, Q. M.; Liu, X. Y.; Misra, A. Appl. Phys. Lett. 2011, 98 111907
31. Wang, J.; Misra, A. Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. 2011, 15, 20-28
32. Zhang, R. F.; Wang, J.; Beyerlein, I. J.; Germann, T. C. Scr. Mater. 2011, 65, 1022-1025
33. Misra, A.; Verdier, M.; Lu, Y. C.; Kung, H.; Mitchell, T. E.; Nastasi, N.; Embury, J. D. Scr. Mater. 1998, 39, 555-560
34. Kurdjumow, G.; Sachs, G. Z. Phys. 1930, 64, 325-343
35. Wang, B.; Urbassek, H. M. Phys. Rev. B 2013, 87 104108
36. Wu, F.; Zhu, Y.; Narayan, J. Philos. Mag. 2013, in press
37. Wu, F.; Wen, H.; Lavernia, E.; Narayan, J.; Zhu, Y. Mater. Sci. Eng. A 2013, in press
38. Sharma, A. K.; Narayan, J.; Jin, C.; Kvit, A.; Chattopadhyay, S.; Lee, C. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1458-1460
39. Narayan, J.; Chen, Y.; Moon, R. M.; Carpenter, R. W. Philos. Mag. A 1984, 49, 287-300
40. Chen, F. R.; Chiou, S. K.; Chang, L.; Hong, C. S. Ultramicroscopy 1994, 54, 179-191
41. Lu, P.; Cosandey, F. Ultramicroscopy 1992, 40, 271-280
42. Zheleva, T.; Jagannadham, K.; Narayan, J. J. Appl. Phys. 1994, 75, 860-871
43. Sharan, S.; Narayan, J. Mater. Sci. Eng., A 1989, 113, 57-63
44. Dregia, S. A.; Banerjee, R.; Fraser, H. L. Scr. Mater. 1998, 39, 217-223
45. Schmidt, C.; Ernst, F.; Finnis, M. W.; Vitek, V. Phys. Rev. Lett. 1995, 75, 2160-2163
46. Wei, Q.; Misra, A. Acta Mater. 2010, 58, 4871-4882
47. Clemens, B. M.; Kung, H.; Barnett, S. A. MRS Bull. 1999, 24, 20-26
48. Ichimura, M.; Narayan, J. Philos. Mag. A 1995, 72, 281-295
49. Ichimura, M.; Narayan, J. Philos. Mag. A 1995, 72, 297-304