Direct formation of wafer scale graphene thin layers on insulating substrates by chemical vapor deposition

Nano Letters

Volumn 11, Issue 9, 2011, Pages 3612-3616

  Su, Ching Yuan ^a   Lu, Ang Yu ^a,b   Wu, Chih Yu ^a   Li, Yi Te ^c   Liu, Keng Ku ^a   Zhang, Wenjing ^a   Lin, Shi Yen ^a   Juang, Zheng Yu ^a   Zhong, Yuan Liang ^c   Chen, Fu Rong ^b   Li, Lain Jong ^a,d  

^a RESEARCH CENTER FOR APPLIED SCIENCES   (Taiwan)

^b NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

^c CHUNG YUAN CHRISTIAN UNIVERSITY   (Taiwan)

^d NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

chemical vapor deposition; Graphene; graphitization; Raman spectroscopy; transparent conductive film

Indexed keywords

CARBON SPECIES; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS; CU SURFACES; CU THIN FILM; GRAPHENE LAYERS; HIGH QUALITY; INSULATING SUBSTRATES; PROCESS PARAMETERS; SI WAFER; THIN LAYERS; TRANSISTOR CHARACTERISTICS; TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS; WAFER SCALE;

CARBON FILMS; CARRIER MOBILITY; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COPPER; DEPOSITION; GATE DIELECTRICS; GRAIN BOUNDARIES; GRAPHITIZATION; INSULATION; RAMAN SPECTROSCOPY; SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS; SILICON WAFERS; THIN FILMS;

GRAPHENE;

EID: 80052804742     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl201362n     Document Type: Article

References (37)

1. Geim, A. K.; Novoselov, K. S. Nat. Mater. 2007, 6 (3) 183-191
2. Castro Neto, A. H.; Guinea, F.; Peres, N. M. R.; Novoselov, K. S.; Geim, A. K. Rev. Mod. Phys. 2009, 81 (1) 109
3. Schwierz, F. Nat Nano 2010, 5 (7) 487-496
4. Wilson, N. R.; Macpherson, J. V. Nat Nano 2009, 4 (8) 483-491
5. Lin, Y.-M.; Dimitrakopoulos, C.; Jenkins, K. A.; Farmer, D. B.; Chiu, H.-Y.; Grill, A.; Avouris, P. Science 2010, 327 (5966) 662
6. Su, C.-Y.; Lu, A.-Y.; Xu, Y.; Chen, F.-R.; Khlobystov, A. N.; Li, L.-J. ACS Nano 2011, 5 (3) 2332-2339
7. Hernandez, Y.; Nicolosi, V.; Lotya, M.; Blighe, F. M.; Sun, Z.; De, S.; McGovern, I. T.; Holland, B.; Byrne, M.; Gun'Ko, Y. K.; Boland, J. J.; Niraj, P.; Duesberg, G.; Krishnamurthy, S.; Goodhue, R.; Hutchison, J.; Scardaci, V.; Ferrari, A. C.; Coleman, J. N. Nat. Nanotechnol. 2008, 3 (9) 563-568
8. Sutter, P. W.; Flege, J.-I.; Sutter, E. A. Nat. Mater. 2008, 7 (5) 406-411
9. Berger, C.; Song, Z.; Li, X.; Wu, X.; Brown, N.; Naud, C.; Mayou, D.; Li, T.; Hass, J.; Marchenkov, A. N.; Conrad, E. H.; First, P. N.; de Heer, W. A. Science 2006, 312 (5777) 1191-1196
10. Emtsev, K. V.; Speck, F.; Seyller, T.; Ley, L.; Riley, J. D. Phys. Rev. B 2008, 77 (15) 155303
11. Hass, J. J. Phys.: Condens. Matter 2008, 20 (32) 323202
12. Su, C.-Y.; Xu, Y.; Zhang, W.; Zhao, J.; Liu, A.; Tang, X.; Tsai, C.-H.; Huang, Y.; Li, L.-J. ACS Nano 2010, 4 (9) 5285-5292
13. Williams, G.; Seger, B.; Kamat, P. V. ACS Nano 2008, 2 (7) 1487-1491
14. Green, A. A.; Hersam, M. C. Nano Lett. 2009, 9 (12) 4031-4036
15. Cote, L. J.; Kim, F.; Huang, J. J. Am. Chem. Soc. 2008, 131 (3) 1043-1049
16. Li, D.; Muller, M. B.; Gilje, S.; Kaner, R. B.; Wallace, G. G. Nat. Nanotechnol. 2008, 3 (2) 101-105
17. Gao, W.; Alemany, L. B.; Ci, L.; Ajayan, P. M. Nat. Chem. 2009, 1 (5) 403-408
18. Coraux, J.; ǸDiaye, A. T.; Busse, C.; Michely, T. Nano Lett. 2008, 8 (2) 565-570
19. Kim, K. S.; Zhao, Y.; Jang, H.; Lee, S. Y.; Kim, J. M.; Kim, K. S.; Ahn, J.-H.; Kim, P.; Choi, J.-Y.; Hong, B. H. Nature 2009, 457 (7230) 706-710
20. Lee, Y.; Bae, S.; Jang, H.; Jang, S.; Zhu, S.-E.; Sim, S. H.; Song, Y. I.; Hong, B. H.; Ahn, J.-H. Nano Lett. 2010, 10 (2) 490-493
21. Reina, A.; Jia, X.; Ho, J.; Nezich, D.; Son, H.; Bulovic, V.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2008, 9 (1) 30-35
22. Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324 (5932) 1312-1314
23. Lee, S.; Lee, K.; Zhong, Z. Nano Lett. 2010, 10 (11) 4702-4707
24. Yan, K.; Peng, H.; Zhou, Y.; Li, H.; Liu, Z. Nano Lett. 2011, 11 (3) 1106-1110
25. Sun, Z.; Yan, Z.; Yao, J.; Beitler, E.; Zhu, Y.; Tour, J. M. Nature 2010, not supplied.
26. Ismach, A.; Druzgalski, C.; Penwell, S.; Schwartzberg, A.; Zheng, M.; Javey, A.; Bokor, J.; Zhang, Y. Nano Lett. 2010, 10 (5) 1542-1548
27. Levendorf, M. P.; Ruiz-Vargas, C. S.; Garg, S.; Park, J. Nano Lett. 2009, 9 (12) 4479-4483
28. Byun, S.-J.; Lim, H.; Shin, G.-Y.; Han, T.-H.; Oh, S. H.; Ahn, J.-H.; Choi, H. C.; Lee, T.-W. J. Phys. Chem. Lett. 2011, 2 (5) 493-497
29. Lee, C. S.; Baraton, L.; He, Z.; Maurice, J. L.; Chaigneau, M.; Pribat, D.; Cojocaru, C. S. Proc. SPIE 2010, 7761, 77610P
30. Li, X.; Cai, W.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Nano Lett. 2009, 9 (12) 4268-4272
31. Vlassiouk, I.; Regmi, M; Fulvio, P.; Dai, S.; Datskos, P.; Eres, G.; Smirnov, S. ACS Nano 2011, 5, 6069-6076
32. Varchon, F; Mallet, P; Magaud, L; Veuillen, J. Y. Rotational Disorder in Few-Layer Graphene Films on 6H-SiC(000-1): A Scanning Tunneling Microscopy Study Phys. Rev. B 2008, 77, 165415
33. Nair, R. R.; Blake, P.; Grigorenko, A. N.; Novoselov, K. S.; Booth, T. J.; Stauber, T.; Peres, N. M. R.; Geim, A. K. Science 2008, 320 (5881) 1308
34. Lee, C. W.; Weng, C.-H.; Wei, L.; Chen, Y.; Chan-Park, M. B.; Tsai, C.-H.; Leou, K.-C.; Poa, C. H. P.; Wang, J.; Li, L.-J. J. Phys. Chem. C 2008, 112 (32) 12089-12091
35. Shi, Y.; Dong, X.; Chen, P.; Wang, J.; Li, L.-J. Phys. Rev. B 2009, 115402
36. Datta, S. S.; Strachan, D. R.; Mele, E. J.; Johnson, A. T. C. Nano Lett. 2009, 9, 7-11
37. Ryu, S.; Liu, L.; Berciaud, S.; Yu, Y.-J.; Liu, H.; Kim, P.; Flynn, G. W.; Brus, L. E. Nano Lett. 2010, 10, 4944-4951