Direct chemical vapor deposition of graphene on dielectric surfaces

Nano Letters

Volumn 10, Issue 5, 2010, Pages 1542-1548

  Ismach, Ariel ^a,b   Druzgalski, Clara ^a   Penwell, Samuel ^a   Schwartzberg, Adam ^a   Zheng, Maxwell ^a,b   Javey, Ali ^a,b   Bokor, Jeffrey ^a,b   Zhang, Yuegang ^a  

^a LAWRENCE BERKELEY NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

CVD; Graphene; Nanoelectronics

Indexed keywords

CATALYTIC DECOMPOSITION; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS; COPPER FILMS; CVD; DIELECTRIC SUBSTRATES; DIELECTRIC SURFACE; DIRECT DEPOSITION; GRAPHENE GROWTH; GRAPHENE LAYERS; GROWTH MECHANISMS; NEW OPPORTUNITIES; RAMAN MAPPING; SINGLE LAYER; SINGLE-STEP; THIN COPPER FILMS;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; ATOMIC SPECTROSCOPY; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COPPER PLATING; GRAPHENE; GRAPHITE; HYDROCARBONS; METALLIC FILMS; NANOELECTRONICS; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY;

DIELECTRIC MATERIALS;

NANOMATERIAL;

ADSORPTION; ARTICLE; CHEMISTRY; CONFORMATION; CRYSTALLIZATION; ELECTRIC CONDUCTIVITY; GAS; HEAT; MACROMOLECULE; MATERIALS TESTING; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTY; ULTRASTRUCTURE;

ADSORPTION; CRYSTALLIZATION; ELECTRIC CONDUCTIVITY; GASES; HOT TEMPERATURE; MACROMOLECULAR SUBSTANCES; MATERIALS TESTING; MOLECULAR CONFORMATION; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTIES;

EID: 77952387687     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl9037714     Document Type: Article

References (47)

1. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Zhang, Y.; Dubonos, S. V.; Grigorieva, I. V.; Firsov, A. A. Science 2004, 306 (5696) 666-669
2. Zhang, Y. B.; Tan, Y. W.; Stormer, H. L.; Kim, P. Nature 2005, 438 (7065) 201-204
3. Novoselov, K. S.; Jiang, Z.; Zhang, Y.; Morozov, S. V.; Stormer, H. L.; Zeitler, U.; Maan, J. C.; Boebinger, G. S.; Kim, P.; Geim, A. K. Science 2007, 315 (5817) 1379-1379
4. Schedin, F.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Hill, E. W.; Blake, P.; Katsnelson, M. I.; Novoselov, K. S. Nat. Mater. 2007, 6 (9) 652-655
5. Li, X. L.; Wang, X. R.; Zhang, L.; Lee, S. W.; Dai, H. J. Science 2008, 319 (5867) 1229-1232
6. Han, M. Y.; Ozyilmaz, B.; Zhang, Y. B.; Kim, P. Phys. Rev. Lett. 2007, 98 (20), 206805.
7. Hass, J.; de Heer, W. A.; Conrad, E. H. J. Phys.: Condens. Matter 2008, 20 (32), 323202.
8. Emtsev, K. V.; Bostwick, A.; Horn, K.; Jobst, J.; Kellogg, G. L.; Ley, L.; McChesney, J. L.; Ohta, T.; Reshanov, S. A.; Rohrl, J.; Rotenberg, E.; Schmid, A. K.; Waldmann, D.; Weber, H. B.; Seyller, T. Nat. Mater. 2009, 8 (3) 203-207
9. Tung, V. C.; Allen, M. J.; Yang, Y.; Kaner, R. B. Nat. Nanotechnol. 2009, 4 (1) 25-29
10. Hernandez, Y.; Nicolosi, V.; Lotya, M.; Blighe, F. M.; Sun, Z. Y.; De, S.; McGovern, I. T.; Holland, B.; Byrne, M.; Gunko, Y. K.; Boland, J. J.; Niraj, P.; Duesberg, G.; Krishnamurthy, S.; Goodhue, R.; Hutchison, J.; Scardaci, V.; Ferrari, A. C.; Coleman, J. N. Nat. Nanotechnol. 2008, 3 (9) 563-568
11. Li, D.; Muller, M. B.; Gilje, S.; Kaner, R. B.; Wallace, G. G. Nat. Nanotechnol. 2008, 3 (2) 101-105
12. Dikin, D. A.; Stankovich, S.; Zimney, E. J.; Piner, R. D.; Dommett, G. H. B.; Evmenenko, G.; Nguyen, S. T.; Ruoff, R. S. Nat. 2007, 448 (7152) 457-460
13. Starodubov, A. G.; Medvetskii, M. A.; Shikin, A. M.; Adamchuk, V. K. Phys. Solid State 2004, 46 (7) 1340-1348
14. de Parga, A. L. V.; Calleja, F.; Borca, B.; Passeggi, M. C. G.; Hinarejos, J. J.; Guinea, F.; Miranda, R. Phys. Rev. Lett. 2008, 100 (5), 056807.
15. Coraux, J.; NDiaye, A. T.; Engler, M.; Busse, C.; Wall, D.; Buckanie, N.; Heringdorf, F.; van Gastei, R.; Poelsema, B.; Michely, T. New J. Phys. 2009, 11, 023006.
16. Coraux, J.; NDiaye, A. T.; Busse, C.; Michely, T. Nano Lett. 2008, 8 (2) 565-570
17. Reina, A.; Jia, X. T.; Ho, J.; Nezich, D.; Son, H. B.; Bulovic, V.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2009, 9 (1) 30-35
18. Kim, K. S.; Zhao, Y.; Jang, H.; Lee, S. Y.; Kim, J. M.; Kim, K. S.; Ahn, J. H.; Kim, P.; Choi, J. Y.; Hong, B. H. Nature 2009, 457 (7230) 706-710
19. Bae, S.; Kim, H.;; Lee, Y.; Xu, X.; Park, J.; Zheng, Y.; Balakrishnan, J.; Im, D.; Lei, T.; Song, Y.; Kim, Y.; Kim, K.; Ozyimaz, B.; Ahn, J.; Hong, B.;; Iijima, S.; arXiv:0912.5485v1, 2010. Accessed Feb. 8, 2010.
20. Li, X. S.; Cai, W. W.; An, J. H.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D. X.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324 (5932) 1312-1314
21. Levendorf, M.; Ruiz-Vargas, C.; Garg, S.; Park, J. Nano Lett. 2009, 9 ((12)) 4479× 4483.
22. Hofrichter, J.; Szafranek, B. N.; Otto, M.; Echtermeyer, T. J.; Baus, M.; Majerus, A.; Geringer, V.; Ramsteiner, M.; Kurz, H. Nano Lett. 2010, 10 (1) 36-42
23. Pimenta, M. A.; Dresselhaus, G.; Dresselhaus, M. S.; Cancado, L. G.; Jorio, A.; Saito, R. Phys. Chem. Chem. Phys. 2007, 9, 1276-1291
24. Ferrari, A. C. Solid State Commun. 2007, 143 (1-2) 47-57
25. Ferrari, A. C.; Meyer, J. C.; Scardaci, V.; Casiraghi, C.; Lazzeri, M.; Mauri, F.; Piscanec, S.; Jiang, D.; Novoselov, K. S.; Roth, S.; Geim, A. K. Phys. Rev. Lett. 2006, 97 (18), 187401.
26. Malard, L. M.; Pimenta, M. A.; Dresselhaus, G.; Dresselhaus, M. S. Phys. Reports 2009, 473 (5-6) 51-87
27. Poncharal, P.; Ayari, A.; Michel, T.; Sauvajol, J. L. Phys. Rev. B 2008, 78 (11), 113407.
28. Faugeras, C.; Nerriere, A.; Potemski, M.; Mahmood, A.; Dujardin, E.; Berger, C.; de Heer, W. A. Appl. Phys. Lett. 2008, 92 (1), 011914.
29. Hass, J.; Varchon, F.; Millan-Otoya, J. E.; Sprinkle, M.; Sharma, N.; De Heer, W. A.; Berger, C.; First, P. N.; Magaud, L.; Conrad, E. H. Phys. Rev. Lett. 2008, 100 (12), 125504.
30. Lee, D. S.; Riedl, C.; Krauss, B.; von Klitzing, K.; Starke, U.; Smet, J. H. Nano Lett. 2008, 8 (12) 4320-4325
31. Cancado, L. G.; Takai, K.; Enoki, T.; Endo, M.; Kim, Y. A.; Mizusaki, H.; Speziali, N. L.; Jorio, A.; Pimenta, M. A. Carbon 2008, 46 (2) 272-275
32. Dresselhaus, M.;; Jorio, A.;; Hofman, M.;; Dresselhaus, G.;; Saito, R. Nano Lett. 2010, 10 ((3)) 751× 758.
33. Ferrari, A. C.; Robertson, J. Phys. Rev. B 2000, 61 (20) 14095
34. Tuinstra, F.; Koenig, J. L. J. Compos Mater. 1970, 4, 492
35. Tuinstra, F.; Koenig, J. L. J. Chem. Phys. 1970, 53 (3) 1126
36. Matthews, M. J.; Pimenta, M. A.; Dresselhaus, G.; Dresselhaus, M. S.; Endo, M. Phys. Rev. B 1999, 59 (10) R6585-R6588
37. Casiraghi, C.; Hartschuh, A.; Qian, H.; Piscanec, S.; Georgi, C.; Fasoli, A.; Novoselov, K. S.; Basko, D. M.; Ferrari, A. C. Nano Lett. 2009, 9 (4) 1433-1441
38. Mohiuddin, T. M. G.; Lombardo, A.; Nair, R. R.; Bonetti, A.; Savini, G.; Jalil, R.; Bonini, N.; Basko, D. M.; Galiotis, C.; Marzari, N.; Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Ferrari, A. C. Phys. Rev. B 2009, 79 (20), 205433.
39. Casiraghi, C.; Pisana, S.; Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Ferrari, A. C. Appl. Phys. Lett. 2007, 91 (23), 233108.
40. Basko, D. M.; Piscanec, S.; Ferrari, A. C. Phys. Rev. B 2009, 80 (16), 165413.
41. Das, A.; Pisana, S.; Chakraborty, B.; Piscanec, S.; Saha, S. K.; Waghmare, U. V.; Novoselov, K. S.; Krishnamurthy, H. R.; Geim, A. K.; Ferrari, A. C.; Sood, A. K. Nat. Nanotechnol. 2008, 3 (4) 210-215
42. Guinea, F.; Katsnelson, M. I.; Vozmediano, M. A. H. Physical Review B 2008, 77 (7), 075422.
43. Cortijo, A.; Vozmediano, M. A. H. Phys. Rev. B 2009, 79 (18), 184205.
44. Xu, K.; Cao, P.; Heath, J. R.; Nano Lett. 2009, 9 (12), 4446-4451.
45. Boukhvalov, D. W.; Katsnelson, M. I. J. Phys. Chem. C 2009, 113 (32) 14176-14178
46. Elias, D. C.; Nair, R. R.; Mohiuddin, T. M. G.; Morozov, S. V.; Blake, P.; Halsall, M. P.; Ferrari, A. C.; Boukhvalov, D. W.; Katsnelson, M. I.; Geim, A. K.; Novoselov, K. S. Science 2009, 323 (5914) 610-613
47. Park, C. H.; Yang, L.; Son, Y. W.; Cohen, M. L.; Louie, S. G. Nat. Phys. 2008, 4 (3) 213-217