Solvent-assisted decal transfer lithography by oxygen-plasma bonding and anisotropic swelling

Advanced Materials

Volumn 22, Issue 22, 2010, Pages 2426-2429

  Kim, Pilnam M ^a,b   Kwak, Rhokyun ^a   Lee, Sung Hoon ^a   Suh, Kahp Y ^a  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b Princeton University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANISOTROPIC SWELLING; DECAL TRANSFER LITHOGRAPHIES; INDUCED STRESS; OXYGEN BONDING; OXYGEN PLASMAS; SKIN LAYER; UNIFORM LAYER;

ANISOTROPY; OXYGEN;

WAFER BONDING;

BAYSILON; DIMETICONE; OXYGEN; SOLVENT;

ARTICLE; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CHEMISTRY; INFRARED SPECTROSCOPY;

DIMETHYLPOLYSILOXANES; MICROSCOPY, ATOMIC FORCE; OXYGEN; SOLVENTS; SPECTROSCOPY, FOURIER TRANSFORM INFRARED;

EID: 77953517941     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200903440     Document Type: Article

References (23)

1. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 2004, 16, 1323.
2. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 2002, 724, 13583.
3. H. Ahn, K. J. Lee, A. Shim, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Nono Lett. 2005, 5, 2533.
4. H. Ahn, K. J. Lee, W. R. Childs, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, A. Shim J. Appl. Phys. 2006, 100, 084907.
5. K. S. Park, E. K. Seo, Y. R. Do, K. Kim, M. M. Sung, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 858.
6. M. Kim, Y. S. Kim, J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 11304.
7. Y. K. Kim, G. T. Kim, J. S. Ha, Adv. Fund. Mater. 2007, 17, 2125.
8. Z. J. Zheng, O. Azzaroni, F. Zhou, W. T. S. Huck, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 7730.
9. A. L. Thangawng, M. A. Swartz, M. R. Glucksberg, R. S. Ruoff, Small 2007, 3, 132.
10. B. Cortese, C. Piliego, I. Viola, S. D'Amone, R. Cingolani, G. Gigli, Langmuir 2009, 25, 7025.
11. S. Grilli, V. Vespini, P. Ferrara, Langmuir 2008, 24, 13262.
12. J. N. Lee, C. Park, G. M. Whitesides, Anal. Chem. 2003, 75, 6544.
13. W. Honga, Z. Liub, Z. Suoa, Int. J. Solid Struct. 2009, 46, 3282.
14. K. Efimenko, W. E. Wallace, J. Genzer, J. Colloid. Interface Sci. 2002, 254, 306.
15. W. Hong, X. H. Zhao, J. X. Zhou, Z. G. Suo, J. Mech. Phys. Solid 2008, 56, 1779.
16. S. Aerts, A. Vanhulsel, A. Buekenhoudt, H. Weyten, S. Kuypers, H. Chen, M. Bryjak, L. E. M. Gevers, I. F. J. Vankelecom, P. A. Jacobs, J. Membr. Sci. 2006, 275, 212.
17. H. Hillborg, J. F. Ankner, U. W. Gedde, G. D. Smith, H. K. Yasuda, K. Wikstrom, Polymer 2000, 47, 6851.
18. C Y. Hui, A. Jagota, Y. Y. Lin, E. J. Kramer, Langmuir 2002, 18, 1394.
19. K. G. Sharp, G. S. Blackman, N. J. Classmaker, A. Jagota, C. Y. Hui, Langmuir 2004, 20, 6430.
20. W. R. Childs, M. J. Motala, K. J. Lee, R. G. Nuzzo, Langmuir 2005, 27, 10096.
21. R. K. Smith, P. A. Lewis, P. S. Weiss, Prog. Surf. Sci. 2004, 75, 1.
22. S. G. Rao, L. Huang, W. Setyawan, S. H. Hong, Nature 2003, 425, 36.
23. P. Kim, B. K. Lee, H. Y. Lee, T. Kawai, K. Y. Suh, Adv. Mater. 2008, 20, 31.