Multipeak fitting analysis of Raman spectra on DLCH film

Journal of Raman Spectroscopy

Volumn 40, Issue 8, 2009, Pages 1055-1059

  Tai, F C ^a   Lee, S C ^b   Chen, J ^c   Wei, C ^d   Chang, S H ^e  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

^b NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

^c ADVANCED SEMICONDUCTOR ENGINEERING INC   (Taiwan)

^d TATUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

^e NATIONAL TAIPEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Taiwan)

Author keywords

BWF function; Fitting function; G peak; G width; ID IG ratio

Indexed keywords

GAUSSIAN BEAMS; GAUSSIAN DISTRIBUTION; ION BEAMS; SILICON WAFERS;

BREIT-WIGNE-FANO FUNCTION; FITTING FUNCTIONS; FITTING METHOD; G PEAK; G RATIO; G WIDTH; GAUSSIAN FUNCTIONS; ID/IG RATIO; PEAK FITTING; PEAK POSITION;

RAMAN SCATTERING;

EID: 69949119742     PISSN: 03770486     EISSN: 10974555     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/jrs.2234     Document Type: Article

References (54)

1. B. Bhushan, Diamond Relat. Mater. 1999, 8, 1985.
2. A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B 2000, 61, 14095.
3. J. Robertson, Mater. Sci. Eng. R 2002, 37, 129.
4. L. S. Grigoryan, H. D. Bist, S. Sathaiah, S. V. Sharma, H. Clara, A. K. Majumdar, J. Raman Spectrosc. 1999, 23, 127.
5. J. R. Durig, T. S. Little, H. D. Bist, J. Raman Spectrosc. 1992, 23, 625.
6. H. D. Bist, S. Bhargava, T. S. Little, J. K. Gardner, J. R. Durig, S. Sahli, M. Aslam, J. Raman Spectrosc. 1994, 25, 67.
7. J. Diaz, G. Paolicelli, S. Ferrer, F. Comin, Phys. Rev. B 1996, 54, 8064.
8. M. A. Tamor, W. C. Vassell, J. Appl. Phys. 1994, 76, 3823.
9. F. C. Tai, S. C. Lee, C. Wei, Mater. Trans. 2006, 47, 1847.
10. S. Prawer, K. W. Nugent, Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, J. Kulik, I. Avigal, R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 1996, 5, 433.
11. S. Xu, D. Flynn, B. K. Tay, S. Prawer, K. W. Nugent, S. R. P. Silva, Y. Lifshitz, W. I. Milne, Philos. Mag. B 1997, 76, 351.
12. K. W. R. Gilkes, S. Prawer, K. W. Nugent, J. Robertson, H. S. Sands, Y. Lifshitz, S. Xu, J. Appl. Phys. 2000, 87, 7283.
13. J. Filik, P. W. May, S. R. J. Pearce, R. K. Wild, K. R. Hallam, Diamond Relat. Mater. 2003, 12, 974.
14. L. X. Liu, E. Liu, Surf. Coat. Technol. 2005, 198, 189.
15. N. K. Cuong, M. Tahara, N. Yamauchi, T. Sone, Surf. Coat. Technol. 2005,193,283.
16. M. C. Chiu, W. P. Hsieh, W. Y. Ho, D. Y. Wang, F. S. Shieu, Thin Solid Films 2005, 476, 258.
17. M. Yoshikawa, G. Katagiri, H. Ishida, A. Ishitani, T. Akamatsu, J. Appl. Phys. 1988, 64, 6464.
18. D. G. McCulloch, S. Prawer, A. Hoffman, Phys. Rev. B 1994, 50, 5905.
19. D. G. McCulloch, S. Prawer, J. Appl. Phys. 1995, 78, 3040.
20. B. Kleinsorge, S. E. Rodil, G. Adamopoulos, J. Robertson, D. Grambole, W. Fukarek, Diamond Relat. Mater. 2001, 10, 965.
21. A. C. Ferrari, S. E. Rodil, J. Robertson, Diamond Relat. Mater. 2003, 12,905.
22. A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B 2001, 64, 075414.
23. H. Nakazawa, T. Mikami, Y. Enta, M. Suemitsu, M. Mashita, Jpn. Appl. Phys. 2003, 42, L767.
24. Y. W. Li, C. F. Chen, Y. J. Tseng, Jpn. Appl. Phys. 2001, 40, 777.
25. S. Theodoropoulou, D. Papadimitriou, L. Zoumpoulakis, J. Simitzis, Diamond Relat. Mater. 2004, 13, 371.
26. C. L. Cheng, C. T. Chia, C. C. Chiu, I. N. Lin, Diamond Relat. Mater. 2002,11,262.
27. S. P. Bugaev, K. V. Oskomov, V. G. Podkovyrov, S. V. Smaykina, N. S. Sochugov, Surf. Coat. Technol. 2000, 135, 18.
28. E. Anastassakis, J. Appl. Phys. 1999, 86, 249.
29. W. S. Bacsa, J. S. Lannin, D. L. Pappas, J. J. Cuomo, Phys. Rev. B 1993, 47,10931.
30. D. Pradhan, M. Sharon, Appl. Surf. Sci. 2007, 253, 7004.
31. J. R. Shi, X. Shi, Z. Sun, S. P. Lau, B. K. Tay, H. S. Tan, Diamond Relat. Mater. 2001, 10, 76.
32. M. S.Amer, J.Busbee, S. R.Leclair, J. F.Maguire, J. Jones, A. Voevodin, J. Raman Spectrosc. 1999, 30, 947.
33. C. Ziebert, Surf. Coat. Technol. 2005, 200, 1127.
34. Q. Wang, D. D. Allred, L. V. Knight, J. Raman Spectrosc. 1995, 26, 1039.
35. B. Oral, R. Hauert, U. Muller, K. H. Ernst, Diamond Relat. Mater. 1995, 4,482.
36. M. Iwaki, H. Watanabe, Nucl. Instrum. Methods B 1998, 141, 206.
37. H. Watanabe, K. Takahashi, M. Iwaki, Nucl. Instrum. Methods B 2007, 257,549.
38. S. Nakao, J. Choi, J. Kim, S. Miyagawa, Y. Miyagawa, M. Ikeyama, Relat. Mater. 2006, 15, 884.
39. J. Schwan, S. Ulrich, V. Batori, H. Ehrhardt, S. R. P. Silva, J. Appl. Phys. 1996,80,440.
40. T. Gries, L. Vandenbulcke, P. Simon, A. Canizares, Surf. Coat. Technol. 2008,202,2263.
41. J. Rao, K. J. Lawson, J. R. Nicholls, Surf. Coat. Technol. 2005, 197, 154.
42. Y. Funada, K. Awazu, K. Shimamura, M. Iwaki, Surf. Coat. Technol. 1998,103-104, 389.
43. H. Watanabe, K. Takahashi, M. Iwaki, Nucl. Instrum. Methods B 1994, 80-81, 1489.
44. V. N. Apakina, Diamond Relat. Mater. 1997, 6, 564.
45. D. R. Tallant, J. E. Parmeter, M. P. Siegal, R. L. Simpson, Diamond Relat. Mater. 1995, 4, 191.
46. Z. Tang, Z. J. Zhang, K. Narumi, Y. Xu, H. Naramoto, S. Nagai, K. Miyashita, J. Appl. Phys. 2001, 89, 1959.
47. R. Vuppuladhadium, H. E. Jackon, L. C. Wu, J. Appl. Phys. 1995, 77, 2714.
48. J. Robertson, Adv. Phys. 1986, 35, 314.
49. A. C. Ferrari, B. Kleinsorge, N. A. Morrison, A. Hart, V. Stolojan, J. Robertson, J. Appl. Phys. 1999, 85, 7191
50. N. K. Cuong, M. Tahara, N. Yamauchi, T. Sone, Surf. Coat. Technol. 2003,174-175, 1024.
51. F. Ma, Q. Chen, X. Cai, G. Li, H. Ma, Mater. Trans. 2002, 43, 1398.
52. S. L. Sung, X. J. Guo, K. P. Huang, F. R. Chen, H. C. Shih, Thin Solid Films 1998, 315, 345.
53. D. Sheeja, B. K. Tay, L. Yu, S. P. Lau, Surf. Coat. Technol. 2002, 154, 289.
54. Q. Zhang, S. F. Yoon, J. Ahn, S. F. Rusli, H. Yang, B. Gan, C. Yang, F. Watt, E. J. Teo, T. Osipowice, Diamond Relat. Mater. 2000, 9, 1758.