Preparation of ZnO thin films using Zn/O-containing single precursor through MOCVD method

Bulletin of the Korean Chemical Society

Volumn 30, Issue 1, 2009, Pages 114-118

  Park, Jong Pil ^a   Kim, Sin Kyu ^a   Park, Jae Young ^a   Ok, Kang Min ^a   Shim, Il Wun ^a  

^a Chung Ang University   (South Korea)

Author keywords

MOCVD; Precursor; Solar cell; ZnO thin film

Indexed keywords

DEPOSITION; FILM PREPARATION; INFRARED SPECTROSCOPY; MAGNETIC RESONANCE SPECTROSCOPY; METALLIC FILMS; METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; NUCLEAR MAGNETIC RESONANCE SPECTROSCOPY; OPTICAL FILMS; ORGANIC CHEMICALS; ORGANOMETALLICS; SOLAR CELLS; THERMOANALYSIS; VAPOR DEPOSITION; X RAY DIFFRACTION; ZINC; ZINC OXIDE;

A3. METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (MOCVD); AVERAGE GRAIN SIZE; FIELD EMISSION SCANNING; ORGANOMETALLIC PRECURSORS; PRECURSOR; SI (100) SUBSTRATE; SINGLE-SOURCE PRECURSOR; ZNO THIN FILM;

THIN FILMS;

EID: 60149092476     PISSN: 02532964     EISSN: 12295949     Source Type: Journal    
DOI: 10.5012/bkcs.2009.30.1.114     Document Type: Article

References (34)

1. Cheng, X. L.; Zhao, H.; Huo, L. H.; Gao, S.; Zhao, J. G. Sens. Actuators B 2004, 102, 248.
2. Yan, Z.; Song, Z.; Liu, W.; Ren, H.; Gu, N.; Zhou, X.; Zhang, L.; Wang, Y.; Feng, S.; Lai, L.; Chen, J. Appl. Surf. Sci. 2007, 253, 9372.
3. Manna, U.; Yoo, J.; Dhungel, S. K.; Gowtham, M.; Gangopadhyay, U.; Kim, K.; Yi, J. J. Korean Phys. Soc. 2005, 46, 1378.
4. Allah, F. K.; Abe, S. Y.; Nunez, C. M.; Khelil, A.; Cattin, L.; Morsli, M.; Bernède, J. C.; Bougrine, A.; Valle, M. A.; Díaz, F. R. Appl. Surf. Sci. 2007, 253, 9241.
5. Hikavyy, A.; Clauws, P.; Vanbesien, K.; Visschere, P. De; Williams, O. A.; Daenen, M.; Haenen, K.; Butlere, J. E.; Feygelson, T. Diam. Relat. Mat. 2007, 16, 983.
6. Vasco, E.; Bo1hme, O.; Román, E. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 3505.
7. Xiu, F. X.; Yang, Z.; Zhao, D. T.; Liu, J. L.; Alim, K. A.; Balandin, A. A.; Itkis, M. E.; Haddon, R. C. J. Electron. Mater. 2006, 35, 691.
8. Liua, Y.; Liua, Y.; Zhanga, J.; Lua, Y.; Shena, D.; Fana, X. J. Cryst. Growth 2006, 290, 405.
9. Yu, M.; Xu, H. A.; Wang, H.; Yan, H. Surf. Rev. Lett. 2006, 13, 369.
10. Ji, Z.; Zhao, S.; Wang, C.; Liu, K. Mater. Sci. Eng. B 2005, 117, 63.
11. Lin, K. M.; Tsai, P. Mater. Sci. Eng. B 2007, 139, 81.
12. Georgobiani, A. N.; Gruzintsev, A. N.; Kozlovskii, V. I.; Makovei, Z. I.; Red'kin, A. N.; Skasyrskii, Ya. K. Inorg. Mater. 2006, 42, 750.
13. Malandrino, G.; Blandino, M.; Perdicaro, L. M. S.; Fragala, I. L.; Rossi, P.; Dapporto, P. Inorg. Chem. 2005, 44, 9684.
14. Hu, J.; Gordon, R. G. Solar Cells 1991, 30, 437.
15. Hu, J.; Gordon, R. G. J. Appl. Phys. 1992, 71, 880.
16. Jain, S.; Kodas, T. T.; Hampden-Smith, M. Chem. Vap. Deposition 1998, 4, 51.
17. Auld, J.; Houlton, D. J.; Jones, A. C.; Rushworth, S. A.; Malik, M. A.; O'Brien, P.; Critchlow, G. W. J. Mater. Chem. 1994, 4, 1249.
18. Sato, H.; Minami, T.; Miyata, T.; Takata, S.; Ishii, M. Thin Solid Films 1994, 246, 65.
19. Gulino, A.; Castelli, F.; Dapporto, P.; Rossi, P.; Fragala, I. Chem. Matter. 2000, 12, 548.
20. Ni, J.; Yan, H.; Wang, A.; Yang, Y.; Stern, C. L.; Metz, A. W.; Jin, S.; Wang, L.; Marks, T. J.; Ireland, J. R.; Kannewurf, C. R. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 5613.
21. Kim, K. S.; Jeong, H. C.; Cho, J. Y.; Kang, D. H.; Kim, H. K.; Yoo, H. M.; Shim, I. W. Bull. Korean Chem. Soc. 2003, 24, 647.
22. Cho, J. Y.; Jeong, H. C.; Kim, K. S.; Kang, D. H.; Kim, H. K.; Shim, I. W. Bull. Korean Chem. Soc. 2003, 24, 645.
23. Kim, H. K.; Jeong, H. C.; Kim, K. S.; Yoon, S. H.; Lee, S. S.; Seo, K. W.; Shim, I. W. Thin Solid Films 2005, 478, 72.
24. Lee, S. S.; Seo, K. W.; Park, J. P.; Kim, S. K.; Shim, I.-W. Inorg. Chem. 2007, 46, 1013.
25. Sheldrick, G. M. SHELXS-97, A Program for the Solution of Crystal Structures; University Göttingen: Göttingen, Germany, 1997.
26. Sheldrick G. M. SHELXL-97, A Program for Crystal Structure Refinement; University Göttingen: Göttingen, Germany, 1997.
27. Farrugia, L. J. J. Appl. Crystollogr. 1998, 32, 837.
28. Brown, I. D.; Altermatt, D. Acta Crystallogr. B 1985, 41, 244.
29. Brese, N. E.; O'Keeffe, M. Acta Crystallogr. B 1991, 47, 192.
30. th ed.; John Wiley & Sons Inc.: 1997; part B, pp 91-93.
31. Choi, I. H. J. Korea Phys. Soc. 2005, 47, 696.
32. Grummitt, O.; Perz, O.; Mehaffey, J. J. Org. Prep. Proceed. Int. 1972, 4, 299.
33. Lim, W. T.; Lee, C. H. Thin Solid Films 1999, 12, 353.
34. Puchert, M. K.; Timbrell, P. Y.; Lamb, R. N. J. Vac. Sci. Technol. A 1996, 14, 2220.