The future of lasers in electronics

ICALEO 2003 - 22nd International Congress on Applications of Laser and Electro-Optics, Congress Proceedings

Volumn , Issue , 2003, Pages

  Schmidt, Michael ^a   Esser G ^a  

^a Bayerisches Laserzentrum gGmbH   (Germany)

Author keywords

Interconnect; MEMS; Micro mechanics; Micro technology; MOEMS; Semiconductor; Trends

Indexed keywords

EXCIMER LASERS; FIBER LASERS; MANUFACTURE; MEMS; MOEMS; SEMICONDUCTOR MATERIALS;

APPLICATION EXAMPLES; ELECTRICAL INTERCONNECTS; INTERCONNECT; LASER TECHNOLOGIES; MICRO TECHNOLOGY; PROCESS PARALLELIZATION; QUANTITATIVE MEASURES; TRENDS;

SEMICONDUCTOR LASERS;

EID: 57349186504     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.2351/1.5060114     Document Type: Conference Paper

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