Large-scale synthesis of water dispersible ceria nanocrystals by a simple sol-gel process and their use as a chemical mechanical planarization slurry

European Journal of Inorganic Chemistry

Volumn , Issue 6, 2008, Pages 855-858

  Yu, Taekyung ^a   Yong, Il Park ^a   Kang, Min Cheol ^a   Joo, Jin ^a   Jin, Kyung Park ^a   Ho, Youn Won ^b   Jae, Jeong Kim ^a   Hyeon, Taeghwan ^a  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b Hanwha Corporation   (South Korea)

Author keywords

Ceria; Chemical mechanical polishing; Large scale synthesis; Nanoparticles; Sol gel processes

Indexed keywords

CHEMICAL MECHANICAL POLISHING; NANOCRYSTALS; SILICON NITRIDE; SILICON OXIDES; SOL-GEL PROCESS; SYNTHESIS (CHEMICAL);

AQUEOUS MEDIA; CERIA NANOCRYSTALS; CERIUM SALTS; CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION; HYDROLYTIC SOL-GEL REACTIONS; LARGE SCALE SYNTHESIS; SIMPLE++; SYNTHESISED; SYNTHETIC PROCESS; WATER DISPERSIBLE;

CERIUM OXIDE;

EID: 53349168582     PISSN: 14341948     EISSN: 10990682     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ejic.200700979     Document Type: Article

References (47)

1. a) G. Schmid, Nanoparticles: From Theory to Application, Wiley-VCH, Weinheim, 2004;
2. b) K. J. Klabunde, Nanoscale Materials in Chemistry, Wiley-Interscience, New York, 2001;
3. c) A. L. Rogach, D. V. Talapin, E. V. Shevchenko, A. Kornowski, M. Haase, H. Weller, Adv. Funct. Mater. 2002, 12, 653-664;
4. d) A. P. Alivisatos, Science 1996, 271, 933-937;
5. e) T. Hyeon, Chem. Commun. 2003, 927-934;
6. f) C. B. Murray, S. H. Sun, W. Gaschler, H. Doyle, T. A. Betley, C. R. Kagan, IBM J. Res. Dev. 2001, 45, 47-56;
7. g) A. Imre, G. Csaba, L. Ji, A. Orlov, G. H. Bernstein, W. Porod, Science 2006, 311, 205-208;
8. h) D. V. Talapin, C. B. Murray, Science 2005, 310, 86-89;
9. i) S. J. Clarke, C. A. Hollmann, Z. Zhang, D. Suffern, S. E. Bradforth, N. M. Dimitrijevic, W. G. Minarik, J. L. Nadeau, Nat. Mater. 2006, 5, 409-417;
10. j) Z. L. Wang, J. Song, Science 2006, 312, 242-246;
11. k) J. Park, J. Joo, S. G. Kwon, Y. Jang, T. Hyeon, Angew. Chem. Int. Ed. 2007, 46, 4630-4660.
12. a) S. D. Park, J. M. Vohs, R. J. Gorte, Nature 2000, 404, 265-267;
13. b) G. Panzera, V. Modafferi, S. Candamano, A. Donato, F. Frusteri, P. L. Antonucci, J. Power Sources 2004, 135, 177-183;
14. c) A. Trovarelli, C. de Leitenburg, M. Boaro, G. Dolcetti, Catal. Today 1999, 50, 353-367;
15. d) B. C. H. Steele, Solid State Ionics 2000, 129, 95-116;
16. e) V. V. Kharton, F. M. Figueiredo, L. Navarro, E. N. Naumovich, A. V. Kovalevsky, A. A. Yaremchenko, A. P. Viskup, A. Carneiro, F. M. B. Marques, J. R. Frade, J. Mater. Sci. 2001, 36, 1105-1117;
17. f) T. S. Stefanik, H. L. Tuller, J. Eur. Ceram. Soc. 2001, 21, 1967-1970;
18. g) S. K. Tadokoro, T. C. Porfirio, R. Muccillo, E. N. S. Muccillo, J. Power Sources 2004, 130, 15-21;
19. h) U. Anselmi-Tamburini, F. Maglia, G. Chiodelli, A. Tacca, G. Spinolo, P. Riello, S. Bucella, Z. A. Munir, Adv. Funct. Mater. 2006, 16, 2363-2368;
20. i) M. G. Bellino, D. G. Lamas, N. E. W. de Reca, Adv. Funct. Mater. 2006, 16, 107-113;
21. j) B. M. Reddy, P. Bharali, P. Saikia, A. Khan, S. Loridant, M. Muhler, W. Grunert, J. Phys. Chem. C 2007, 111, 1878-1881.
22. a) S. K. Kim, S. Lee, U. Paik, T. Katoh, J. G. Park, J. Mater. Res. 2003, 18, 2163-2169;
23. b) T. Katoh, S. J. Kim, U. Paik, J. G. Park, Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 5430-5432;
24. c) T. Katoh, H. G. Kang, U. Paik, J. G. Park, Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 1150-1153.
25. a) A. S. Deshpande, N. Pinna, P. Beato, M. Antonietti, M. Niederberger, Chem. Mater. 2004, 16, 2599-2604;
26. b) M. Inoue, M. Kimura, T. Inui, Chem. Commun. 1999, 957-958;
27. c) T. Masui, K. Fujiwara, K. Machida, G. Adachi, T. Sakata, H. Mori, Chem. Mater. 1997, 9, 2197-2204;
28. d) X. D. Feng, D. C. Sayle, Z. L. Wang, M. S. Paras, B. Santora, A. C. Sutorik, T. X. T. Sayle, Y. Yang, Y. Ding, X. D. Wang, Y. S. Her, Science 2006, 312, 1504-1508;
29. e) R. Si, Y. W. Zhang, L. P. You, C. H. Yan, Angew. Chem. Int. Ed. 2005, 44, 3256-3260;
30. f) T. Yu, J. Joo, Y. I. Park, T. Hyeon, Angew. Chem. Int. Ed. 2005, 44, 7411-7414;
31. g) J. Zhang, S. Ohara, M. Umetsu, T. Naka, Y. Hatakeyama, T. Adschiri, Adv. Mater. 2007, 19, 203-206;
32. h) C. C. Tang, Y. Bando, D. Golberg, R. Z. Ma, Angew. Chem. Int. Ed. 2005, 44, 576-579;
33. i) Y. Xing, M. Li, S. A. Davis, S. Mann, J. Phys. Chem. B 2006, 110, 1111-1113;
34. j) H. Gu, M. D. Soucek, Chem. Mater. 2007, 19, 1103-1110;
35. k) K. Kaneko, K. Inoke, B. Freitag, A. B. Hungria, P. A. Midgley, T. W. Hansen, J. Zhang, S. Ohara, T. Adschiri, Nano Lett. 2007, 7, 421-425.
36. a) M. Bruchez, M. Moronne, P. Gin, S. Weiss, A. P. Alivisatos, Science 1998, 281, 2013-2016;
37. b) W. C. W. Chan, S. M. Nie, Science 1998, 281, 2016-2018;
38. c) H. Mattoussi, J. M. Mauro, E. R. Goldman, G. P. Anderson, V. C. Sundar, F. V. Mikulec, M. G. Bawendi, J. Am. Chem. Soc. 2000, 122, 12142-12150;
39. d) Y. A. Wang, J. J. Li, H. Y. Chen, X. G. Peng, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 2293-2298;
40. e) D. I. Gittins, F. Caruso, Angew. Chem. Int. Ed. 2001, 40, 3001-3004;
41. f) Y. Wang, J. F. Wong, X. Teng, X. Z. Lin, H. Yang, Nano Lett. 2003, 3, 1555-1559;
42. g) T. Pellegrino, L. Manna, S. Kudera, T. Liedl, D. Koktysh, A. L. Rogach, S. Keller, J. Rädler, G. Natile, W. J. Parak, Nano Lett. 2004, 4, 703-707.
43. P. B. Zantye, A. Kumar, A. K. Sikder, Mater. Sci. Eng. R 2004, 45, 89-220.
44. a) R. K. Singh, R. Bajaj, MRS Bull. 2002, 27, 743-751;
45. b) Y. R. Jeng, P. Y. Huang, Electrochem. Solid-State Lett. 2004, 7, G40-G43.
46. H. G. Kang, D. H. Kim, T. Katoh, S. J. Kim, U. Paik, J. G. Park, Jpn. J. Appl. Phys. 2006, 45, 3896-3904.
47. F. Preston, J. Soc. Glass Technol. 1927, 11, 247.