Contact shrinkage techniques for 157-nm lithography

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 5376, Issue PART 1, 2004, Pages 533-540

  Yamana, Mitsuharu ^a   Hirano, Masumi ^a   Nagahara, Seiji ^a   Tominaga, Makoto ^a  

^a RENESAS TECHNOLOGY CORP   (Japan)

Author keywords

157 nm lithography; RELACS ; SAFIER ; Thermal flow

Indexed keywords

ADDITIVES; CROSSLINKING; FLUORINE CONTAINING POLYMERS; PHASE SHIFT; PROCESS CONTROL; SHRINKAGE;

CONTACT PATTERNS; CONTACT SHRINKAGE; THERMAL FLOW;

LITHOGRAPHY;

EID: 3843142673     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.534596     Document Type: Conference Paper

References (15)

1. R. R. Dammel, R. Sakamuri, and A. Romano, PROC. SPIE, 4345, 350(2001).
2. R. J. Hung, H. V. Tran, B. C. Trinque, T. Chiba, S. Yamada, D. P. Sanders, E. F. Connor, R. H. Grubbs, J. Klopp, J. M. Frechet, B. H. Thomas, G. J. Shafer, D. D. Desmarteau, W. Conely, and C. G. Willson, PROC, SPIE, 4345, 385(2003).
3. N. Fender, P. J. Brock, W. Chau, S. Bangsaruntip, A. Mahorowala, G. M. Wallraff, W. D. Hinsberg, C. E. Larson, H. Ito, G. Breyta, K. Burnham, H. Truong, P. Lawson, and R. D. Allen, PROC. SPIE, 4345, 417(2001).
4. C. Hohle, S. Hien, C. Eschbaumer, J. Rottstegge, and M. Sebald, PROC. SPIE, 4690, 41(2002).
5. G. Taylor, C. B. Xu, G. Teng, J. Leonard, and C. Szmanda, PROC. SPIE, 4690, 51(2002).
6. R. R. Dammel, R. Sakamuri, S. H. Lee, M. D. Rahman, T. Kudo, and A. Romano, PROC. SPIE, 4690, 101(2002).
7. S. Kishimura, M. Endo, and M. Sasago, PROC. SPIE, 4690, 200(2002).
8. F. Houlihan, A. Romano, D. Rentkiewicz, R. Sakamuri, R. R. Dammel, W. Conley, G. Rich, D. Miller, L. Rhodes, J. Mcdaniels, and C. Chang, PROC. SPIE, 5039, 22(2003)
9. I. Sharif, D. Desmarteau, L. Ford, G. Shafer, B. Thomas, W. Conley, P. Zimmerman, D. Miller, G. S. Lee, C. Chambers, B. Trinque, T. Chiba, B. Osborn, and C. G. Willson, PROC. SPIE, 5039, 33(2003).
10. M. Toriumi, M. Koh, T. Ishikawa, T. Kodani, T. Araki, H. Aoyama, and T. Yamashita, PROC. SPIE, 5039, 53(2003).
11. M. K. Crawford, W. B. Farnham, A. E. feirng, J. Feldman, R. H. French, K. W. Leffew, V. A. Petrov, W. Qiu, F. L. Schadt, H. V. Tran, R. C. Wheland, and F. C. Zunmsteg, PROC. SPIE, 5039, 80(2003).
12. C. R. Chambers, S. Kusumoto, G. Lee, Alok Vasudev, L. Walthal, B. P. Osborn, P. Zimmerman, W. E. Conely, and C. G. Willson, PROC. SPIE, 5039, 93(2003).
13. S. Hong, Y. Takano, T. Kanda, T. Kudo, M. Padmanaban, and H. Tanaka, Proc. SPIE, 5039, 195(2003).
14. T. Kanda, H. Tanaka, and Y. Kinoshita, Proc. SPIE, 3999, 881(2000).
15. K. Suhm, D. Baker, B. Hesse, K. Clark, and S. Coleman, PROC. SPIE, 5039, 277(2003).