Epitaxy-driven synthesis of elemental Ge/Si strain-engineered materials and device structures via designer molecular chemistry

Chemistry of Materials

Volumn 19, Issue 24, 2007, Pages 5910-5925

  Fang, Y Y ^a   Tolle, J ^a   Tice, Jesse ^a   Chizmeshya, A V G ^a   Kouvetakis, J ^a   D'Costa, V R ^a   Menéndez, José ^a  

^a ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMISORPTION ENERGIES; MOLECULAR CHEMISTRY; OPTIMIZED MOLECULAR MIXTURES; PSEUDOSURFACTANT BEHAVIOR;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; GERMANIUM; MICROSTRUCTURE; ORGANOMETALLICS; SILICON; SYNTHESIS (CHEMICAL); THIN FILMS;

EPITAXIAL GROWTH;

EID: 36949002465     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm071581v     Document Type: Article

References (32)

1. Luryi, S.; Xu, J.; Zaslavsky, A. Future Trends in Microelectronics: Up the Nanocreek; Wiley: New York, 2007.
2. Heftman, G.; Grossman, S.; Day. J. Power Electron. Technol. 2005, 44.
3. Jalali, B.; Paniccia, M.; Reed, G. IEEE Microwave Mag. 2006, 7, 1440.
4. Green, M. A. Progr. Photovoltaics 20019, 123.
5. Wistey, M. A.; Fang, Y.-Y.; Tolle, J.; Chizmeshya, A.V.G.; Kouvetakis, J. Appl. Phys. Lett. 2007, 90 (8), 082108.
6. Fang, Y.-Y.; Tolle, J.; Roucka, R.; Chizmeshya, A. V. G.; Kouvetakis, J.; D'Costa, V. R.; Menendez, J. Appl. Phys. Lett. 2007, 90 (6), 061915.
7. Oh. J.; Campbell, J. C.; Thomas, S. G.; Bharatan, S.; Thoma, R.; Jasper, C.; Jones. R. E.; Zirkle, T. E. IEEE J. Quantum Electron. 2002, 38, 1238.
8. Lee, M. L.; Fitzgerald, E. A.; Bulsara, M. T.; Currie, M. T.; Lochtefeld, A. J. Appl. Phys. 2005, 97, 11101.
9. Jutzi, M.; Berroth, M.; Wohl, G.; Oehme, M.; Kasper, E. IEEE Photonics Technol. Lett. 2005, 17, 1510.
10. Liu, J. F.; Michel, J.; Giziewicz, W.; Pan, D.; Wada, K.; Cannon, D. D.; Jongthammanurak, S.; Danielson, D. T.; Kimerling, L. C.; Chen, J.; Ilday, F. O.; Kartner, F. X.; Yasaitis, J. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 103501.
11. Kuo, Y. H.; Lee, Y. K.; Ge, Y. S.; Ren, S.; Roth, J. E.; Kamins, T. I.; Miller, D. A. B.; Harris, J. S. Nature 2005, 437, 1334.
12. Fitzgerald, E. A.; Samavedam, S. B. Thin Solid Films 1997, 294, 3.
13. Luan, H.-C.; Lim, D. R.; Lee, K. K.; Chen, K. M.; Sandland, J. G.; Wada, K.; Kimerling, L. C. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 2909.
14. Wietier, T. F.; Bugiel, E.; Hofmann, K. R. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 182102.
15. Menendez, J.; Kouvetakis, J. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 1175.
16. Soref, R. A.; Friedman; L., Superlattices Microstruct. 1993, 14 (213), 189.
17. Ishikawa, Y.; Wada, K.; Cannon, D. D.; Liu, J.; Luan, H.-C.; Kimerling, L. C. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2044.
18. Cannon, D. D.; Liu, J.; Ishikawa, Y.; Wada, K.; Danielson, D. T.; Jongthammanurak, S.; Michel, J.; Kimerling, L. C. Appl. Phys. Lett. 2004, 84. 906.
19. Liu, J.; Cannon, D. D.; Wada, K.; Ishikawa, Y.; Danielson, D. T.; Jongthammanurak, S.; Michel, J.; Kimerling. L. C. Phys. Rev. B 2004, 70, 155309.
20. Menéndez, J. Raman Scattering in Materials Science; Springer: Berlin, 2000.
21. Cerdeira, F.; Buchenauer, C. J.; Pollak, F. H.; Cardona, M. Phys. Rev. B 1972, 5, 580.
22. Anastassakis, E.; Pinczuk, A.; Burstein, E.; Pollak, F. H.; Cardona, M. Solid State Commun. 1970, 8, 133.
23. Anastassakis, E.; Cantarero, A.; Cardona, M. Phys. Rev. B 1990, 41, 7529.
24. Nakashima, S.; Mitani, T.; Ninomiya, M.; Matsumoto, K. J. Appl. Phys. 2006, 99, 053512.
25. Shang, H.; Frank, M. M.; Gusev, E. P.; Chu, J. O.; Bedell, S. W.; Guarini, K. W.; Ieong, M. IBM J. Res. Dev. 2006, 50, 377.
26. De Jaeger, B.; Bonzom, R.; Leys, F.; Richard, O.; Steenbergen, J. V.; Winderickx, G.; Moorhem, E. V.; Raskin, G.; Letertre, F.; Billon, T.; Meuris, M.; Heyns, M. Microelectron. Eng. 2005, 80, 26.
27. Kelly, D. Q.; Wiedmann, I.; Donnelly, J. P.; Joshi, S. V.; Dey, S.; Banerjee, S. K.; Garcia-Gutierrez, D. I.; Jose-Yacaman, M. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 152101.
28. Kelly, D. Q.; Wiedmann, I.; Garcia-Gutierrez, D. I.; Jose-Yacaman, M.; Banerjee, S. K. Semicond. Sci. Technol. 2007, 22, S204.
29. Schwarz-Selinger, T.; Foo, Y. L.; Cahill, D. G.; Greene, J. E. Phys. Rev. B 2002, 65, 125317.
30. Bills, J. L.; Cotton, F. A. J. Phys. Chem. 1964, 68, 806.
31. Tolle, J.; Roucka, R.; Chizmeshya, A. V. G.; Kouvetakis. J.; D'Costa, V. R.; Menendez, J. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 252112.
32. Madelung, O. Semiconductors, Landolt Börstein New Series III; Springer-Verlag: Berlin, NY, 2001.