High-quality Ge epilayers on Si with low threading-dislocation densities

Applied Physics Letters

Volumn 75, Issue 19, 1999, Pages 2909-2911

  Luan, Hsin Chiao ^a   Lim, Desmond R ^a   Lee, Kevin K ^a   Chen, Kevin M ^a   Sandland, Jessica G ^a   Wada, Kazumi ^a   Kimerling, Lionel C ^a  

^a Massachusetts Institute of Technology Cambridge   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001398969     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.125187     Document Type: Article

References (11)

1. A. M. Agarwal, L. Liao, J. S. Foresi, M. R. Black, X. Duan, and L. C. Kimerling, J. Appl. Phys. 80, 6120 (1996).
2. J. S. Foresi, M. R. Black, A. M. Agarwal, and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 68, 2052 (1996).
3. L. M. Giovane, D. R. Lim, S. H. Ahn, T. D. Chen, J. S. Foresi, L. Liao, E. J. Oulette, A. M. Agarwal, X. Duan, J. Michel, A. Thilderkvist, and L. C. Kimerling, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 486, 45 (1998).
4. L. Colace, G. Masini, F. Galluzi, G. Assanto, G. Capellini, L. Di Gaspare, and F. Evangelisti, Solid State Phenom. 54, 55 (1997).
5. L. Colace, G. Masini, F. Galluzzi, G. Assanto, G. Capellini, L. Di Gaspare, E. Palange, and F. Evangelisti, Appl. Phys. Lett. 72, 3175 (1998).
6. L. Colace, G. Masini, F. Galluzi, G. Assanto, G. Capellini, L. Di Gaspare, E. Palange, and F. Evangelisti, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 465 (1999).
7. E. A. Fitzgerald, Mater. Sci. Rep. 7, 87 (1991).
8. M. Yamaguchi, J. Mater. Res. 6, 376 (1991).
9. J. Knall, L. T. Romano, B. S. Krusor, D. K. Biegelsen, and R. D. Bringans, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3069 (1994).
10. G. Masini, L. Colace, G. Assanto, H.-C. Luan, K. Wada, and L. C. Kimerling, Electron. Lett. 35, 1467 (1999).
11. G. E. Beltz, M. Chang, M. A. Eardley, W. Pompe, A. E. Romanov, and J. S. Speck, Mater. Sci. Eng., A 234-236, 794 (1997).