Transport coefficients for electrons in mixtures of Ar and HBr

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 46, Issue 6 A, 2007, Pages 3560-3565

  Šašić, Olivera ^a   Dujko, Saša ^a   Petrović, Zoran Lj ^a,c   Makabe, Toshiaki ^b  

^a UNIVERSITY OF BELGRADE   (Serbia)

^b KEIO UNIVERSITY   (Japan)

^c SERBIAN ACADEMY OF SCIENCES AND ARTS   (Serbia)

Author keywords

Collisions; Electron transport; Fluid models; HBr; Plasma etching; Swarms; Transport coefficients

Indexed keywords

DATA TRANSFER; ELECTRIC FIELD EFFECTS; ELECTRON TRANSPORT PROPERTIES; HYDROGEN INORGANIC COMPOUNDS; MONTE CARLO METHODS; PLASMA COLLISION PROCESSES; PLASMA ETCHING;

FLUID MODELS; RATE COEFFICIENTS; TRANSPORT COEFFICIENTS;

ARGON;

EID: 34547850224     PISSN: 00214922     EISSN: 13474065     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/JJAP.46.3560     Document Type: Article

References (41)

1. T. D. Bestwick, G. S. Oehrlein, Y. Zhang, G. M. W. Kroesen, and E. de Fresart: Appl. Phys. Lett. 59 (1991) 336.
2. S. Xu, T. Sun, and D. Podlesnik: J. Vac. Sci. Technol. A. 19 (2001) 2893.
3. L. Desvoivres, L. Vallier, and O. Joubert: J. Vac. Sci. Technol. B 19 (2001) 420.
4. K. M. Chang, T. H. Yeh, I. C. Deng, and H. C. Lin: J. Appl. Phys. 80 (1996) 3048.
5. S. A. Vitale, H. Chae, and H. H. Sawin: J. Vac Sci. Technol. A 19 (2001) 2197.
6. S. Vicknesh and A. Ramam: J. Electrochem. Soc. 151 (2004) C772.
7. S. Agarwala, I. Adesida, C. Caneau, and R. Bhat: Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 2830.
8. S. A. Vitale and H. H. Sawin: J. Vac. Sci. Technol. A 20 (2002) 651.
9. S. Gomez, R. Jun Belen, M. Kiehlbauch, and E. S. Aydila: J. Vac Sci. Technol. A 23 (2005) 1592.
10. S. K. Murad, S. P. Beaumont, and C. D. W. Wilkinson: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 2660.
11. Y. Kuo and T. L. Tai: J. Electrochem. Soc. 145 (1998) 4313.
12. S. J. Pearton, U. K. Chakrabarti, E. Lane, A. P. Perley, C. R. Abernathy, and W. S. Hobson: J. Electrochem. Soc. 139 (1992) 856.
13. C. C. Cheng, K. V. Guinn, and V. M. Donnelly: J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 85.
14. I. Tepermeister, N. Blayo, F. P. Klemens, D. E. Ibbotson, R. A. Gottscho, J. T. C. Lee, and H. H. Sawin: J. Vac. Sci. Technol. B 12 (1994) 2310.
15. H. Ohtake, K. Noguchi, S. Samukawa, H. Iida, A. Sato, and X. Y. Qian: J. Vac. Sci. Technol. B 18 (2000) 2495.
16. H. H. Hwang, M. Meyyappan, G. S. Mathad, and R. Ranade: J. Vac. Sci. Technol. B 20 (2002) 2199.
17. M. A. Vyvoda, M. Li, D. B. Graves, H. Lee, M. V. Malyshev, F. P. Klemens, J. T. C. Lee, and V. M. Donnelly: J. Vac. Sci. Technol. B 18 (2000) 820.
18. O. Šašić and Z. Lj. Petrović: Proc 22nd Symp. Physics of Ionized Gases, 2004, p. 133.
19. O. Šašić and Z. Lj. Petrović: Proc. 14th Int. Symp. Electron-Molecule Collisions and Swarms, 2005, p. 84.
20. O. Šašić and Z. Lj. Petrović: submited for publication (2006).
21. M. Čižek, J. Horáček, A. Sergenton, D. Popović, M. Allan, W. Domcke, T. Leininger, and F. Gadea: Phys. Rev. A 63 (2001) 062710.
22. T. N. Rescigno: J. Chem. Phys. 104 (1996) 125.
23. Y. Kim: unpublished.
24. M. Hayashi: private communication.
25. S. Bzenić, Z. M. Raspopović, S. Sakadžić, and Z. Lj. Petrović: IEEE Trans. Plasma Sci. 27 (1999) 78.
26. Z. Lj. Petrović, Z. M. Raspopović, S. Dujko, and T. Makabe: Appl. Surf. Sci. 192 (2002) 1.
27. T. Taniguchi, H. Tagashira, and Y. Sakai: J. Phys. D 10 (1977) 2301.
28. R. E. Robson: J. Chem. Phys. 85 (1986) 4486.
29. R. E. Robson, R. D. White, and Z. Lj. Petrović: Rev. Mod. Phys. 77 (2005) 1303.
30. H. Itoh, T. Matsumura, K. Satoh, H. Date, Y. Nakao, and H. Tagashira: J. Phys. D 26 (1993) 1975.
31. R. E. Robson: Aust. J. Phys. 44 (1991) 685.
32. R. E. Robson: Introductory Transport Theory for Charged Particles in Gases (World Scientific, Singapore, 2006).
33. K. F. Ness and R. E. Robson: Phys. Rev. A. 38 (1988) 1446.
34. Z. Lj. Petrović, R. W. Crompton, and G. N. Haddad: Aust. J. Phys. 37 (1984) 23.
35. R. E. Robson: Aust. J. Phys. 37 (1984) 35.
36. J. H. Parker and J. J. Lowke: Phys. Rev. 181 (1969) 290.
37. S. Dujko, Z. M. Raspopović, and Z. Lj. Petrović J. Phys. D 38 (2005) 2952.
38. Z. M. Raspopović, S. Sakadžić, Z. Lj. Petrović, and T. Makabe: J. Phys. D 33 (2000) 1298.
39. Z. M. Raspopović, S. Dujko, T. Makabe, and Z. Lj. Petrović: Plasma Sources Sci. Technol. 14 (2005) 293.
40. Ž. Nikitović, O. Šašić, Z. Lj. Petrović, G. Malović, A. Strinić, S. Dujko, Z. Raspopović, and M. Radmilović-Radhenović: Mater. Sci. Forum 453-454 (2004) 15.
41. M. Radmilović-Radjenović and J. K. Lee: Phys. Plasmas 12 (2005) 063501.