Fast Ge-on-Si photodetectors for the near infrared

ECS Transactions

Volumn 3, Issue 7, 2006, Pages 85-97

  Colace, L ^a   Masini, G ^a   Assanto, G ^a   Luan, H C ^b   Kimerling, L C ^b  

^a ROMA TRE UNIVERSITY   (Italy)

^b Massachusetts Institute of Technology Cambridge   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; FABRICATION; INFRARED RADIATION; SEMICONDUCTING GERMANIUM COMPOUNDS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SEMICONDUCTOR DIODES;

GERMANIUM ON SILICON PHOTODECTORS; NEAR INFRARED; SILICON TECHNOLOGY;

PHOTODETECTORS;

EID: 33846961147     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.2355797     Document Type: Conference Paper

References (28)

1. G. Masini, L. Colace and G. Assanto, Proc. ECS Conference on SiGe, Hawaii (2004).
2. H. Rong, R. Jones, A. Liu, O. Cohen, D. Hak, A. Fang and M. Paniccia, Nature 433, 725, 2005.
3. C. D. Presti, A. Irrera, G. Franzò, I. Crupi, F. Priolo, F. Iacona, G. Di Stefano, A. Piana, D. Sanfilippo and P. G. Fallica, Appl. Phys. Lett. 88, 033501 (2006).
4. T. Zinke, U. Fisher, A. Spielt, B. Shuppert and K. Petermann, Electron. Lett. 29, 2031 (1993).
5. A. Liu, R. Jones, L. Liao, D. Samara-Rubio, D. Rubin, O. Cohen, R. Nicolaescu and M. Paniccia, Nature 427, 615 (2004)
6. www.luxtera.com
7. T. F. Krauss, R. M. De La Rue, Nature 383, 699 (1996).
8. H. Temkin, T. P. Pearsall, J. C. Bean, R. A. Logan and S. Luryi, Appl. Phys. Lett. 48, 963 (1986)
9. R. People, IEEE J. Quantum Electron. 22, 1696 (1986).
10. T. F. Kuech and M. Maenpaa, Appl. Phys. Lett. 39, 245 (1981)
11. J. M. Baribeau, T. E. Jackman, D. C. Houghton, P. Maigne and M. W. Denhoff, J. Appl. Phys. 63, 5738, 1988
12. K. Fujinaga, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1511 (1991).
13. M. T. Currie, S. B. Samavedam, T. A. Langdo, C. W. Leitz and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 72, 1718 (1998).
14. C. S. Peng, Z. Y. Zhao, H. Chen, J. H. Li, Y. K. Li, L. W. Guo, D. Y. Dai, Q. Huang, J. M. Zhou, Y. H. Zhang, T. T. Sheng and C. H. Tung, Appl. Phys. Lett. 72, 3160 (1998).
15. T. H. Yang, G. L. Luo, E. Y. Chang, Y. C. Hsieh and C. Y. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 17 (2004).
16. J. L. Liu, Z. Yang, K. L. Wang, J. Appl. Phys. 99, 24504 (2006).
17. H. C. Luan, D. R. Lim, K. K. Lee, K. M. Chen, J. G. Sandland, K. Wada and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 75, 2909 (1999).
18. G. Masini, V. Cencelli, L. Colace, F. DeNotaristefani and G. Assanto, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 10, 811 (2004).
19. M. Jutzi, M. Berroth, G. Whol, M. Oheme and E. Kasper, IEEE Photon. Technol. Lett. 17, 1510 (2005).
20. Z. Huang, J. Oh and J. C. Campbell, Appl. Phys. Lett. 85, 3286 (2004).
21. O. Dosunmu, D. D. Cannon, M. K. Emsley, L. C. Kimerling and S. Umlu, IEEE Photon. Technol. Lett. 17, 175 (2005).
22. J. Liu, J. Michel, K. Wada and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 87, 103501 (2005).
23. S. Famà, L. Colace, G. Masini, G. Assanto and H. C. Luan, Appl. Phys. Lett. 81, 586 (2002).
24. L. Colace, M. Balbi, G. Masini and G. Assanto, Appl. Phys. Lett. 88, 101111 (2006).
25. L. Colace, G. Masini and G. Assanto, Appl. Phys. Lett. 87, 203507 (2005).
26. M. Jutzi, M. Berroth, G. Whol, M. Oheme, V. Stefani and E. Kasper, Proc. 34th Europ. Solid-State Device Research Conf., ESSDERC 2004.
27. L. M. Giovane, H. C. Luan, A. M. Agarwal and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 78, 541 (2001).
28. G. Masini, L. Colace, G. Assanto, H. C. Luan and L. C. Kimerling, IEEE Trans. on Electron Devices 48, 1092 (2001).